一種新的晶圓級1/f噪聲測量方法
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3. 測量架構
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/97638.htma) 噪聲測量配置
噪聲測量配置是由吉時(shí)利的系列測量?jì)x器構成的，包括半導體特征分析系統KI4200-SCS、可編程低電流放大器KI428-PROG和低通濾波器，以及吉時(shí)利的ACS(自動(dòng)特征分析套件)軟件。在構建這一配置時(shí)，特別注意要最大限度地減少外界電磁噪聲。
圖1. 新的測量配置方案原理圖
測試配置的原理圖如圖1所示，其中虛線(xiàn)表示ACS控制流，實(shí)線(xiàn)表示數據流。
b) 測試系統設計
安裝了ACS軟件的KI 4200-SCS和KI 4200-SCP2，能夠完成提供輸入電壓，控制電流-電壓的測量，測量噪聲信號，控制電流放大器，和分析測試結果等工作。
我們采用一個(gè)KI 4200 SMU和一個(gè)0.5Hz濾波器提供器件的輸入偏壓。由于低通濾波器能夠消除所有高于0.5Hz的噪聲，因此1/f噪聲測量的精度大大提高了。采用一個(gè)金屬盒將該濾波器屏蔽起來(lái)以避免引入外界電磁干擾，這樣盡可能地使輸入偏壓為一直流偏壓。
采用一個(gè)探針臺測量晶圓級1/f噪聲。探針臺、DUT(待測器件)和濾波器都用電磁屏蔽金屬盒屏蔽起來(lái)，從而消除和減少了外部噪聲的干擾。
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