京儀裝備成功研發(fā)出國內首臺晶圓自動(dòng)翻轉倒片機

據北京亦莊官方消息，位于北京經(jīng)開(kāi)區的北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“京儀裝備”），成功研發(fā)出國內首臺晶圓自動(dòng)翻轉倒片機，破解了國產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉倒片機自動(dòng)化難題。

晶圓自動(dòng)翻轉倒片機是一項難度極高的工藝，用力過(guò)猛容易導致晶圓表面破損，力度太小晶圓則會(huì )自動(dòng)脫落，加之晶圓表面的高精密性，倒片機只能夾住晶圓的兩邊進(jìn)行自動(dòng)翻轉，這就給自動(dòng)翻轉倒片機的研發(fā)帶來(lái)了難題。

據了解，晶圓倒片機是用來(lái)調整集成電路產(chǎn)線(xiàn)上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線(xiàn)上的晶圓通過(guò)制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉后進(jìn)行下一道程序，這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

目前，京儀裝備研發(fā)的首臺晶圓自動(dòng)翻轉倒片機已經(jīng)在上海集成電路研發(fā)中心得到成功應用。早期型號倒片機則已經(jīng)在中芯國際、長(cháng)江存儲等多家企業(yè)得到應用。