泛林集團自維護設備創(chuàng )生產(chǎn)率新紀錄

上海 —— 近日，全球領(lǐng)先的半導體制造設備及服務(wù)供應商泛林集團宣布其自維護設備創(chuàng )下半導體行業(yè)工藝流程生產(chǎn)率的新標桿。通過(guò)與領(lǐng)先半導體制造商合作，泛林集團成功實(shí)現了刻蝕工藝平臺全年無(wú)間斷運行。

在當今半導體工藝環(huán)境中，平均清洗間隔時(shí)間是限制刻蝕系統生產(chǎn)率提高的主要因素。為了保持穩定的性能，通常需要每月、甚至每周清洗刻蝕工藝腔室，并更換被等離子體工藝腐蝕的部件。2019 年 4 月，泛林集團與客戶(hù)攜手達成了一項宏偉目標，實(shí)現設備在無(wú)需維護清洗的情況下連續運行 365 天，創(chuàng )下里程碑式紀錄。

泛林集團自維護設備創(chuàng )生產(chǎn)率新紀錄

泛林集團刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部高級副總裁兼總經(jīng)理 Vahid Vahedi 表示：“這一突破性成就彰顯了泛林集團專(zhuān)注客戶(hù)合作，幫助客戶(hù)解決最具挑戰性的技術(shù)和生產(chǎn)率問(wèn)題。泛林集團致力于提供符合工業(yè) 4.0的技術(shù)，使芯片制造企業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程更快速、更準確、更高效。這一新的行業(yè)標桿印證了自維護設備可以減少人工勞動(dòng)，提高生產(chǎn)效率?！?/p>

通常，刻蝕工藝模塊需要定期維護并更換耗件。更換和清洗部件必須打開(kāi)腔室完成，在關(guān)閉腔室時(shí)需要重新驗證腔室環(huán)境，既耗時(shí)又費力，不但影響了產(chǎn)量，還需依靠復雜的調度安排。利用自維護解決方案，設備可自主決策需要更換部件的時(shí)間，且無(wú)需打開(kāi)腔室即可自動(dòng)更換，減少了設備的停機時(shí)間，提高了工廠(chǎng)的生產(chǎn)效率。

泛林集團這一創(chuàng )新解決方案包括Kiyo?工藝模塊、采用真空傳輸可更換邊緣環(huán)的Corvus? R系統、擁有使用壽命更長(cháng)的腔室組件、以及經(jīng)過(guò)優(yōu)化的無(wú)晶圓自動(dòng)清洗技術(shù)。其中，實(shí)現這一空前生產(chǎn)率的關(guān)鍵在于Corvus R系統，它是業(yè)界首個(gè)可自動(dòng)更換耗件的系統。長(cháng)期以來(lái)，刻蝕工藝一直存在邊緣環(huán)腐蝕的問(wèn)題，需要頻繁打開(kāi)腔室更換部件。Corvus R無(wú)需打開(kāi)腔室，即可自動(dòng)更換新的邊緣環(huán)。 

這一技術(shù)是泛林集團Equipment Intelligence? 解決方案的一部分。該解決方案集成了關(guān)鍵元件，并可創(chuàng )建自感知、自維護和自適應的設備與工藝。此外，Equipment Intelligence解決方案整合了機器學(xué)習、人工智能和自動(dòng)化、自感知的硬件與工藝，有望提高生產(chǎn)效率，改善產(chǎn)品性能，加速行業(yè)創(chuàng )新。