突破海外光刻膠技術(shù)封鎖！揭秘博康十七年求索路

本期話(huà)題：

• 談優(yōu)勢：“國內真正實(shí)現光刻膠全產(chǎn)品鏈的現代化工廠(chǎng)，只有我們徐州博康一家”

• 談經(jīng)驗：“在光刻膠的開(kāi)發(fā)過(guò)程中我們建立自己的底層數據庫，無(wú)論是單體、光酸、樹(shù)脂還是配方”

• 談?wù)雇骸俺蔀橹袊叨丝萍贾芯毣ゎI(lǐng)域的研發(fā)型公司，這是我們的夢(mèng)想”

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大咖談芯 | 突破海外光刻膠技術(shù)封鎖！揭秘博康十七年求索路

談優(yōu)勢：“國內真正實(shí)現光刻膠全產(chǎn)品鏈

的現代化工廠(chǎng)，只有我們徐州博康一家”

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)。今天我非常榮幸地邀請到了博康集團的董事長(cháng)傅志偉先生，現在傅總就坐在我旁邊，先請您給大家打個(gè)招呼！

傅志偉（嘉賓）：大家好，我是徐州博康的傅志偉。

幻實(shí)（主播）：博康真的很低調，今天我看了你們的產(chǎn)品手冊才發(fā)現你們不簡(jiǎn)單，從光刻單體的相關(guān)晶體到后續的光刻膠都在做，同時(shí)還有很多產(chǎn)品線(xiàn)，最關(guān)鍵的是和很多大廠(chǎng)合作過(guò)，所以我特別期待今天您給我們多分享一些觀(guān)點(diǎn)。

傅志偉（嘉賓）：我們從事這一行也有十七年了，以往對外宣傳確實(shí)比較少。徐州博康一開(kāi)始是做光刻膠前端的原料，也就是單體，還有部分樹(shù)脂、光酸等。當時(shí)中國還沒(méi)有成熟的光刻膠公司，所以我們做的東西只有一個(gè)渠道——出口賣(mài)給海外企業(yè)，對方把我們的產(chǎn)品當作原材料做成光刻膠后再賣(mài)給國內的廠(chǎng)。

在這個(gè)過(guò)程中我們從技術(shù)上深入鉆研，在光刻膠原料這個(gè)領(lǐng)域做了完整的產(chǎn)業(yè)布局，概括來(lái)說(shuō)就是“兩個(gè)全”。

首先是品類(lèi)做得全，我們基本上完全覆蓋了全世界80%以上用到的光刻膠單體，尤其是半導體領(lǐng)域所需的單體材料；其次是市占率全，徐州博康并不僅僅針對某一個(gè)固定客戶(hù)，全世界所有做光刻膠的主流公司我們都打進(jìn)去，成為了它們的供應商。得益于多年以來(lái)的布局，目前我們取得了一定的成果，徐州博康對單體的相關(guān)開(kāi)發(fā)在國外也還是有影響力的。

但是，我們往更高端的材料介入時(shí)，中國企業(yè)很難進(jìn)一步參與了。主要原因就是需要用到高端光刻膠的設備，例如EUV光刻機等。在整體產(chǎn)業(yè)布局或者說(shuō)世界的產(chǎn)業(yè)格局上，本土企業(yè)很難介入。

我們認為徐州博康既然已經(jīng)掌握了大量的單體技術(shù)，那繼續往下走是有基礎的，因此十年前我們也開(kāi)始決定做光刻膠。那時(shí)候整個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)境并不是特別好，尤其當時(shí)國內的晶圓工廠(chǎng)才初具規模，都大量引進(jìn)進(jìn)口的光刻膠，使用國產(chǎn)光刻膠的可能性幾乎沒(méi)有。

幻實(shí)（主播）：你們憑什么判斷一定要做，不覺(jué)得這條路特別艱辛嗎？

傅志偉（嘉賓）：有一些特殊的機緣。我們發(fā)現國內早晚是要做光刻膠的，而且當時(shí)我們的單體研發(fā)做得不錯，順延往下走就能做出光刻膠，再者它也能反過(guò)來(lái)進(jìn)一步輔助單體或樹(shù)脂、光酸等等的開(kāi)發(fā)，這是一個(gè)相輔相成的關(guān)系。當時(shí)我們還不能提前預判后來(lái)的國際發(fā)展形勢，只是覺(jué)得是個(gè)機會(huì )。另外，我國半導體被“卡脖子”也不是這兩年才有的，行業(yè)伊始就對中國有封鎖禁運，包括瓦森納協(xié)定等等，對我國有多方面的限制。

