半導體制程簡(jiǎn)史

　　當線(xiàn)寬遠高于10微米時(shí)，純凈度還不像今天的器件生產(chǎn)中那樣至關(guān)緊要。旦隨著(zhù)器件變得越來(lái)越集成， 超凈間也變得越來(lái)越干凈。今天，工廠(chǎng)內是加壓過(guò)濾空氣，來(lái)去除哪怕那些可能留在芯片上并形成缺陷的最小的粒子。半導體制造車(chē)間里的工人被要求著(zhù)超凈服來(lái)保護器件不被人類(lèi)污染。

　　在利潤增長(cháng)的推動(dòng)下，在1960年代半導體器件生產(chǎn)遍及得克薩斯州和加州乃至全世界，比如愛(ài)爾蘭、以色列、日本、臺灣、韓國、新加坡和中國，且在今天已是一個(gè)全球商業(yè)。

　　半導體生產(chǎn)商的領(lǐng)袖大都在全世界擁有生產(chǎn)車(chē)間。英特爾，世界最大的生產(chǎn)商，以及在美其他頂級生產(chǎn)商包括三星(韓國)、德州儀器(美國)、AMD(超微半導體)(美國)、東芝(日本)、NEC電子(日本)、意法半導體(歐洲)、英飛凌(歐洲)、瑞薩(日本)、臺積電(臺灣，參見(jiàn)TSMC網(wǎng)站)、索尼(日本)，以及恩智浦半導體(歐洲)在歐洲和亞洲都有自己的設備。

　　在2006年，在美國有大約5000家半導體和電子零件生產(chǎn)商，營(yíng)業(yè)額達1650億美元(摘自Barnes報告《2006美國工業(yè)和市場(chǎng)展望》)。

　　以下為各半導體工藝節點(diǎn)出現時(shí)間和主要代表產(chǎn)品

　　ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors(國際半導體技術(shù)藍圖)

　　ITRS是由歐洲、日本、韓國、臺灣、美國五個(gè)主要的芯片制造地區發(fā)起的。發(fā)起組織分別是European Semiconductor IndustryAssociation(ESIA，歐洲半導體工業(yè)協(xié)會(huì ))，the Japan Electronics and InformationTechnology Industries Association (JEITA，日本電子與信息技術(shù)工業(yè)協(xié)會(huì ))， the KoreanSemiconductor Industry Association (KSIA，韓國半導體工業(yè)協(xié)會(huì ))， the TaiwanSemiconductor Industry Association (TSIA，臺灣半導體工業(yè)協(xié)會(huì ))， and the UnitedStates Semiconductor Industry Association(SIA，美國半導體工業(yè)聯(lián)盟)。ITRS的目的是確保集成電路(IC)和使用IC的產(chǎn)品在成本效益基礎上的性能改進(jìn)，從而持續半導體產(chǎn)業(yè)的健康和成功。

　　ITRS工藝節點(diǎn)和半節點(diǎn)