兼顧高生產(chǎn)率與高分辨率， 佳能發(fā)售FPD曝光設備新品“MPAsp-H1003H”

佳能將于2022年7月下旬發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設備新品“MPAsp-H1003H”。作為支持第8代玻璃基板尺寸^*1的FPD曝光設備新產(chǎn)品，“MPAsp-H1003H”擁有1.5μm^*2（L/S^*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。

近年來(lái)，隨著(zhù)遠程辦公需求的激增與在線(xiàn)教育的迅速普及，筆記本電腦、平板電腦等IT設備所用顯示器的需求也在持續增長(cháng)。此外，由于電動(dòng)汽車(chē)的普及與自動(dòng)駕駛技術(shù)的不斷進(jìn)步，更輕薄、高清優(yōu)勢的車(chē)載顯示器預計也將迎來(lái)市場(chǎng)需求的進(jìn)一步增長(cháng)。

雖然在第6代玻璃基板^*4上目前已經(jīng)實(shí)現這類(lèi)高清顯示器面板的量產(chǎn)。從一片玻璃能夠生產(chǎn)出更多顯示面板的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，第8代玻璃基板的市場(chǎng)需求也在不斷增加。本次發(fā)售的FPD曝光設備“MPAsp-H1003H”支持了第8代玻璃基板，同時(shí)兼顧1.5μm的分辨率和±0.35μm的套合精度，有助于提高應用在IT設備顯示器上的面板的生產(chǎn)效率。

1. 第8代玻璃基板上實(shí)現1.5μm高分辨率

本次發(fā)售的新產(chǎn)品沿用了針對第8代玻璃基板研發(fā)的FPD曝光設備“MPAsp-H1003T”（2018年10月推出）所搭載的投影光學(xué)系統，可實(shí)現對65英寸面板的一次曝光。此外，新產(chǎn)品還搭載了第6代玻璃基板的曝光設備“MPAsp-E813H”（2014年9月推出）所使用的超分辨技術(shù)^*5，該技術(shù)經(jīng)驗證，可以實(shí)現1.5μm的高分辨率。在多種技術(shù)加持下，新產(chǎn)品既可以滿(mǎn)足IT顯示器用面板的高分辨率需求，又可以實(shí)現大型顯示器所需的最大65英寸無(wú)拼接式面板的制造。

2. 兼顧高生產(chǎn)性與高套合精度

通過(guò)對趨于成熟的高速載臺技術(shù)的升級和改進(jìn)，并不斷提高了玻璃基板載臺的性能，本次發(fā)售的FPD曝光設備“MPAsp-H1003H”與上一代產(chǎn)品“MPA sp-H1003T”相比，實(shí)現生產(chǎn)效率約20%的提升。此外，通過(guò)結合“MPAsp-E813H”中經(jīng)實(shí)績(jì)驗證的定位方式和倍率校正機構，新產(chǎn)品可實(shí)現±0.35μm的套合精度，與上一代產(chǎn)品“MPAsp-H1003T”相比提高了約20%。

3. 增強各類(lèi)制造工序的工藝對應能力

新產(chǎn)品配備了包含超分辨率技術(shù)照明模式的切換構件和穩定曝光線(xiàn)寬的自動(dòng)曝光狹縫調整（SIC）構件，強化了多樣化制造工序的工藝對應能力，提供了更穩定的制造質(zhì)量。

*1尺寸2,200×2,500mm的玻璃基板，目前主要用于電視顯示器的面板制造。

*2 1微米是1米的百萬(wàn)分之一（=千分之一毫米）。

*3 Line and Space和縮寫(xiě)。Line和Space均勻分布的圖案。

*4尺寸1,500×1,850mm的玻璃基板，用于制造以智能手機為代表的中小型顯示器面板。

*5控制光的相位和強度以提高曝光裝置分辨率的技術(shù)。

**為方便讀者理解，本文中佳能可指代：佳能光學(xué)設備（上海）有限公司，佳能（中國）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品牌等

主要優(yōu)點(diǎn)：

1. 在第8代玻璃基板上實(shí)現1.5μm的高分辨率

?   與第8代玻璃基板的前代曝光設備“MPA sp-H1003T”的2.0μm相比，通過(guò)采用第6代玻璃基板曝光設備“MPA sp-E813H”中久經(jīng)考驗的超分辨率技術(shù)，新產(chǎn)品更進(jìn)一步實(shí)現了1.5μm的高分辨率的曝光。

?   新產(chǎn)品還沿用了第8代玻璃基板的曝光設備“MPA sp-H1003T”的廣曝光視角，實(shí)現對65英寸面板的一次曝光。

2. 兼顧高生產(chǎn)率和高套合精度

?   與“MPA sp-H1003T”相比，通過(guò)改進(jìn)高速載臺技術(shù)，提高玻璃基板載臺的性能，新產(chǎn)品的生產(chǎn)效率提高了約20%。

?   新產(chǎn)品搭載了曝光設備“MPA sp-E813H”中經(jīng)實(shí)績(jì)驗證的倍率校正機構。對于在制造工序中形成多層時(shí)產(chǎn)生的基板形變，通過(guò)高精度校正驅動(dòng)來(lái)進(jìn)行準確地套合曝光。

?   采用在曝光設備“MPA sp-E813H”中經(jīng)實(shí)績(jì)驗證的定位方式，新產(chǎn)品通過(guò)對每塊面板進(jìn)行多點(diǎn)同時(shí)測量，在不降低生產(chǎn)效率的情況下有效提高測量精度，實(shí)現±0.35μm的套合精度。

3. 增強各類(lèi)制造工序的工藝對應能力

?   新產(chǎn)品的照明模式可以根據需要曝光的圖案進(jìn)行切換，從而適配各類(lèi)制造工序的曝光。通過(guò)光學(xué)元件的不同組合，可以從適合重復類(lèi)圖案的“Annular模式”、適合孤立類(lèi)圖案的“Conventional 2模式”和適合需要高照度的圖案的“Conventional 3模式”中進(jìn)行選擇。

?   在形成圓弧光的機構中，新產(chǎn)品配備有曝光狹縫自動(dòng)調整機構（SIC：Slit Illuminance Control）。通過(guò)自動(dòng)控制光線(xiàn)通過(guò)的狹縫寬度，可以改變曝光光線(xiàn)的強度分布，從而實(shí)現穩定的曝光線(xiàn)寬。

關(guān)于規格

關(guān)于產(chǎn)品規格的詳細信息，請參閱佳能主頁(yè)。

關(guān)于佳能FPD曝光設備的工作機制

佳能的FPD曝光設備采用鏡面投影方式。鏡面投影單元由大凹面鏡、小凸面鏡和梯形鏡組成。通過(guò)將光照射在單元上方的光掩模上，光掩模上的電路圖案就可以在經(jīng)過(guò)5次反射后準確地轉印在玻璃基板上。約1μm（1mm的千分之一）的精細電路圖案轉印到大型玻璃基板上時(shí)，凹面鏡特別關(guān)鍵。目前只有兼具尖端光學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)的佳能才能研發(fā)生產(chǎn)直徑約1.5米的大型凹面鏡。

佳能的曝光方式在光學(xué)上具有完美對稱(chēng)的結構，優(yōu)點(diǎn)是在原理上不會(huì )產(chǎn)生因斜射光引起的彗形像差（滲光），也不會(huì )因使用鏡頭的折射光學(xué)系統引起光的波長(cháng)差異進(jìn)而導致色差（色偏）。在圓弧形的范圍內有著(zhù)最佳成像特性，再通過(guò)掃描該圓弧形的曝光區域即可實(shí)現大面積高分辨率性能。