七星電子概況

　　北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“七星電子”)是國內知名電子專(zhuān)用設備供應商，是我國最早的半導體設備研制企業(yè)，是我國第一臺半導體擴散爐、第一臺等離子刻蝕機、第一臺氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國最早的半導體清洗設備研制企業(yè)，完成國內首條半導體生產(chǎn)線(xiàn)中6項關(guān)鍵設備的研發(fā)制造。

　　七星電子多年來(lái)一直承擔著(zhù)國家多項科技重大專(zhuān)項研發(fā)任務(wù)，先后進(jìn)行了12英寸立式氧化爐、清洗機及氣體質(zhì)量流量控制器等產(chǎn)品的研發(fā)。

　　目前，七星電子已成長(cháng)為我國電子專(zhuān)用設備龍頭企業(yè)之一，是中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )理事長(cháng)單位、北京電子制造裝備行業(yè)協(xié)會(huì )會(huì )長(cháng)單位、SEMI行業(yè)協(xié)會(huì )會(huì )員。

• 在半導體行業(yè)方面：

　　七星電子研制的國內首臺300mm立式氧化爐設備，應用于集成電路生產(chǎn)線(xiàn)90/65nm工藝中的20~1000埃氧化膜生長(cháng)及退火等工藝。該設備重點(diǎn)解決了設備及工廠(chǎng)自動(dòng)化、氧化爐溫度場(chǎng)和氣流場(chǎng)分布、顆?？刂?、微環(huán)境氧含量控制等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，采用自主研發(fā)的性能優(yōu)異的MBTC溫度控制系統，不僅解決了傳統PID溫控系統在靈活性和穩定性方面存在的不足，并且在溫度場(chǎng)的快速建立及恢復方面具有極佳的特性。全球只有包括七星電子在內的三家企業(yè)可以制造該設備。目前，已完成300mm立式氧化爐樣機研制，并在中芯國際生產(chǎn)線(xiàn)上完成了大部分的測試及工藝驗證工作。

　　七星電子應用在超大規模集成電路硅片制程的銅互連工藝階段的300mm 65nm銅互連清洗設備，其設備技術(shù)指標已達到國際同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。該設備采用單片多腔室結構，具有占地面積小、結構緊湊、高度自動(dòng)化、超強穩定性等優(yōu)點(diǎn)。設備提供工廠(chǎng)集成接口，符合SEMI E15.1，完全AGV，OHT 兼容，滿(mǎn)足SECS/GEM和HSMS接口協(xié)議。清洗后可達到：無(wú)光刻膠和聚合物殘留;刻蝕通孔側壁無(wú)銅的殘留物;與銅及電介質(zhì)材料如FSG、SiN等相容性;在銅表面形成保護鈍化膜層;缺陷率滿(mǎn)足65納米技術(shù)帶的要求(如顆粒指標、水印等)。清洗機設備已完成樣機研制，即將進(jìn)入工藝驗證階段。

• 在太陽(yáng)能光伏行業(yè)方面：

　　七星電子在高效薄膜設備及工藝、晶硅自動(dòng)化技術(shù)方面，已掌握核心技術(shù)，以良好的質(zhì)量與服務(wù)裝配了國內外多條生產(chǎn)線(xiàn)。涉及光伏的主要產(chǎn)品包括：?jiǎn)尉t、多晶硅鑄錠爐、擴散爐、PECVD、制絨清洗機、去PSG清洗機、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。尤其在光伏大規模生產(chǎn)線(xiàn)上得到大量使用，其技術(shù)水平、產(chǎn)能、成本控制及自動(dòng)化程度都已達到世界領(lǐng)先水平。

