多位大咖發(fā)聲，如何推動(dòng)國產(chǎn)半導體設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展？

8 月 10 日，CSEAC 第十一屆（2023）半導體設備年會(huì )在無(wú)錫召開(kāi)。本屆會(huì )議各大論壇座無(wú)虛席，這樣的盛況反映了半導體設備正越來(lái)越受到重視。美國政府對中國半導體設備進(jìn)口的限制，讓過(guò)去不太「熱」的半導體設備產(chǎn)業(yè)走向人們關(guān)注的中心。華潤微、中微半導體、富創(chuàng )精密等 CEO 為國產(chǎn)半導體設備發(fā)聲。中微半導體 CEO 尹志堯博士總結了美國從 2019 年開(kāi)始對中國集成電路限制產(chǎn)業(yè)所出的「十五招」。

1.2019 年，荷蘭政府在美國政府的干預下，不允許 ASML 給國內晶圓制造的龍頭企業(yè)中芯國際付運最先進(jìn)的 EUV 極紫外光刻機，為開(kāi)發(fā)先進(jìn)的芯片設置極大的障礙。

2.2020 年 4 月 17 日，美國政府宣布不允許中國的芯片公司用涉及美國設備和技術(shù)制造的芯片，供應給軍方。

3.2020 年 5 月 15 日，美國政府出臺新的出口控制政策，不允許任何芯片公司用涉及美國設備和技術(shù)，為國內芯片設計龍頭公司海思制造他們設計的芯片。

4.2020 年 8 月 17 日，美國商業(yè)部宣布，任何使用美國設備和軟件為華為生產(chǎn)產(chǎn)品都要獲得美國的許可證。

5.2020 年 8 月 27 日，美國商業(yè)部限制對中國出口半導體制造設備及相關(guān)軟件工具、激光器、傳感器。

6.2020 年 9 月 25 日，美國商務(wù)部要求向中芯國際提供設備和技術(shù)都要申請許可。

7.2020 年 12 月 18 日，美國商業(yè)部宣布將中芯國際列入「實(shí)體清單」，美國設備和關(guān)鍵零部件都要申請許可，10 納米及以下不給予許可。

8.2021 年 1 月 15 日，美國國防部將中微半導體設備公司列入「涉軍企業(yè)」名單。經(jīng)過(guò)據理力爭已從名單撤除。

9.2022 年 7 月-8 月，美國出臺《2022 年芯片與科學(xué)法案》，宣布 520 億美元投給芯片產(chǎn)業(yè)，涉及設備制造、研究發(fā)展、人員培養、成果轉換等；提供為期 4 年的 25% 的稅收減免，以鼓勵企業(yè)在美國本土建廠(chǎng)；總共 2000 億美元科學(xué)和技術(shù)研究基金。

10.2022 年 7 月底，對美國芯片制造設備行限制，美主要設備廠(chǎng)商在未經(jīng)許可的情況下，不可向中國大陸芯片制造商出貨。

11.2022 年 8 月初，出臺對中國芯片設計行業(yè) (EDA) 的限制。

12.2022 年 10 月 5 日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局將 31 個(gè)中國公司列入 UVL 未確定名單，包含幾家集成電路制造和設備公司。美國商業(yè)部明示，要求這些公司主動(dòng)和商業(yè)部溝通，如果能提出有說(shuō)服力的終端客戶(hù)信息，排除涉及軍方項目，會(huì )將他們從清單上撤除。但是如果不能主動(dòng)溝通，60 天以后就會(huì )將他們列到實(shí)體清單。

13.2022 年 10 月 7 日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局發(fā)布對中國集成電路先進(jìn)制程的限制法案。這個(gè)法案可以用一句話(huà)說(shuō)明: 美國人和美國公司 (American persons) 沒(méi)得到商業(yè)部許可，不得參與在中國芯片制造人工智能芯片，超算芯片，16/14 納米及以下 FinFET 和 GAA 邏輯器件，18 納米及以下的 DRAM 器件和 128 層及以上的 Falsh 器件，不得提供設備。

（AmericanPersons 是指四種人：美國公民，持美國綠卡的人，在美國生活和工作的外國人，在美國注冊的，總部在在美國的法人公司，該這個(gè)法案只對「美國人」包括美國公司法人有法律效力，對在中國注冊的中國公司沒(méi)有法律效力。）

14.2022 年 12 月 美國商業(yè)部工業(yè)安全局將 32 個(gè)中國公司列入「實(shí)體清單「，美公司不得提供設備。

15.美國政府極力推動(dòng)日本政府和和荷蘭政府跟隨美國不得參與我國先進(jìn)芯片研發(fā)和生產(chǎn)，不得提供設備。日本政府在 2023 年 5 月 23 日發(fā)布了對 23 種半導體設備的出口限制。荷蘭政府也將出臺對光刻機限制出口的細節。

在美國時(shí)間 8 月 9 日，美國總統拜登簽署行政令設立對外投資審查機制，限制美國主體投資中國半導體和微電子、量子信息技術(shù)和人工智能領(lǐng)域，成為限制中國半導體的第十六招。從美國政府的種種限制中不難發(fā)現，半導體設備頻頻出現。這是因為半導體設備是集成電路產(chǎn)業(yè)的基石，限制了設備就可以限制行業(yè)的進(jìn)步。

