應用材料公司推出SmartMove系統

　　近日，應用材料公司宣布推出SmartMove系統，這是半導體產(chǎn)業(yè)第一個(gè)面向非自動(dòng)化200mm和300mm芯片制造廠(chǎng)的全面硅片管理解決方案。SmartMove系統整合了應用材料公司已經(jīng)通過(guò)生產(chǎn)驗證的ActivityManager產(chǎn)流程自動(dòng)化軟件和來(lái)自Intellion公司的LotTrack技術(shù)，后者是一個(gè)創(chuàng )新的基于無(wú)線(xiàn)電和超聲波頻率的硅片盒跟蹤系統。

　　通過(guò)SmartMove技術(shù)，客戶(hù)的制造執行系統會(huì )持續收到硅片盒的確切位置信息，“需要注意”和“下一步去哪里”等信息會(huì )被發(fā)送到每一個(gè)硅片盒的顯示面板上，這樣操作員就不必手動(dòng)輸入數據，避免了硅片盒的錯誤放置，并降低了周期時(shí)間，從而提高了工作效率。