EDWARDS發(fā)布IXL120 面向真空半導體工藝應用

　　全球領(lǐng)先的真空設備供應商Edwards近日發(fā)布iXL120設備，拓展了其面向半導體制造工藝的干泵設備產(chǎn)品。iXL120具有專(zhuān)為負載時(shí)鐘和其他清洗應用的設計，在同等產(chǎn)品中可達到最快速的抽取速度，同時(shí)還具有低能耗、高吞吐量的特點(diǎn)，降低擁有者成本。