三星旗下Semes成功開(kāi)發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設備

6月24日，三星電子旗下的韓國半導體和顯示器制造設備公司表示，第一臺名為“Omega Prime”的設備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺設備。

Semes表示，在Omega Prime設備上應用了噴嘴、烘烤溫度和機器人位置自動(dòng)調整系統，以消除涂布層的偏差。

目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設備，并在此基礎上開(kāi)發(fā)了ArF版本，以支持波長(cháng)更短的新型光刻機。