　　七星電子研發(fā)的SSD8571A擴散爐，采用了高精度、智能化、多點(diǎn)控溫技術(shù)，保證了對爐內溫度控制的快速穩定，確保了控溫數據的快速反應以及準確性。自動(dòng)壓力平衡裝置，使爐內外壓差為定值，且可根據工藝需求改變設定，從而提高了工藝均勻性以及工藝擴展性。設備單片COO下降20%，單位綜合能耗下降20%以上，設備安全運行時(shí)間實(shí)屬?lài)鴥阮I(lǐng)先，設備維護成本低廉。在客戶(hù)現場(chǎng)運行的實(shí)驗數據一直處于國內領(lǐng)先水平，甚至趕超國際一線(xiàn)廠(chǎng)商的水準。該設備實(shí)現了MES與設備端的數據交互。

　　同時(shí)，七星電子研發(fā)的SSP8471A管式PECVD為單管產(chǎn)能全球最高設備，電池片轉換效率高，屬于世界先進(jìn)水平。該設備具有獨特的射頻引入方式，且全自動(dòng)運行并預留倒片接口。設備工藝均勻性高，差異小于 3%，配備了全自動(dòng)上下料系統，碎片率≤0.1%(人為失誤及隱痕裂片除外)。此外，UPTIME≥95% (總時(shí)間-正常維護時(shí)間-異常停機)/總時(shí)間。該設備也實(shí)現了MES與設備端的數據交互。

• 氣體質(zhì)量流量計：

　　七星電子是中國氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品的領(lǐng)先制造商。產(chǎn)品國內目標市場(chǎng)占有率達80%。2010-2011年，已實(shí)現燃料電池用氣體流量控制器研發(fā)、投產(chǎn)，技術(shù)處于國際先進(jìn)水平。且12英寸集成電路氣體質(zhì)量流量控制器也已完成研發(fā)，進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段。

　　由七星電子自主研發(fā)的CS系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，通過(guò)了省部級新品鑒定，該系列產(chǎn)品的各項技術(shù)指標均已達到國際一流標準，產(chǎn)品技術(shù)填補了國內空白。其中，CS200系列氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品在核心技術(shù)上取得了新的突破，它采用恒功率傳感器、全金屬密封結構、基于VCP的閥控技術(shù)、全數字信號處理和控制方法以及數字化高精度的生產(chǎn)標定工藝，所有設計符合SEMI標準，已經(jīng)取得了CE認證。該產(chǎn)品目前已經(jīng)在光伏行業(yè)內應用于100多條大型生產(chǎn)線(xiàn)中，得到了用戶(hù)的高度認可。CS300系列產(chǎn)品專(zhuān)為半導體行業(yè)設計生產(chǎn)，除了具備CS200產(chǎn)品的性能之外，其與氣體接觸的零件表面均經(jīng)過(guò)電化學(xué)拋光處理，粗糙度達到Ra 5μinch;與氣體接觸的零件表面化學(xué)成分：Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)，具有壓力補償功能，支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS氣路系統。

• 光伏逆變器

　　七星電子近年進(jìn)行光伏逆變器的研發(fā)與生產(chǎn)，公司的光伏并網(wǎng)逆變器滿(mǎn)足CE標準及安規要求，并進(jìn)行了德國TUV認證和我國金太陽(yáng)認證，設計合理，功能全面，能效性良好。不僅擁有先進(jìn)的技術(shù)水平，而且能夠根據客戶(hù)需求進(jìn)行人性化設計，提供高端的用戶(hù)體驗和品質(zhì)保證。

　　七星電子于2005年加入SEMI協(xié)會(huì )，多年來(lái)大力支持SEMI主辦的各項活動(dòng)，通過(guò)參加SEMICON CHINA展會(huì )及各種研討會(huì )等進(jìn)行行業(yè)交流。此外，七星電子積極參與SEMI關(guān)于行業(yè)標準的制定，并以SEMI標準指導產(chǎn)品的研發(fā)和設計，得到了行業(yè)內的廣泛認可，不斷提高產(chǎn)品的國際化水平。一直以來(lái)，七星電子密切關(guān)注行業(yè)動(dòng)向與產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢。通過(guò)積極參加SEMI主辦的SEMICON CHINA等行業(yè)盛會(huì )以及具有前瞻性的各種專(zhuān)業(yè)研討會(huì )，保持與行業(yè)內的交流與溝通，從而緊跟國際尖端技術(shù)潮流。