EUV技術(shù) 為摩爾定律延命

　　隨著(zhù)晶片功能愈趨強大，在半導體制程愈趨復雜的情況下，摩爾定律的推進(jìn)已經(jīng)放緩，以臺積電、三星、英特爾等三大半導體廠(chǎng)目前采用的浸潤式(immersion)微影及多重曝影(multi-patterning)技術(shù)來(lái)說(shuō)，若要維持摩爾定律的制程推進(jìn)速度，晶片成本會(huì )呈現等比級數般飆升。也因此，能夠明顯減少晶片光罩層數的極紫外光(EUV)微影技術(shù)，將可為摩爾定律延命。

　　摩爾定律除了每18～24個(gè)月可讓晶片中電晶體數量增倍的技術(shù)推進(jìn)，還包含了經(jīng)濟層面上的益處。事實(shí)上，過(guò)去20年因為摩爾定律的推進(jìn)順利，晶片的單位制造成本可以逐年降低，并造就了個(gè)人電腦的普及，以及智慧型手機的人手數機的情況。若半導體市場(chǎng)沒(méi)有摩爾定律的存在，晶片的成本難以有效降低，要用1,000美元以下價(jià)格買(mǎi)到電腦或手機幾乎是不可能的事。

　　不過(guò)，因為晶片制程的持續推進(jìn)，電路要再進(jìn)行微縮的難度愈來(lái)愈高，成本的提升速度也愈來(lái)愈快。以目前業(yè)界普遍量產(chǎn)中的14/16奈米邏輯制程來(lái)看，設備的投資是28奈米的數倍，換算下來(lái)晶片單位制造成本的降幅已經(jīng)趨緩，而制程進(jìn)入10奈米或7奈米后，晶片成本幾乎降不下來(lái)。也就是說(shuō)，摩爾定律推進(jìn)放緩，蘋(píng)果及三星等新款旗艦手機功能又要愈多，增加的晶片用量或功能要愈多，價(jià)格自然愈墊愈高。

　　為了解決這個(gè)問(wèn)題，業(yè)界早在10年前就已經(jīng)在討論在浸潤式微影技術(shù)之后，會(huì )不會(huì )有更好的技術(shù)來(lái)為摩爾定律延命。如今，隨著(zhù)臺積電7+奈米進(jìn)入量產(chǎn)，EUV技術(shù)正式接棒演出，摩爾定律至少可再延續至3奈米或1奈米世代，雖說(shuō)先進(jìn)制程價(jià)格仍然居高不下，但長(cháng)期來(lái)看，基于摩爾定律發(fā)展的經(jīng)濟層面益處將可延續下去。

　　日月光投控營(yíng)運長(cháng)吳田玉曾指出，過(guò)去半導體業(yè)的創(chuàng )新就是摩爾定律，所以大家跟著(zhù)走，但現在業(yè)界覺(jué)得摩爾定律的推進(jìn)變慢了，但以他來(lái)看不是變慢，而是業(yè)界降低成本(costdown)的本領(lǐng)不夠，導致摩爾定律的時(shí)間拉長(cháng)，但摩爾定律另一個(gè)層面代表的經(jīng)濟定律卻沒(méi)有變。

　　當然，靠EUV就要讓摩爾定律延續下去仍有許多挑戰，除了制程上的微縮，具異質(zhì)晶片整合優(yōu)勢的系統級封裝(SiP)技術(shù)，也被視為能讓摩爾定律持續下去的重要解決方案。也就是說(shuō)，未來(lái)晶片不會(huì )是單一的晶片，而是一個(gè)次系統或微系統的概念，異質(zhì)整合將是半導體產(chǎn)業(yè)另一重要發(fā)展方向。