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佳能發(fā)售用于生產(chǎn)車(chē)載大型特殊顯示器及智能手機顯示器的FPD新曝光設備

—— 更大的曝光幅度 更強的生產(chǎn)性能
作者: 時(shí)間:2024-05-27 來(lái)源:EEPW 收藏

將在2024年6月上旬發(fā)售支持使用第6代玻璃基板※1(Flat Panel Display)曝光裝置新產(chǎn)品MPAsp-E1003H。其擁有更大的曝光幅度,生產(chǎn)能力將進(jìn)一步提升。

本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/202405/459247.htm

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MPAsp-E1003H

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車(chē)載橫向大型特殊(示意圖)

近年來(lái),隨著(zhù)自動(dòng)駕駛技術(shù)的發(fā)展和電動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)的擴大,對于各式各樣的車(chē)載的需求量越來(lái)越高。市場(chǎng)對于車(chē)載和智能手機的,要求更輕薄、輕量,高精度,同時(shí)面板制造中不僅要確保品質(zhì),而且追求更高的生產(chǎn)效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的擴大技術(shù)以及各種新技術(shù)的應用,在取得更好的套刻精度的同時(shí)還能大幅提升生產(chǎn)效率。

支持使用第6代玻璃基板的最大※2的曝光幅度,生產(chǎn)性能提升

新產(chǎn)品采用了投影光學(xué)系統,可實(shí)現1.5μm※3(L/S※4)的高分辨率,且一次曝光幅度擴大約1.2倍※5。該投影光學(xué)系統曾用于“MPAsp-H1003H”(2022年7月發(fā)售),可用于生產(chǎn)使用第8代玻璃基板※6一次性曝光、用于大型電視等的65英寸面板。在一塊玻璃基板上,如果生產(chǎn)智能手機面板等產(chǎn)品,此前需要6shot曝光,而新產(chǎn)品僅需4shot曝光,生產(chǎn)性能大幅提升。此外,在生產(chǎn)車(chē)載橫向大型特殊顯示器時(shí),也可以做到無(wú)接縫2shot曝光。且,玻璃基板搭載臺的驅動(dòng)速度提升約60%,tact time提升約14%※7,有效提升了量產(chǎn)效率。

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曝光幅度約擴大1.2倍

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【玻璃基板搭載臺】

重量相當于一輛中型卡車(chē)。為了高效率生產(chǎn)制造高清顯示器,需要精確且高速地移動(dòng)。

第8代玻璃基板上采用的投影光學(xué)系統的圖片

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智能手機用顯示器的shot 布局示例;大型特殊顯示器的shot 布局示例

根據用途可進(jìn)行4 shot或者2 shot曝光

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定位測量,REI模塊搭載位置

新開(kāi)發(fā)的非線(xiàn)性補正模塊,實(shí)現高套刻精度

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通過(guò)REI 模塊對投影的圖案進(jìn)行均等補正

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定位測量示意圖

新產(chǎn)品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”(2014年9月發(fā)售)一樣的每塊面板多點(diǎn)同時(shí)測量的對位方式,此方式既保證了生產(chǎn)效率也實(shí)現了高精度曝光。同時(shí),新產(chǎn)品還搭載了新開(kāi)發(fā)的非線(xiàn)性補正REI(Real-Time Equalizing distorted Image)模塊。搭載REI 模塊后,即使曝光幅度擴大也實(shí)現了±0.30μm高套刻精度。

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以往的技術(shù)+REI 以往的技術(shù)

使用REI Unit后的曝光圖案(示意圖)


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照明模式切換設備和曝光示意圖

強化制造工藝

新產(chǎn)品沿用了曾經(jīng)搭載在“MPAsp-H1003H”上實(shí)現了超分辨率技術(shù)的照明模式切換機構,可根據需要曝光圖案的種類(lèi)進(jìn)行照明模式切換,從而適配各類(lèi)制造工序的曝光。

新產(chǎn)品在形成圓弧光的機構中,配備曝光狹縫自動(dòng)調整機構(SIC:Slit Illuminance Control)。通過(guò)自動(dòng)控制光線(xiàn)通過(guò)的狹縫寬度,可以改變曝光光線(xiàn)的強度分布,從而實(shí)現穩定的曝光線(xiàn)寬。

同時(shí),新產(chǎn)品還采用了可配合曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向的universe chuck,首次實(shí)現可應對車(chē)載顯示器多樣化布局需求。

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曝光狹縫自動(dòng)調整機構

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自動(dòng)控制光通過(guò)狹縫的幅度實(shí)現穩定的曝光線(xiàn)寬

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橫向縱向皆可固定玻璃基板的universe chuck

新產(chǎn)品MPAsp-E1003H通過(guò)強化上述制造工序的工藝應對能力,制造質(zhì)量更加穩定。

※   1、1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板,用于制造以智能手機為主的中小型顯示器面板。

※   2、生產(chǎn)的支持使用第6代玻璃基板的。

※   3、1微米是1米的百萬(wàn)分之一(=千分之一毫米)。

※   4、Line and Space的縮寫(xiě)。Line和Space等距排列的圖案。

※   5、和「MPAsp-E813H」比較。

※   6、2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板,現在主要用于制造電視顯示器面板。

※   7、和「MPA-E813H」比較。

※   8、σ(sigma)為照明系的NA(開(kāi)口數)和投影系的NA的比。

※   9、Contact Hole縮寫(xiě)。為了形成布線(xiàn)而貫穿多層的圓形圖案。

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內部(參考圖)

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的FPD的工作機制

佳能的FPD曝光設備采用鏡面投影方式。鏡面投影方式由大凹面鏡,小凹面鏡和梯形鏡組成。通過(guò)將光照射在單元上方的光掩模上,光掩模上的電路圖案就可以在經(jīng)過(guò)5次反射后準確地轉印在玻璃基板上。約1μm(1mm的千分之一)的精細電路圖案轉印到大型玻璃基板上時(shí),凹面鏡特別關(guān)鍵。佳能具有較強的光學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù),因而能夠研發(fā)生產(chǎn)直徑約1.5米的大型凹面鏡。

佳能的曝光方式在光學(xué)上具有完全對稱(chēng)的結構,優(yōu)點(diǎn)是在原理上不會(huì )產(chǎn)生因斜射光引起的彗形像差(滲光),也不會(huì )因使用鏡頭的折射光學(xué)系統引起光的波長(cháng)差異進(jìn)而導致的色差(色偏)。在圓弧形的范圍內能夠得到優(yōu)良的成像特性,通過(guò)掃描該圓弧形的曝光區域即可實(shí)現大面積高分辨率性能。



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