涉足光刻膠后，我們最早是做電子束光刻膠。我還記得2013-2014年時(shí)已經(jīng)很明確地規定有些品類(lèi)是禁售的，但中國依然需要，于是我們就做了相關(guān)的開(kāi)發(fā)，成功開(kāi)發(fā)了比較完整的電子束光刻膠這一系列產(chǎn)品。

博康集團的電子束光刻膠系列產(chǎn)品 （資料來(lái)源：徐州博康供圖）

到了2014-2015年我們又發(fā)現，每當與國外的客戶(hù)談中國本土化生產(chǎn)光刻膠的可能性時(shí)，無(wú)論美國的公司還是日本的公司都說(shuō)得很明確，193nm波長(cháng)的ArF光刻膠與中國人合作、在中國建廠(chǎng)、和中國合資做公司是不現實(shí)的。不過(guò)他們可以把i線(xiàn)、g線(xiàn)這種低端的乃至KrF中的部分，也就是非高端制程的產(chǎn)品拿到中國與我們合作生產(chǎn)。當時(shí)我們就覺(jué)得不合適，因為如果中國沒(méi)有先進(jìn)制程的高端光刻膠，未來(lái)就會(huì )承擔很大的風(fēng)險。當時(shí)也有一些公司包括我們的客戶(hù)，他們有一定的前瞻性，希望我們來(lái)做一些相關(guān)的研發(fā)驗證，于是我們就開(kāi)始做了光刻膠的相關(guān)研發(fā)。

幻實(shí)（主播）：我想問(wèn)一個(gè)很現實(shí)的問(wèn)題，客戶(hù)只是缺點(diǎn)兒材料，但我們研發(fā)的投入可能會(huì )遠遠大于他們買(mǎi)材料的金額，那么就會(huì )涉及到一個(gè)巨大投入的回報周期問(wèn)題，您當時(shí)是怎么解決收支平衡的？因為很多人會(huì )覺(jué)得這是國家該干的事兒，不是一家公司能做到的，博康憑什么敢干？

傅志偉（嘉賓）：我們量入為出。做光刻膠單體說(shuō)實(shí)話(huà)利潤還是比較可觀(guān)的，再加上我們和客戶(hù)有一些合作，也與國內的部分科研院所有交流溝通，實(shí)際上主要的研發(fā)費用更多是用在不停地測試驗證上，這方面投入是整個(gè)光刻膠研發(fā)費用里最高的。

非常幸運，我們和中科院微電子所、中科院（上海）微系統所在內的一些相關(guān)機構有比較緊密的合作關(guān)系，能夠獲得低成本驗證的機會(huì )，我們也非常珍惜這樣的機會(huì )。從2014、2015年起陸續推出了一些光刻膠投入到小眾的市場(chǎng)上，而不是閉起眼睛買(mǎi)大量高端的光刻機去驗證，這是因為當年對未來(lái)市場(chǎng)的判斷還具有不確定性，不敢以現在這種速度去做研發(fā)。

幻實(shí)（主播）：你們選擇了一種聯(lián)合開(kāi)發(fā)的方法。

傅志偉（嘉賓）：是的，在光刻膠這方面，別人不做的東西我們來(lái)做，成本會(huì )比較低，投入的研發(fā)費也有人愿意幫我們分擔。那么哪些是別人不做而我們做的呢？主要有以下四類(lèi)：

第一類(lèi)是被封鎖禁售的。國內研發(fā)機構、相關(guān)企業(yè)等想買(mǎi)但買(mǎi)不來(lái)的東西，例如電子束光刻膠。我們的客戶(hù)、合作伙伴肯定有機臺，我們就一邊幫助他開(kāi)發(fā)，一邊做驗證，這樣的共同開(kāi)發(fā)就很快速。

