清華大學(xué)院士工作站落戶(hù)蚌埠 加強MEMS行業(yè)研究應用

　　11月10日上午，在中國MEMS(微機電系統)傳感器暨集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇上，清華大學(xué)副校長(cháng)、中科院尤政院士和中國兵器工業(yè)第二一四研究所共同為清華大學(xué)院士工作站揭牌，至此，清華大學(xué)院士工作站首次正式落戶(hù)我省蚌埠中國兵器二一四研究所。

　　新安晚報、安徽網(wǎng)、大皖客戶(hù)端記者獲悉，此次合作的目的是加強雙方在MEMS相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)研究和應用，實(shí)現研發(fā)與產(chǎn)業(yè)結合，以國際上同行業(yè)先進(jìn)技術(shù)為標桿，創(chuàng )新成果擁有自主知識產(chǎn)權，做到技術(shù)水平達國際先進(jìn)、國內領(lǐng)先，同時(shí)培養高素質(zhì)人才，推動(dòng)行業(yè)整體技術(shù)水平提高。

　　院士工作站將開(kāi)展MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，進(jìn)行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設計研究、低應力MEMS制造工藝及工藝一致性研究、低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設計研究、異質(zhì)材料的低應力高密度集成封裝技術(shù)研究、大批量高精度MEMS器件晶圓級測試技術(shù)、基于多MEMS傳感器數據的導航定位算法研究在內的多項研究工作，并計劃在相關(guān)領(lǐng)域申請多項國家專(zhuān)利，實(shí)現MEMS技術(shù)的領(lǐng)先地位。

　　清華大學(xué)院士工作站的建立不僅利用專(zhuān)家、專(zhuān)業(yè)知識為中國兵器工業(yè)搭建了技術(shù)創(chuàng )新的服務(wù)平臺，提升了技術(shù)合作的質(zhì)量和效率，也同時(shí)為蚌埠工業(yè)技術(shù)水平的提升做出了巨大的貢獻，更是強有力地推動(dòng)了我省及國家科技發(fā)展，實(shí)現了專(zhuān)家、企業(yè)的共贏(yíng)。