臺媒：半導體設備廠(chǎng)翔名打入臺積電EUV供應鏈

【TechWeb】7月23日消息，據臺灣媒體報道，臺灣半導體設備廠(chǎng)翔名打入了臺積電EUV（極紫外光刻）供應鏈。

臺積電

臺媒稱(chēng)，翔名切入臺積電5nm極紫外光（EUV）光罩盒表面處理業(yè)務(wù)，與EUV光罩盒大廠(chǎng)接洽合作機會(huì )，以獨家專(zhuān)利無(wú)電鍍鎳（ENP）表面處理技術(shù)來(lái)提升產(chǎn)品良率，目前該光罩盒廠(chǎng)正進(jìn)行評估測試，未來(lái)獲臺積電EUV制程指定產(chǎn)品入場(chǎng)門(mén)票機會(huì )大增。

為跨入5nm EUV光罩盒業(yè)務(wù)，翔名積極接觸光罩盒大廠(chǎng)尋求合作契機，提供無(wú)電鍍鎳／化學(xué)鎳（ENP，Electroless Nickel Plating）表面處理專(zhuān)利技術(shù)，可在金屬或塑料等固體基材表面上沉積一層均勻的鎳磷合金，使其EUV光罩盒不沾染、減少微粒工序，延長(cháng)產(chǎn)品生命周期。

有分析稱(chēng)，一旦取得EUV光罩盒表面處理業(yè)務(wù)，以臺積電光罩盒替換需求在近萬(wàn)套水準，加上后續4nm及3nm陸續量產(chǎn)需求，翔名2021年營(yíng)運表現值得期待。