北京爍科中科信多臺離子注入機順利交付

近日，北京爍科中科信電子裝備有限公司通過(guò)官方微信宣布，公司多臺離子注入機順利完成交付。

資料顯示，北京爍科中科信自成立之日起，就以攻克離子注入裝備關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，支撐我國電子元器件制造工藝裝備自立自強為主責，以離子注入機裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化為主業(yè)，全力保障我國產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全與穩定，成功入選第五批國家級專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)培育名單。

目前，北京爍科中科信中束流及大束流設備均已達成工藝指標，且工藝水準經(jīng)過(guò)了先進(jìn)集成電路產(chǎn)線(xiàn)驗證，兩種設備產(chǎn)線(xiàn)晶圓制備累計超過(guò)2000萬(wàn)片。高能離子注入機作為剛上線(xiàn)不久的兆伏級設備同樣打通了28納米節點(diǎn)，且與同類(lèi)型設備相比，能量范圍更寬、注入均一性能更好。

編輯：芯智訊-林子