國產(chǎn)化需求正在拉動(dòng)國內半導體設備行業(yè)

盡管半導體景氣度從 2022 年下半年顯著(zhù)回落，半導體設備是少數逆勢高速增長(cháng)的細分行業(yè)。作為 A 股半導體設備龍頭，北方華創(chuàng )高管在 5 月 31 日舉辦的 2022 年度業(yè)績(jì)說(shuō)明會(huì )上表示公司目前在手訂單充足，并預測受?chē)a(chǎn)替代需求拉動(dòng)，今年國內半導體設備行業(yè)仍有望持續增長(cháng)。

2022 年，北方華創(chuàng )實(shí)現營(yíng)業(yè)收入 147 億元，同比增長(cháng)約五成，凈利潤約 24 億元，同比增長(cháng) 1.18 倍；今年一季度公司實(shí)現凈利潤近 6 億元，同比增長(cháng) 1.86 倍。

「目前公司在手訂單充足，2023 年 1-5 月新增訂單相較去年同期增長(cháng)超過(guò) 30%，其中以集成電路設備訂單為主?！贡狈饺A創(chuàng )高管表示。

北方華創(chuàng )在半導體設備領(lǐng)域業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕裝備、薄膜裝備、立式爐裝備、外延裝備、清洗裝備、臥式爐管設備等，去年電子工藝裝備部分業(yè)務(wù)實(shí)現營(yíng)業(yè)收入同比增長(cháng)約五成。

在刻蝕設備領(lǐng)域，北方華創(chuàng )高管介紹，面向 12 英寸邏輯、存儲、功率、先進(jìn)封裝等客戶(hù)，已完成數百道工藝的量產(chǎn)驗證，其中，ICP 刻蝕產(chǎn)品出貨累計超過(guò) 2000 腔，8 英寸 CCP 刻蝕設備已批量供應市場(chǎng)，12 英寸 CCP 刻蝕設備已進(jìn)入客戶(hù)端驗證。另外，公司用于存儲器件的高深寬比刻蝕機已完成研發(fā)，進(jìn)入工藝測試階段，各項技術(shù)指標已基本滿(mǎn)足客戶(hù)要求。

對于刻蝕設備優(yōu)勢，北方華創(chuàng )介紹，公司自 2001 年開(kāi)始研發(fā) ICP 刻蝕設備，2005 年第一臺設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)，目前已有超過(guò) 2000 腔產(chǎn)品在數十家客戶(hù)端實(shí)現量產(chǎn)應用，在數百道制程上成為客戶(hù)的基線(xiàn)設備。

北方華創(chuàng )不是唯一一家在一季度實(shí)現增長(cháng)的半導體設備公司，受益于國內半導體下游行業(yè)設備需求的不斷增加。

盛美上海 2023 年一季度營(yíng)業(yè)收入 6.16 億元，同比增長(cháng) 74.09％；歸屬于上市公司股東的凈利潤 1.31 億元，上年同期盈利 431.12 萬(wàn)元，同比增長(cháng) 2937.19％。

拓荊科技一季度實(shí)現營(yíng)收 4.02 億元，同比增長(cháng) 274.24％；歸屬于上市公司股東的凈利潤 5371.8 萬(wàn)元，扭虧為盈。

華海清科今年一季度營(yíng)業(yè)收入 6.16 億元，同比增長(cháng) 76.87％，扣非歸母凈利潤 1.67 億元，同比增長(cháng) 114.46％。

芯源微同樣披露了良好的一季報，期內營(yíng)收 2.88 億元，同比增長(cháng) 56.89％，歸母凈利 6597.74 萬(wàn)元，同比增長(cháng) 103.55％。

5 月 23 日，日本宣布把尖端半導體制造設備等 23 個(gè)品類(lèi)列入出口管理限制對象名單，本次措施主要是增加了 6 大類(lèi) 23 種管制物項，對華出口需申請許可。

在清單內的受管制物品在向中國大陸、俄羅斯等地區出口時(shí)，需要獲得日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的許可證。清單主要針對高端半導體制造設備，尤其是特別聚焦了 ArF 浸沒(méi)式光刻、EUV 配套設備及部件、鈷/鎢等金屬沉積、高深寬比刻蝕和硅鍺刻蝕等技術(shù)指標較高、材料特殊、在先進(jìn)制程有針對性應用的半導體設備品種，而光刻膠等日本優(yōu)勢的半導體材料則未在限制行列之中。

中信證券研報認為，中國大陸為日本主要半導體設備廠(chǎng)商的重要收入來(lái)源地區之一，出口限制主要針對先進(jìn)芯片制造，符合預期，否則若全面限制、日本半導體相關(guān)產(chǎn)業(yè)也會(huì )有較大沖擊。在這樣的背景下，半導體設備以及零部件領(lǐng)域國產(chǎn)化進(jìn)展備受關(guān)注。

廣發(fā)證券整理了 2022 年國內晶圓廠(chǎng)的公開(kāi)招標項目，以及相關(guān)半導體設備廠(chǎng)商的中標情況。2022 年，國內半導體設備廠(chǎng)商合計中標量在對應工藝環(huán)節的中標比例為 26%。中標方面，2022 年，統計樣本中的晶圓產(chǎn)線(xiàn)合計中標 1040 臺設備，以量測、沉積類(lèi)、熱處理設備居多；國產(chǎn)設備整體中標比例約 30%，其中，硅片再生、氣液系統、去膠、濕法腐蝕、PVD 設備的國產(chǎn)中標比例較高。

2022 年，國內半導體設備廠(chǎng)商合計中標 231 臺設備，北方華創(chuàng )、創(chuàng )微微電子、中微公司、萬(wàn)業(yè)企業(yè)中標量領(lǐng)先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設備。

從這樣的數據來(lái)看，國內半導體設備廠(chǎng)商已經(jīng)有所成果，但仍有增長(cháng)空間。根據 SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )）數據，2022 年中國晶圓廠(chǎng)商半導體設備國產(chǎn)化率較 2021 年明顯提升，從 21% 提升至 35%；國內半導體設備公在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及 CMP 領(lǐng)域內國產(chǎn)替代率較高，均高于 30%，但在光刻機、離子注入機等領(lǐng)域國產(chǎn)化率合計不足 5%。

半導體行業(yè)自 2022 年下半年進(jìn)入下行周期，半導體制造商紛紛宣布削減 2023 年資本開(kāi)支；對于國產(chǎn)半導體設備增長(cháng)趨勢，北方華創(chuàng )高管表示看好，預計受?chē)a(chǎn)替代需求拉動(dòng)，今年國內半導體設備行業(yè)仍有望持續增長(cháng)。