工欲善其事，必先利其器

數碼產(chǎn)業(yè)是一個(gè)倒置的三角形，從應用層面來(lái)看，數碼產(chǎn)業(yè)可能會(huì )有上幾十億的幾十萬(wàn)億美金的規模；所有的應用都要有一個(gè)硬件支撐叫電子系統，可能有幾萬(wàn)億的產(chǎn)值；這些電子系統又被半導體芯片的設計和制造所支撐；而半導體設備則是半導體芯片制造的支撐。如果不能做出這樣高精尖的半導體微觀(guān)加工設備，就做不出芯片。

尹志堯博士介紹，目前一條 12 英寸的生產(chǎn)線(xiàn)大概需要 100 億美金的投資，其中 70% 用來(lái)買(mǎi)設備，總體來(lái)說(shuō)要買(mǎi) 10 大類(lèi)設備，細分的設備超過(guò) 170 種，細分到型號可能有 300 多種?？偟膩?lái)說(shuō)，需要 3500 臺設備構成一條生產(chǎn)線(xiàn)，這樣的數據組反映了設備市場(chǎng)的重要性與復雜程度。

隨著(zhù)中國大陸半導體芯片市場(chǎng)需求的旺盛，半導體設備和材料市場(chǎng)也在逐漸蓬勃。當前全球半導體設備制造市場(chǎng)上，美國制造商占比 45.64%、日本 31.05%、歐洲 21.91%；前五大制造商 AMAT/ASML/LAM/TEL/KLA 占比約 66%。與此同時(shí)，中國已經(jīng)成為全球最大的設備市場(chǎng)，這樣的數據表明，中國半導體設備制造商有著(zhù)極大的潛力。在這樣的背景下，半導體設備公司如何把握機遇成為了重要議題。

內卷時(shí)代，產(chǎn)業(yè)鏈上下游需要協(xié)同發(fā)展

華潤微電子執行董事、總裁李虹博士表示，隨著(zhù)半導體設備、材料及零部件等供應鏈環(huán)節重要性凸顯，國產(chǎn)化進(jìn)度進(jìn)入到動(dòng)態(tài)調整期，制造、設備企業(yè)對國內基礎材料和零部件企業(yè)的支持力度明顯提升，驗證進(jìn)度已經(jīng)開(kāi)始加快。已經(jīng)有多家國產(chǎn)設備細分龍頭出現。

與此同時(shí)，多個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的公司表示行業(yè)出現了內卷的情況，而這有可能影響半導體設備行業(yè)的發(fā)展。2010 年，半導體設備行業(yè)曾經(jīng)出現了「藍光熱」現象，曾經(jīng)有 54 家企業(yè)宣布要開(kāi)發(fā) GaN LED MOCVD 設備，其中大部分企業(yè)都拿到了投資；然而六七年后，52 家公司的項目都宣布終止。這種現象反映了行業(yè)的內卷，是對人力、物力、財力的浪費。

對于正在迎頭追趕的半導體設備產(chǎn)業(yè)，如果大量出現專(zhuān)利抄襲、人才挖角、投資機構盲目投資之類(lèi)的惡行問(wèn)題，對整個(gè)行業(yè)的傷害是極大的。尹志堯博士表示，內卷在高科技領(lǐng)域其實(shí)是一種正?，F象，但為了行業(yè)的健康發(fā)展，要杜絕的是惡性競爭；對此他也提出建議，政府和行業(yè)需要制定一些公平競爭的法則和規劃，降低內耗，防止惡性競爭來(lái)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

半導體設備零部件公司富創(chuàng )精密董事長(cháng)鄭廣文也提到，當前半導體零部件企業(yè)面對的一個(gè)難題就是需求端的引領(lǐng)不足。零部件廠(chǎng)商需要了解產(chǎn)品的精度，但是沒(méi)有客戶(hù)就沒(méi)有方向。對于集成電路產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，越是上游就越要預測下游的趨勢，就越要走到下越前面。然而如果沒(méi)溝通、協(xié)作，上游廠(chǎng)商就無(wú)法與下游客戶(hù)一起發(fā)展。在這樣的情況下，「協(xié)同發(fā)展」整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)從業(yè)者共同的訴求。

同時(shí)，整個(gè)行業(yè)已經(jīng)意識到了產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的重要性。富創(chuàng )精密就曾配合客戶(hù)從 0 到 1 完成一款設備的導入上線(xiàn)。

半導體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵在于人，尹志堯博士在演講中提到，中國留學(xué)生在多個(gè)半導體設備的研發(fā)中都充當了重要角色。而很多設備的領(lǐng)軍的人物都已經(jīng)回國，成為國內半導體設備公司的中堅力量。所以可以相信，在一段時(shí)間后，中國能開(kāi)發(fā)出有國際競爭力的設備產(chǎn)業(yè)。

我們處在一個(gè)數碼時(shí)代，而它的核心是微觀(guān)加工，微觀(guān)加工的核心是微觀(guān)加工的設備。在這個(gè)「越做越小」的時(shí)代，國內集成電路行業(yè)需要把自己的格局放大。