第二類(lèi)是拓展新的產(chǎn)品線(xiàn)。部分客戶(hù)也想做新的工藝，想用一些不僅中國沒(méi)有、全球也沒(méi)有的特別實(shí)用的光刻膠。我們就去幫他們做一些這方面的研發(fā)，嘗試著(zhù)去做這種光刻膠。

第三類(lèi)是服務(wù)小廠(chǎng)和小公司。例如新出現的功率器件這種小產(chǎn)線(xiàn)，他們如果去買(mǎi)光刻膠首先要負擔很高的成本，其次光刻膠某種意義上并不單純賣(mài)產(chǎn)品，更多時(shí)候是賣(mài)服務(wù)。比方說(shuō)我們是做光刻膠的，會(huì )在工藝線(xiàn)上跟客戶(hù)共同調整膠的配方或各種指標，從而響應客戶(hù)的工藝參數，甚至有時(shí)候會(huì )需要讓客戶(hù)調整他們的工藝來(lái)匹配我們的膠。每款膠導入進(jìn)設備和產(chǎn)線(xiàn)里是有互動(dòng)的過(guò)程的，這就需要有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員在現場(chǎng)。而小公司或者小產(chǎn)線(xiàn)想請國外的大膠廠(chǎng)過(guò)來(lái)專(zhuān)門(mén)匹配自己相關(guān)的光刻膠是很難的，量太小了。所以我們來(lái)做，一方面給他們服務(wù)，另一方面也能使用對方的機臺來(lái)測試膠，我們的KrF光刻膠就是這樣開(kāi)始做起來(lái)的。

第四類(lèi)是與受停產(chǎn)、淘汰影響而買(mǎi)不到產(chǎn)品的工廠(chǎng)合作。有一些工藝國外大部分工廠(chǎng)已經(jīng)停了或者不想做了，但國內還有部分工廠(chǎng)在做，他們可能會(huì )接到國外膠廠(chǎng)的通知說(shuō)這款膠我們會(huì )停產(chǎn)，因為這些膠廠(chǎng)的大客戶(hù)沒(méi)了，也不可能針對國內工廠(chǎng)再開(kāi)產(chǎn)線(xiàn)。這個(gè)時(shí)候我們就去對接國內工廠(chǎng)，幫助他們做國產(chǎn)替代。

相關(guān)研發(fā)產(chǎn)品 （資料來(lái)源：徐州博康供圖）

通過(guò)以上這四種方式，我們逐漸積累起不少客戶(hù)。雖然其中也有些客戶(hù)發(fā)展的不太順利，但大部分已經(jīng)迎來(lái)了“半導體的春天”。不少工廠(chǎng)開(kāi)始不斷擴大規模，隨之而來(lái)的就是對光刻膠的需求量也在攀升。

這個(gè)過(guò)程表面看上去是我們幫他們，實(shí)際上雙方是相輔相成，互幫互助，合作中能開(kāi)發(fā)很多光刻膠品類(lèi)。此外，通過(guò)這些客戶(hù)，我們的量產(chǎn)經(jīng)驗被訓練出來(lái)，后面再去面對國內大廠(chǎng)的時(shí)候，就會(huì )更有信心。因為我們的品類(lèi)覆蓋是最全的，為客戶(hù)做定制化服務(wù)的能力也通過(guò)小廠(chǎng)得到了多年鍛煉，從而針對大廠(chǎng)推出品類(lèi)時(shí)也能快速響應。光刻膠里最重要的是產(chǎn)品質(zhì)量的穩定性，我們有足夠的量產(chǎn)能力，對連續生產(chǎn)的穩定性也相當有經(jīng)驗。目前來(lái)說(shuō)，國內真正能規?；慨a(chǎn)光刻膠的現代化工廠(chǎng)，包括從單體一直到光刻膠產(chǎn)品的全產(chǎn)業(yè)鏈工廠(chǎng)，只有我們徐州博康一家。

幻實(shí)（主播）：這是讓我今天非常激動(dòng)的一個(gè)地方，你們有這么長(cháng)的一個(gè)時(shí)間積累，而且真的做到了本土化還成功了，這個(gè)經(jīng)驗非常難得。您的分享對行業(yè)內很多做相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的人應該都會(huì )有借鑒和幫助。

