安徽一8寸半導體晶圓線(xiàn)，正式投產(chǎn)

在5月26日開(kāi)幕的第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì )上，安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布：8英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)首批產(chǎn)品成功串線(xiàn)，這標志著(zhù)全國首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)在蚌正式投產(chǎn)。

安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理 丁敬秀：“今天我們8英寸生產(chǎn)線(xiàn)的第一個(gè)全流程產(chǎn)品，正式串線(xiàn)成功，它標志著(zhù)我們這條產(chǎn)線(xiàn)的系統 設備、質(zhì)量等等，都已經(jīng)達到一個(gè)相對比較完善的水平?！?/p>

華鑫微納主要從事MEMS晶圓制造，可加工產(chǎn)品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等，主要應用于高端裝備、汽車(chē)電子等領(lǐng)域。該項目是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產(chǎn)線(xiàn)。全部建成投產(chǎn)后，將具備月產(chǎn)3萬(wàn)片晶圓的能力，成為國內產(chǎn)出最大的MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)。

8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)項目是國家集成電路生產(chǎn)力布局的重大項目，也是國家發(fā)改委、國資委、工信部、安徽省關(guān)注的重大工程項目，2024年被列入國家重點(diǎn)工程。