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刻蝕機
刻蝕機 文章 進(jìn)入刻蝕機技術(shù)社區
先鋒半導體實(shí)現刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線(xiàn)
- 據泰州日報報道，靖江先鋒半導體科技有限公司實(shí)現了大規格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線(xiàn)。報道指出，先鋒半導體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤(pán)是芯片制造設備刻蝕機的主要部件，先鋒半導體產(chǎn)品將用于中微半導體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機，并應用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線(xiàn)。資料顯示，先鋒半導體成立于2008年，是一家從事半導體器件、集成電路專(zhuān)用設備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品主要應用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備，供應給國內外半導
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重磅！國產(chǎn)5nm刻蝕機通過(guò)驗證，將用于臺積電5nm芯片制造！
- 近日，臺積電對外宣布，將在2019年第二季度進(jìn)行5nm制程風(fēng)險試產(chǎn)，預計2020年量產(chǎn)。與此同時(shí)，中微半導體也向“上觀(guān)新聞”透露了一個(gè)重磅消息，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線(xiàn)?！ ≈档靡惶岬氖?，中微半導體也是唯一進(jìn)入臺積電7nm制程蝕刻設備的大陸本土設備商。據悉，中微半導體與臺積電在28nm制程時(shí)便已開(kāi)始合作，并一直延續到10nm和7nm制程?！ 《形雽w如此亮眼成績(jì)的背后，離不開(kāi)尹志堯和他團隊的多年努力?！ ∷艞墖獍偃f(wàn)年薪工作，只為一顆
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國產(chǎn)半導體裝備業(yè)發(fā)展道路光明而曲折
- 目前，我國半導體設備產(chǎn)業(yè)最大的特點(diǎn)是低成本。中國半導體設備進(jìn)入市場(chǎng)有助于降低整個(gè)產(chǎn)業(yè)的成本，這是國產(chǎn)設備對整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻，同時(shí)也是國產(chǎn)設備的發(fā)展機會(huì )。上海微電子裝備公司的封裝光刻機、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機、盛美的清洗設備、中微的12英寸刻蝕機等都是非常有競爭力的設備，很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國門(mén)。這些都是最近幾年中國半導體設備產(chǎn)業(yè)的亮點(diǎn)。當然這些成績(jì)也只是國產(chǎn)設備的初步發(fā)展，要真正做到國產(chǎn)高端設備全面進(jìn)入國內和國際兩個(gè)市場(chǎng)還需要付出相當多的努力。
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中微半導體加速亞洲市場(chǎng)布局
- 中微半導體設備有限公司 (AMEC) 近日在舊金山宣布公司在亞洲市場(chǎng)的份額不斷增長(cháng)。自從2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的雙反應臺，去耦合反應離子刻蝕設備以來(lái)，中微公司的設備已經(jīng)先后進(jìn)入亞洲3個(gè)地區5家先進(jìn)的芯片制造企業(yè)，并得到了多個(gè)重復訂單。中微公司 Primo D-RIE(TM) 刻蝕機被客戶(hù)用于65/45納米及更高端制造，而新的訂單已經(jīng)排到年底。最近以來(lái)，中微公司的刻蝕設備以其高產(chǎn)能，可靠性及成本優(yōu)勢吸引越來(lái)越多的尋求以高性?xún)r(jià)比刻蝕技術(shù)來(lái)滿(mǎn)足高端的 TSV 應用的封裝客戶(hù)。中微公司
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臺積電提出其10大優(yōu)秀供應商
- 根據過(guò)去年來(lái)的貢獻大小臺積電提出10大設備和材料優(yōu)秀供應商。 臺積電的高級副總裁及CIO Stephen Tso是這樣描述的，為了解決人類(lèi)的共同問(wèn)題，環(huán)境氣候變暖等。在如此挑戰的時(shí)代中，非常高興地看到大家對于臺積電如此的支持，并希望今后繼續攜起手來(lái)加強合作，共同面對未來(lái)的更大挑戰。 被臺積電提名的供應商如下： 設備類(lèi) 最優(yōu)秀產(chǎn)品：日本Ebara(CMP)，國際電氣(高溫爐) 最佳支持：日本大日本網(wǎng)板(濕法清洗)，Varian(離子注入機) 最佳技術(shù)合作：ASML(光
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刻蝕機介紹
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