我國半導體設備應從實(shí)際出發(fā) 準確定位產(chǎn)品

　　每一個(gè)半導體設備企業(yè)一定要根據自身產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點(diǎn)的半導體設備，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。

　　“摩爾定律”為半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了加速度，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的同時(shí)，對其進(jìn)行支撐的設備制造業(yè)也需要通過(guò)不斷創(chuàng )新、加快研究進(jìn)程來(lái)滿(mǎn)足整個(gè)產(chǎn)業(yè)的需求。

　　設備創(chuàng )新帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　半導體設備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng )新的過(guò)程，IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，其背后是以設備的創(chuàng )新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設備實(shí)現的。

　　開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品適應市場(chǎng)的需求是每個(gè)企業(yè)必須考慮的問(wèn)題，半導體設備企業(yè)也不例外。北京京聯(lián)發(fā)數控科技有限公司董事長(cháng)秦建國表示，半導體設備創(chuàng )新可以為用戶(hù)提高生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品成本。這樣的創(chuàng )新產(chǎn)品會(huì )給企業(yè)及用戶(hù)雙方帶來(lái)更好的效益。為了開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品要不斷地吸收高科技人才，對該行業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)要有充分的認識，對該行業(yè)的發(fā)展方向要不斷地了解情況，以便設備企業(yè)能跟上國內外半導體行業(yè)的快速發(fā)展，更快更好地為市場(chǎng)提供優(yōu)質(zhì)的設備。

　　中電科技集團第四十五所技術(shù)工程部主任張續業(yè)告訴記者，國內從事半導體設備研發(fā)制造的企業(yè)如果沒(méi)有創(chuàng )新，面對國內外的大市場(chǎng)，就肯定沒(méi)有可持續發(fā)展的后勁，就不會(huì )有美好的明天和很好的經(jīng)濟效益，更不會(huì )從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面，就會(huì )永遠跟在國際先進(jìn)技術(shù)后面無(wú)法超越。因此，每一個(gè)半導體設備企業(yè)一定要根據自身產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點(diǎn)的半導體設備，困難再大也要堅持下去，只有這樣，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。當然，在某些外部環(huán)境上還得尋求國家有關(guān)部委的政策性支持。

　　北京京運通科技有限公司副總經(jīng)理王軍在接受《中國電子報》記者采訪(fǎng)時(shí)表示，沒(méi)有創(chuàng )新就沒(méi)有生命力。我國半導體設備技術(shù)本身就落后于其他發(fā)達國家，所以企業(yè)創(chuàng )新能力也就是國家在該領(lǐng)域趕超其他國家的重要力量;其次，在技術(shù)飛速發(fā)展的信息社會(huì )，旺盛的創(chuàng )新能力是企業(yè)健康發(fā)展、產(chǎn)品滿(mǎn)足市場(chǎng)的重要因素。

　　設備商應緊密聯(lián)系用戶(hù)

　　半導體行業(yè)的技術(shù)更新很快，設備廠(chǎng)商必須與用戶(hù)緊密聯(lián)系、合作，才能急客戶(hù)之所急，才能不斷推出客戶(hù)需要的產(chǎn)品，并在使用中不斷完善提高。

　　張續業(yè)告訴記者，從45所幾十年的發(fā)展過(guò)程來(lái)看，雖然在樣機研發(fā)、基礎預研等方面填補了多項國家空白，為國家做出了相當大的貢獻,但要進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)尚需一定的時(shí)間。主要原因是我國的基礎工業(yè)和配套能力與國外公司相比，差距太大，這是一個(gè)解決起來(lái)非常困難的系統工程，還需國內產(chǎn)業(yè)鏈上下端的企業(yè)共同做出艱辛努力，才能達到預期的目的。這是一條充滿(mǎn)艱辛的道路，但也是一條必由之路。

　　用戶(hù)對半導體設備的要求是提高自動(dòng)化，提高設備的精度，把半導體設備制造得更好更完善需要更高的技術(shù)及資金，兩方面缺一不可。秦建國表示，目前市場(chǎng)上半導體設備的競爭越演越烈，不斷投入人力、財力、物力去研發(fā)新產(chǎn)品會(huì )使制造企業(yè)不斷發(fā)展和壯大。國內半導體設備生產(chǎn)企業(yè)應跟上市場(chǎng)的發(fā)展，不斷為市場(chǎng)提供高性能的設備，不斷研究半導體的發(fā)展方向，開(kāi)發(fā)和研制新的設備，把企業(yè)制造的設備推向國際市場(chǎng)。

　　設備廠(chǎng)商必須具備工藝研究和實(shí)驗檢測的能力，而在國內傳統的研發(fā)體系下，引進(jìn)與消化吸收是不同的主體，是完全割裂的，設備研制者不關(guān)注工藝研究，缺少或不具備必要的實(shí)驗檢測環(huán)節。沈陽(yáng)芯源微電子設備有限公司總經(jīng)理宗潤福表示，在這種情況下，國內設備要進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)還要假以時(shí)日。他說(shuō)，很多人意識到國內設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)還需哪些努力時(shí)的第一反應可能是呼吁國家政策扶持、傾斜，用戶(hù)給機會(huì )。扶持傾斜也只能是針對首臺套，要批量生產(chǎn)并產(chǎn)業(yè)化必須具備市場(chǎng)競爭力。他主張循序漸進(jìn)，技術(shù)跨度不能太大，穩定壓倒一切。只有產(chǎn)品穩定了，用戶(hù)才放心，對廠(chǎng)商才有信心，廠(chǎng)商才能有下一個(gè)機會(huì )、下一個(gè)訂單。

　　京運通副總經(jīng)理王軍強調說(shuō)，國產(chǎn)半導體設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)需要很長(cháng)的一個(gè)過(guò)程。首先產(chǎn)品技術(shù)要升級，我國的半導體設備技術(shù)無(wú)論自動(dòng)化程度、精細化程度還是節能水平,都還很落后;其次是產(chǎn)品定位要準確，要對適合大多數生產(chǎn)需要的產(chǎn)品進(jìn)行定位;最后是整合制造設備新工藝，形成基本上自動(dòng)化的制造工藝。當然，完善相關(guān)標準的工作也要跟進(jìn)。