臺積電曝EUV主要機臺沒(méi)受損 美媒示警：強震后面臨考驗

昨日花蓮發(fā)生規模7.2地震，外媒高度關(guān)注是否對中國臺灣護國神山臺積電造成影響，臺積電表示，部分廠(chǎng)區的少數設備受損，但所有極紫外（EUV）光刻設備等主要機臺皆無(wú)受損?！度A爾街日報》撰文指出，臺積電坐落在世界上最大地震熱點(diǎn)之一的中國臺灣，在昨日強震后將受到考驗。

報導指出，在此次地震中臺積電是幸運的，因為其主要設施地點(diǎn)位在北、中、南部，與東部的震央距離相對較遠，這次臺積電新竹、龍潭和竹南等科學(xué)園區的最大震度為5級 ，臺中和臺南科學(xué)園區的最大震度4級。

雖然臺積電工廠(chǎng)建筑物完好無(wú)損，但用于制造半導體的設備和材料非常精密，也可能出現不太明顯的損壞。報導提到，硅芯片約為1個(gè)披薩大小的薄片，只要有一點(diǎn)點(diǎn)小缺陷，就可能無(wú)法使用被丟棄。

此外，即使半導體工廠(chǎng)短暫停工，但也可能對生產(chǎn)造成很大影響，而且重新啟動(dòng)需要時(shí)間，有可能造成高達千萬(wàn)美元的損失。

臺積電則在官網(wǎng)上注明，從民國88年歷經(jīng)921地震以來(lái)，即采用超越法規的標準做好防震管理措施，不僅在震后全面檢視所有廠(chǎng)房與設施，陸續裝設阻尼器補強廠(chǎng)房結構，同時(shí)更積極采用新的設備減震與隔震技術(shù)，以降低地震可能對營(yíng)運帶來(lái)的風(fēng)險。

工商時(shí)報報導，臺積電昨日晚間發(fā)表聲明，在3日地震發(fā)生后僅10小時(shí)內，晶圓廠(chǎng)設備的復原率已超過(guò)70％，新建的晶圓廠(chǎng)（如晶圓十八廠(chǎng)）的復原率更已超過(guò)80％。臺積電強調，雖然部分廠(chǎng)區的少數設備受損并影響部分產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)，主要機臺包含所有極紫外（EUV）光刻設備皆無(wú)受損。