投資100億美元，補貼8.25億美元，美國豪賭EUV光刻

2024年10月31日，美國商務(wù)部和美國國家半導體技術(shù)中心 （NSTC） 的運營(yíng)商 Natcast 公司共同宣布了第一個(gè)基于美國《芯片與科學(xué)法案》推動(dòng)的芯片研發(fā)（R&D） 旗艦設施的建設計劃，將在紐約州首府奧爾巴尼（Albany）的 NY CREATES運營(yíng)的奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體（Albany NanoTech Complex）內，打造CHIPS for America EUV（極紫外）加速器。預計將獲得8.25億美元的擬議聯(lián)邦投資的支持。

據介紹，這個(gè)EUV加速器將專(zhuān)注于推進(jìn)最先進(jìn)的EUV技術(shù)和依賴(lài)該技術(shù)的相關(guān)研發(fā)。同時(shí)，該EUV加速器還將匯集來(lái)自整個(gè)生態(tài)系統的 NSTC 成員，通過(guò)為 NSTC 成員提供技術(shù)、能力和關(guān)鍵資源來(lái)加速半導體研發(fā)和創(chuàng )新。

值得注意的是，在2023年12月11日，美國紐約州長(cháng)Kathy Hochul就曾宣布，與包括IBM、美光、應用材料（Applied Materials）、東京電子（Tokyo Electron）等半導體大廠(chǎng)達成一項合作協(xié)議，預計將投資100億美元在紐約州奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體興建下一代High-NA EUV半導體研發(fā)中心，以支持世界上最復雜、最強大的半導體的研發(fā)。

顯然，此次美國商務(wù)部和NSTC是在進(jìn)一步對該項目進(jìn)行支持，將該項目打造成美國芯片技術(shù)研發(fā)的 旗艦設施。

美國商務(wù)部長(cháng)吉娜·雷蒙多 （Gina Raimondo） 表示：“通過(guò)第一個(gè)擬議的旗艦設施，芯片法案為 NSTC 提供了獲得尖端研究和工具的機會(huì )，它的推出代表了確保美國在創(chuàng )新和半導體研發(fā)方面保持全球領(lǐng)先地位的一個(gè)重要里程碑。芯片法案的研發(fā)部分對我們的長(cháng)期國家安全至關(guān)重要，并確保美國仍然是地球上最具技術(shù)競爭力的地方。多虧了拜登總統和哈里斯副總統，我們不僅生產(chǎn)了世界上最先進(jìn)的半導體;我們正在構建一個(gè)有彈性的生態(tài)系統，為從智能手機到高級人工智能的一切提供動(dòng)力，維護美國國家安全，并使美國在未來(lái)幾十年保持競爭力?！?/p>

“拜登-哈里斯政府的這項 8.25 億美元投資，將鞏固奧爾巴尼作為半導體創(chuàng )新和研發(fā)領(lǐng)域的企業(yè)家、研究人員和工程師的世界級中心的領(lǐng)導地位，”美國國家經(jīng)濟顧問(wèn)萊爾·布雷納德說(shuō)。

EUV 光刻技術(shù)對于制造更小、更快、更高效的微芯片至關(guān)重要。隨著(zhù)半導體行業(yè)突破摩爾定律的極限，EUV 光刻技術(shù)已成為一項關(guān)鍵技術(shù)，可實(shí)現以前無(wú)法實(shí)現的 7nm 以下更先進(jìn)的晶體管的大批量生產(chǎn)。隨著(zhù) NSTC 開(kāi)發(fā)能力和計劃，獲得 EUV 光刻研發(fā)對于實(shí)現其三個(gè)主要目標至關(guān)重要：1） 擴大美國的技術(shù)領(lǐng)先地位；2） 減少原型制作的時(shí)間和成本； 3） 建立和維持半導體勞動(dòng)力生態(tài)系統。

美國商務(wù)部負責標準與技術(shù)的副部長(cháng)兼國家標準與技術(shù)研究所所長(cháng) Laurie E. Locascio表示：“NY CREATES 擁有二十年促進(jìn)有效公私合作伙伴關(guān)系的成熟經(jīng)驗，自成立以來(lái)在半導體研發(fā)、制造和勞動(dòng)力發(fā)展方面投資超過(guò) 250 億美元，具有得天獨厚的優(yōu)勢，可以支持 NSTC 的使命，即提供一個(gè)開(kāi)放的環(huán)境來(lái)加速研究，縮短商業(yè)化時(shí)間，并在美國發(fā)展可持續的半導體生態(tài)系統?！?/p>

“CHIPS for America EUV 加速器突顯了我們對在美國開(kāi)發(fā)和推進(jìn)下一代半導體技術(shù)的承諾，”Natcast 首席執行官 Deirdre Hanford 說(shuō)?！巴ㄟ^(guò)與 NY CREATES 的合作，Natcast 和 NSTC 成員將能夠獲得基本的 EUV 光刻工具和工藝，以促進(jìn)更廣泛的研究并加速未來(lái)技術(shù)的商業(yè)化?！?/p>

Natcast 和 NY CREATES（一家運營(yíng)奧爾巴尼納米技術(shù)綜合體的非營(yíng)利組織，致力于推動(dòng)半導體研發(fā)和勞動(dòng)力發(fā)展）預計將為 NSTC 成員建立 EUV 加速器，以進(jìn)行下一代半導體研發(fā)活動(dòng)。EUV 加速器將于 2025 年開(kāi)始運營(yíng)，將使 Natcast、NY CREATES 和 NSTC 成員能夠合作開(kāi)展研發(fā)活動(dòng)，這對于實(shí)現創(chuàng )新半導體技術(shù)的更快商業(yè)化和加強美國的技術(shù)領(lǐng)先地位至關(guān)重要。EUV 加速器的主要功能預計將包括：

獲得尖端的 EUV 光刻工具和下一代研發(fā)能力，包括高數值孔徑 （NA） EUV 系統，預計到 2025 年將達到標準 NA EUV，2026 年將達到High NA EUV。

召集并促進(jìn)與行業(yè)、學(xué)術(shù)和政府合作伙伴的合作，以推進(jìn)技術(shù)創(chuàng )新。

專(zhuān)門(mén)的 NSTC 現場(chǎng)辦公室，為 Natcast 和 NSTC 成員研究人員提供支持。

支持提供、培養和發(fā)展有才華的員工隊伍的計劃。

努力增加 NSTC 會(huì )員和參與度，同時(shí)與所有 NSTC 設施一起營(yíng)造開(kāi)放、協(xié)作的研發(fā)環(huán)境。

CHIPS for America NSTC 原型制造和國家先進(jìn)封裝制造計劃 （NAPMP） 先進(jìn)封裝試點(diǎn)設施以及 CHIPS for America 行政和設計設施仍在即將推出。該部門(mén)和 Natcast 預計將在未來(lái)幾個(gè)月內宣布有關(guān)選擇附屬技術(shù)中心流程的信息。

Natcast 和 NY CREATES 簽署了一份不具約束力的諒解備忘錄 （MOU），預計最終合同的預期期限為 10 年。最終合同需要經(jīng)過(guò)盡職調查、持續談判和完善某些條款。最終合同中包含的條款可能與此次宣布的諒解備忘錄的條款不同。

編輯：芯智訊-浪客劍