韓國化工企業(yè)已確立高純度大量生產(chǎn)氟化氫技術(shù)

據悉，韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部日前表示，韓國化工企業(yè)已確立能以高純度大量生產(chǎn)氟化氫的制造技術(shù)。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。 

外媒稱(chēng)，韓國化工企業(yè)“Soul Brain”新設和擴建了制造工廠(chǎng)，可將液體氟化氫的雜質(zhì)減少至“1萬(wàn)億分之一”。這一純度可用于要求極高純度的半導體制造。 

韓國經(jīng)濟媒體認為，生產(chǎn)規模將能滿(mǎn)足韓國國內70至80％左右的需求。 

去年9月，外媒曾報道，三星電子開(kāi)始在半導體生產(chǎn)線(xiàn)上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫。 

外媒當時(shí)表示，在高純度的氟化氫市場(chǎng)，日本廠(chǎng)商大約占據8至9成份額。三星電子對于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹慎態(tài)度。