Enpirion推出全球首個(gè)具備新式晶圓級磁集成技術(shù)的二維薄膜磁芯

 　　· 新研發(fā)平面磁合金

　　· 兼容CMOS且經(jīng)濟高效的批量生產(chǎn)工藝

　　· 成就全球成本最低、密度最高的直流-直流轉換器

　　HAMPTON, NJ 新澤西州漢普頓(HAMPTON, NJ)——2012年11月27日——集成式電源IC解決方案市場(chǎng)的領(lǐng)導者Enpirion宣布成功推出一種新型磁合金，該磁合金利用晶圓級集成電路極大地縮小了無(wú)源磁部件的體積并降低其同化作用。晶圓級磁集成(WLM)是對傳統技術(shù)的重大突破，將磁部件從三維離散形狀發(fā)展為二維平面薄膜形式，并可借助標準圓片工序將該二維平面薄膜安裝在CMOS圓片之上。Enpirion公司研發(fā)的WLM技術(shù)完全適用于高產(chǎn)量鑄造廠(chǎng)的全面批量生產(chǎn)，并實(shí)現了業(yè)內首個(gè)基于電鍍晶圓級磁集成的電源單芯片系統。WLM技術(shù)旨在實(shí)現單片式電源單芯片，可輕松應用至其他微型磁集成領(lǐng)域，如信號隔離專(zhuān)用微型變壓器、生命科學(xué)領(lǐng)域專(zhuān)用微型電磁體，導航專(zhuān)用集成式磁傳感器以及便攜式消費者服務(wù)領(lǐng)域專(zhuān)用的PMIC。

　　“提高轉換頻率可以使采用了電鍍WLM材料的小型感應器投入使用，這一電鍍WLM材料可接受后期CMOS處理。我們開(kāi)發(fā)了一款名為FCA的非晶質(zhì)鐵鈷基合金，該產(chǎn)品能夠以高于20MHz的頻率工作，同時(shí)盡量不減少磁性，”MEMS技術(shù)公司負責人兼Enpirion聯(lián)合創(chuàng )始人特里豐·利克波羅(Trifon Liakopoulos)博士解釋道，“圓片電鍍法有可能可以將由沖影印刷術(shù)界定的FCA磁芯高效經(jīng)濟地安裝在在硅片上。”

　　FCA具有高電阻率、低矯頑力，且能在頻率高于20MHz時(shí)保持高度有效的滲透性。FCA高度的磁飽和性使其適于用作電源電路的單層或多層，與倒裝芯片、焊絲與焊錫回流封裝法相容。

　　Enpirion開(kāi)發(fā)出的整體工藝模塊可利用低成本的電鍍裝置將FCA安裝到6英寸或8英寸的圓片上。這一技術(shù)已經(jīng)在今年早些時(shí)候嵌入應用至一臺圓片批量生產(chǎn)設備，Enpirion利用該設備產(chǎn)出了全球成本最低、噪聲敏感的低功率POL直流-直流轉換器、1安培EL711、1.5安培EL712以及全球首個(gè)基于電鍍晶圓級磁集成的電源單芯片系統。

Enpirion公司的2D WLM基于電感器的三維離散電感頂部


DC-DC電源轉換器集成路線(xiàn)圖










FCA應用程序的照片