專(zhuān)訪(fǎng)現場(chǎng)，傅總向幻實(shí)介紹博康的技術(shù)優(yōu)勢 （圖左為博康集團董事長(cháng)傅志偉先生，圖右為幻實(shí)）

談經(jīng)驗：“在光刻膠的開(kāi)發(fā)過(guò)程中我們建立自己的底層數據庫，

無(wú)論是單體、光酸、樹(shù)脂還是配方”

幻實(shí)（主播）：請教一下傅總，現在光刻膠領(lǐng)域國內的水平和階段與國際最先進(jìn)的公司相比差距還大嗎？或者說(shuō)在哪些方向上還有差距？

傅志偉（嘉賓）：總的來(lái)看光刻膠在技術(shù)層面我認為沒(méi)有什么特別的差異性，真正的差異在于用戶(hù)端、應用端。最大的難處是如何跟客戶(hù)有一個(gè)好的匹配，如何去服務(wù)好這種響應。而真正的配方調整屬于化學(xué)范疇，本身就是一個(gè)經(jīng)驗學(xué)科，它需要的是應用獲得的經(jīng)驗，然后才能去做更多新的東西。

對我們來(lái)說(shuō)，這十幾年的積累讓我們在單體這個(gè)領(lǐng)域已經(jīng)在國際上能夠占據一席之地。反過(guò)來(lái)通過(guò)單體的經(jīng)驗去往光刻膠這塊再推進(jìn)，可能恰恰會(huì )是我們最大的長(cháng)處，是我們比較擅長(cháng)的東西。

光刻膠有點(diǎn)像制藥，藥物篩選是在很多的化合物里篩選一兩個(gè)活性物質(zhì)，光刻膠也是一樣。我們先去想象它的結構、配方，再從大量的化合物里面去選真正符合我們要求的單體、光酸等?；衔锏慕Y構太多了，如果從膠反過(guò)來(lái)推測單體都是什么再找出它們，無(wú)異于大海撈針，是非常難的。我們不同，所有用單體的思路我們都有，也基本上都在手里面，無(wú)非是進(jìn)一步做排列組合，這就是可以快速響應客戶(hù)需求的原因。

我們在面對國外的一些光刻膠公司包括樹(shù)脂廠(chǎng)時(shí)發(fā)現，專(zhuān)業(yè)的光刻膠公司基本都是化學(xué)公司，不僅僅做光刻膠，也會(huì )做更為前端的研發(fā)。這一點(diǎn)是在與他們接觸下來(lái)后形成的共同探討?，F在世界上排名數一數二的光刻膠公司和我們談單體開(kāi)發(fā)的合作時(shí)，是能指導我們的。

幻實(shí)（主播）：對，因為它下面有太多的品類(lèi)。

傅志偉（嘉賓）：是的，既然能指導我們如何做單體，也就意味著(zhù)他們對單體的了解、合成有著(zhù)非常深的研究和長(cháng)期的經(jīng)驗，只是研究出來(lái)以后委托外面去做生產(chǎn)。

幻實(shí)（主播）：這真的和做藥很像了。

傅志偉（嘉賓）：藥物研究可以做藥理、毒理、病理各方面的反應，不代表一定要去生產(chǎn)化合物。

幻實(shí)（主播）：可能連小批量都不一定自己做。這里也和您請教一個(gè)技術(shù)前沿的趨勢，現在可以用AI輔助的方法去做藥的篩選，那您現在規劃的光刻膠方向會(huì )不會(huì )也用AI的方式去做輔助篩選以減少實(shí)驗的次數呢？另外，合成生物學(xué)現在很火爆，不知道會(huì )不會(huì )對今后光刻膠的技術(shù)路線(xiàn)上有一些新的思路的變化？

傅志偉（嘉賓）：不瞞您說(shuō)，我們在光刻膠的開(kāi)發(fā)過(guò)程中也在建立自己的底層技術(shù)數據庫，無(wú)論是單體的、光酸的、樹(shù)脂的，還是光刻膠的配方。AI方面最基礎的恰恰是你得有一個(gè)大量的數據基礎，至于未來(lái)會(huì )不會(huì )形成內容，我覺(jué)得目前國內的光刻膠不管是從合成的技術(shù)還是后續的配方，離AI還是有一定距離的，還是要先把基礎做好。

