歐洲IC制造商訂購多套ANTARES®超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)清洗系統

FSI國際有限公司(納斯達克:FSII)今日宣布：一家領(lǐng)先的歐洲集成電路制造商在現場(chǎng)評估項目成功地驗證了缺陷排除之后,已經(jīng)購買(mǎi)多套ANTARES®CX超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)清洗系統。這些系統將用于先進(jìn)器件平面結構或元件結構的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。這批系統的營(yíng)業(yè)收入預計將記錄在2005財年的前半年。
   “由于超強的工藝性能，ANTARES系統正被應用于大批量的制造中，”FSI國際有限公司董事長(cháng)兼首席執行官Don Mitchell說(shuō)到，“該客戶(hù)和其他客戶(hù)發(fā)現ANTARES超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)清洗技術(shù)在缺陷排除方面非常有效，并且對敏感的元件結構不造成損傷，這項技術(shù)正在替代用于器件生產(chǎn)的傳統技術(shù)。我們已經(jīng)為客戶(hù)提供了一些評估系統，并且在全球看到了對該技術(shù)強烈興趣。這些訂單標志著(zhù)第13個(gè)集成電路制造廠(chǎng)將應用ANTARES系統的領(lǐng)先使能技術(shù)?！?br/>這項評估驗證了其他的ANTARES系統用戶(hù)使用超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)技術(shù)排除缺陷的優(yōu)點(diǎn)。許多客戶(hù)已經(jīng)發(fā)現ANTARES系統顯著(zhù)地提高了成品率、降低了器件試產(chǎn)時(shí)間以并提供一個(gè)優(yōu)異的投資回報。
ANTARES系統是一種全自動(dòng)的、單晶圓、用于300mm和200mm晶圓的超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)系統，它具有經(jīng)過(guò)生產(chǎn)現場(chǎng)驗證過(guò)的去除表面微粒缺陷和提高客戶(hù)成品率的應用歷史。 AspectClean™ 工藝推出于2003年9月，它提供了客戶(hù)在先進(jìn)工藝中使用ANTARES系統必需的缺陷降低功能。ANTARES系統提供全干的、非化學(xué)反應的方法從FEOL和BEOL平面結構和元件結構上取出缺陷，包括在低介電系數結構中無(wú)損傷、不改變介電系數值或損傷內聯(lián)層材料本身，這種方法與傳統方法相比具有明顯的優(yōu)勢。