應用材料公司推出全新PECVD系統

　　應用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統，用于制造最先進(jìn)的智能手機和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過(guò)采用LTPS關(guān)鍵技術(shù)，該系統可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標準尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量，降低成本，從而加快消費電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉變。

　　OLED顯示屏具有豐富的色彩和低功耗特性，因此智能手機對4~5英寸OLED顯示屏有著(zhù)強勁的需求。下一代平板電腦將采用更大的7~12英寸的OLED顯示屏，這就需要顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)能以滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。除了能生產(chǎn)更大的OLED顯示屏外，應用材料公司的AKT-20K PX系統還可用于制造超高清晰度的TFT-LCD顯示屏。和以前的技術(shù)相比，這種顯示屏的像素排列緊密，因此能夠呈現更明亮、更鮮銳的畫(huà)面，同時(shí)功耗更低。

　　AKT-20K PX系統的核心是先進(jìn)的LTPS技術(shù)。近十年來(lái)，應用材料公司已使這項技術(shù)日臻完善。迄今為止，應用材料公司已在全球交付近100套可將LTPS薄膜沉積在較小襯底上的系統。市場(chǎng)研究機構DisplaySearch的報告顯示，2011年，LTPS沉積設備的市場(chǎng)規模將達到有史以來(lái)最高的24億美元。

　　應用材料公司副總裁、平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示：“應用材料公司充分利用在大面積沉積技術(shù)領(lǐng)域近二十年來(lái)的領(lǐng)先優(yōu)勢，幫助客戶(hù)滿(mǎn)足消費者對OLED顯示屏快速增長(cháng)的需求。我們擴展了已通過(guò)生產(chǎn)驗證的LTPS沉積技術(shù)，將其應用于最新的多反應腔平臺，向客戶(hù)提供一流的性能和生產(chǎn)率。目前市場(chǎng)對AKT-20K PX系統反響非常好，我們已向多家主要的顯示屏制造商交付了多臺設備。”

　　欲了解更多關(guān)于應用材料LTPS創(chuàng )新技術(shù)的詳細情況，請訪(fǎng)問(wèn)：http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/akt-20k-px-pecvd.

　　應用材料公司將于3月15日至17日在上海舉行的2011中國國際平板顯示器件、設備材料及配套件展覽會(huì )期間展示AKT-20K PX 系統。欲了解更多應用材料公司在展會(huì )期間的活動(dòng)，請訪(fǎng)問(wèn)：www.appliedmaterials.com/events/semicon-china-2011。