從單體到光刻膠的全產(chǎn)業(yè)鏈路徑 （資料來(lái)源：徐州博康供圖）

我們確實(shí)有一款光刻膠的材料是綠色生物基的。其實(shí)光刻膠不僅僅應用在半導體中，我們還做了其余的開(kāi)發(fā)，而那款本身就有環(huán)保的要求，所以就用了生物基這樣的樹(shù)脂。

幻實(shí)（主播）：非常環(huán)保，也很符合現在雙碳的戰略。這一塊國外是不是會(huì )走得比較前沿？

傅志偉（嘉賓）：這就要看光刻膠的應用領(lǐng)域了，半導體行業(yè)普遍還是用合成方式的更多。

幻實(shí)（主播）：我們看到了IMEC的一些最新方向，他們未來(lái)的芯片有可能都是在實(shí)驗室里通過(guò)細胞培養出來(lái)的，甚至不需要用光刻，非常前沿了。

傅志偉（嘉賓）：有可能，但我們不認為光刻只針對半導體，我們做光刻膠實(shí)際上只是半導體中的一種微加工工藝。今后在工業(yè)發(fā)展的過(guò)程中還會(huì )有很多地方都要用到微加工工藝，包括光刻膠的開(kāi)發(fā)。我知道有一個(gè)生物微流道，就是用光刻工藝完成內部加工的，里面也會(huì )用到光刻膠。

光刻膠分為正膠和負膠，正膠是要刻掉的，負膠是用來(lái)固化的。我們在跟日本的客戶(hù)交流時(shí)也發(fā)現，未來(lái)他們可能希望用3D打印的方式來(lái)做器件、做芯片。這是一種增材打印，里面用的材料就是光刻膠。也就是說(shuō)光刻膠不再是生產(chǎn)過(guò)程中要被去掉的制程產(chǎn)品了，未來(lái)可能會(huì )變成一種基材。在有些領(lǐng)域，例如我們正在開(kāi)發(fā)的導電膠就是這種類(lèi)型的基材。在一層導電膠上再放一層絕緣的光刻膠，通過(guò)蝕刻的方法讓它們交錯起來(lái)，形成具體的功能性結構并保存在最后的成品器材或芯片里面。

談?wù)雇骸俺蔀橹袊叨丝萍贾芯毣ゎI(lǐng)域

的研發(fā)型公司，這是我們的夢(mèng)想”

幻實(shí)（主播）：您是打算未來(lái)五到十年繼續在光刻膠相關(guān)的行業(yè)發(fā)展還是會(huì )選一些其他相關(guān)多元化的方向？能給我們展望一下嗎？

傅志偉（嘉賓）：首先，我們已經(jīng)在光刻膠這個(gè)行業(yè)里扎根了這么多年，所形成的的基礎對于目前國內的光學(xué)材料、電子材料方面是有一定的推廣性的，可以把光刻膠的部分技術(shù)應用在其余的材料和領(lǐng)域里面。

所以我們的想法是聚焦在光刻膠這一塊，把技術(shù)進(jìn)一步做深做強。同時(shí)會(huì )根據技術(shù)去拓展，涉及到其余的應用材料里。我們希望根據自己擅長(cháng)的方向去走，不會(huì )因為公司規模大了或者其他原因盲目地做投入運營(yíng)。我們依然將按照公司自身的技術(shù)路線(xiàn)去發(fā)展和做一些不同領(lǐng)域的布局。

幻實(shí)（主播）：以技術(shù)來(lái)驅動(dòng)市場(chǎng)的開(kāi)拓。

傅志偉（嘉賓）：對。技術(shù)走到哪兒我們就去面對哪一塊的市場(chǎng)，而不是因為有市場(chǎng)需求反過(guò)來(lái)立刻去開(kāi)發(fā)一個(gè)東西，因為這樣做可能接觸到我們根本就沒(méi)碰到過(guò)、不擅長(cháng)的領(lǐng)域。

幻實(shí)（主播）：你們有沒(méi)有對標的公司？比如說(shuō)全球優(yōu)秀的、作為您做公司時(shí)的一個(gè)對標？

傅志偉（嘉賓）：剛剛也說(shuō)了我們是做光刻膠，光刻膠某種意義上來(lái)說(shuō)就是化學(xué)，所以我們就是個(gè)化學(xué)公司。而化學(xué)里面也分基礎化工、大化工，還有精細化工等等。中國目前來(lái)講還沒(méi)有一個(gè)規模特別大、研發(fā)能力及各方面特別強的綜合性精細化工公司。所以我們的理想是看看有沒(méi)有可能未來(lái)去對標杜邦、陶氏這種永遠在不停地做前瞻性研發(fā)的精細化工公司。這對我們來(lái)說(shuō)是蠻大的誘惑，我們希望能夠努力成為中國高端科技中精細化工領(lǐng)域的研發(fā)型公司，這是我們的夢(mèng)想。

2021年完成建設并已正式投產(chǎn)的邳州工廠(chǎng)航拍 （資料來(lái)源：徐州博康供圖）

幻實(shí)（主播）：我覺(jué)得中國確實(shí)也需要這種公司，像默克這樣的公司真的是掌握了太多前沿的方向，而且它們一直都是站在產(chǎn)業(yè)鏈的頂端去俯瞰下面，我覺(jué)得這個(gè)感覺(jué)是很好的。

傅志偉（嘉賓）：我們和杜邦、陶氏當年一起溝通的時(shí)候，他們說(shuō)的很明確：只要利潤達到30%以下就會(huì )把對應的產(chǎn)品停掉。為什么呢？他們永遠都只做成長(cháng)期的產(chǎn)品，或者親自開(kāi)發(fā)和培育整個(gè)市場(chǎng)中的材料和相關(guān)產(chǎn)品。但到了市場(chǎng)白熱化競爭階段時(shí)，利潤一旦低于他們的標準就會(huì )立馬被叫停，甚至把這類(lèi)產(chǎn)品整體打包賣(mài)掉。當時(shí)還準備賣(mài)給我們一些。很多新材料都出自他們，像當年的的確良、滌綸等等，都是這些化學(xué)公司開(kāi)發(fā)的。

幻實(shí)（主播）：說(shuō)明人家是非常有實(shí)力、底氣和才干的，這也值得我們去學(xué)習借鑒。最后借助我們芯片揭秘這個(gè)平臺，您有沒(méi)有想對外呼吁或者號召的？

傅志偉（嘉賓）：半導體行業(yè)是需要耐心的一個(gè)行業(yè)，我們希望客戶(hù)、市場(chǎng)和資本包括各方面能給我們這個(gè)行業(yè)更多的耐心。有了更多的耐心我相信我們這群做技術(shù)的人一定會(huì )給大家一個(gè)比較滿(mǎn)意的答卷。

幻實(shí)（主播）：謝謝傅總今天和我們分享了這么多，也期待博康的光刻膠大業(yè)及化學(xué)板塊的偉大宏圖未來(lái)能夠慢慢去展現。

傅志偉（嘉賓）：我是徐州博康的傅志偉，我在芯片揭秘等著(zhù)你。

隨著(zhù)晶圓廠(chǎng)掀起擴產(chǎn)潮，作為制程耗材的光刻膠市場(chǎng)空間也在進(jìn)一步釋放。根據SEMI的數據，全球半導體光刻膠市場(chǎng)規模2025年將超過(guò)30億美元。雖然光刻膠在半導體材料中的占比不到10%，卻往往有“四兩撥千斤”的作用，直接影響芯片的良率，其中的單體更是曝光顯影的原始載體，直接決定光刻膠的性能。很長(cháng)一段時(shí)間里，這類(lèi)高度精細化控制的工藝大部分掌握在美國、日本等海外廠(chǎng)商手里，國內企業(yè)依靠進(jìn)口來(lái)滿(mǎn)足下游環(huán)節的生產(chǎn)需求?？梢坏Ψ浇刍蛳捱\就會(huì )暴露出問(wèn)題。晶圓擴產(chǎn)潮為行業(yè)打開(kāi)了自主可控的機遇和窗口，未來(lái)還需要國產(chǎn)廠(chǎng)商不斷攻克材料和技術(shù)難題。我們相信，在高端光刻膠領(lǐng)域國內企業(yè)必將走出一條屬于自己的嶄新道路。