二手設備市場(chǎng)升溫進(jìn)入新時(shí)代

　　二手設備市場(chǎng)迅速升溫,據Gartner最新預測,2010年比2009年增長(cháng)65%, 如果計及各種供應渠道在2010年其市場(chǎng)規模達21億美元。盡管對于二手設備的定義有時(shí)易混淆, 直到2002年開(kāi)始有眾多分散的及小型的中間商將二手設備從一個(gè)fab轉移到另一個(gè)。非常相似于房地產(chǎn)中介公司,它們在出售者與購買(mǎi)者之間牽線(xiàn)達成交易, 而它們除了時(shí)間與付出努力之外,幾乎只要少許投資。然而購買(mǎi)新設備與二手設備之間有很大差別, 后者通常是缺乏技術(shù)支持, 維修服務(wù)及設備的保證期。

　　隨著(zhù)半導體業(yè)越來(lái)越趨成熟, 那些原始器件制造商(ODM) 開(kāi)始對于二手設備有更多的需求, 所以在新設備與二手設備間關(guān)于它們的認識己經(jīng)差異并不太大?，F在許多半導體設備制造商如Suss Micro Tec及KLA-Tencor都有自已的二手設備部, 而且該部門(mén)日益在擴大。它們通過(guò)全球運作給予客戶(hù)有各種二手設備的選擇。

　　定義二手設備市場(chǎng)

　　二手設備市場(chǎng)可以分為OEM(原始設備制造商)銷(xiāo)售,fab to fab銷(xiāo)售, 租賃及中間商銷(xiāo)售及翻新設備商銷(xiāo)售。對于新設備的銷(xiāo)售實(shí)際上是起補充作用, 尤其從設備的供貨周期等考慮通常為新設備的一半時(shí)間與價(jià)格為新的40-70%。

　　從目前情況看,150mm設備主要是翻新設備市場(chǎng), 二手的200mm設備開(kāi)始呈上升趨勢, 至少可持續到2010年底?？尚业氖?00mm設備也開(kāi)始進(jìn)入二手設備市場(chǎng), 如奇夢(mèng)達關(guān)閉,出售其整條12英寸生產(chǎn)線(xiàn)給德儀,用作模擬電路生產(chǎn)。

　　在此次產(chǎn)業(yè)下降時(shí)期,許多模擬電路制造商關(guān)閉其現有的100mm及150mm生產(chǎn)線(xiàn),而進(jìn)入200mm硅片時(shí)代, 它們的眾多設備成了二手設備的來(lái)源。目前全球代工市場(chǎng)開(kāi)始紅火,它們積極地擴充產(chǎn)能。中國許多芯片制造商可能是二手設備的最大買(mǎi)主之一, 從常識出發(fā),中國芯片制造商不太可能去追逐最先進(jìn)工藝制程的競爭。

　　Solar,MEMS及LED制造商也開(kāi)始加入翻新設備市場(chǎng), 與先進(jìn)IC技術(shù)制造商開(kāi)展競爭, 目前來(lái)看它們的終端市場(chǎng)很紅火, 生產(chǎn)設備呈現短缺, 導致二手設備市場(chǎng)也開(kāi)始向它們供貨,以滿(mǎn)足這些專(zhuān)有市場(chǎng)的需要。

　　即便是那些品牌大廠(chǎng)也購買(mǎi)翻新設備,因為近時(shí)期(2004年之前) 來(lái)的設備能提供一流的產(chǎn)能及所有先進(jìn)制程技術(shù)的能力。如果不是追求最先進(jìn)的技術(shù), 從成本費用節省角度購買(mǎi)二手設備是有吸引力的, 加之, 即便是核心設備, 在正常情況下也能工作另一個(gè)15年或以上。

　　翻新工藝

　　今天的翻新設備大多是由1990年代中期的設備經(jīng)過(guò)翻新而成。翻新設備工藝通常是首先分解部件, 有些部件換成全新的, 然后按照OEM的指標重新裝配在一起。從外觀(guān)看, 這些翻新設備看起來(lái)如整舊如新, 表面都經(jīng)過(guò)拋光或者重新噴漆。OEM提供設備的定期維護計劃是十分嚴格,迫使翻新設備商也跟隨設備制造商的推薦把那些必要部件進(jìn)行更換。如典型的KLA-Tencor的Surfscan顆粒檢測儀, 通常激光器與電源都要換成新的，由于光學(xué)系統通常不會(huì )損傷，所以進(jìn)行必要的清洗, 調整與定位。

　　而且整個(gè)翻新過(guò)程在潔凈間中進(jìn)行, 當設備出廠(chǎng)之前會(huì )邀請客戶(hù)至翻新現場(chǎng)作最終驗收測試。

　　與過(guò)去時(shí)代大不一樣, 二手設備通常附帶的資料非常有限, 今天對于翻新設備尤其是非常復雜的如光刻機等, 其安裝, 調試驗收及培訓, 所有一切翻新者都必須能提供。

　　翻新設備的軟件仍是有些購買(mǎi)者的關(guān)注點(diǎn)。一臺翻新設備通常帶的是那個(gè)年代的軟件版本, 如果需要最新的軟件版本,購買(mǎi)者必須到原廠(chǎng)去購買(mǎi)軟件的許可證。關(guān)鍵問(wèn)題是購買(mǎi)如新設備那樣的軟件版本，從費用上是否合理, 相信是昂貴的。大部分二手設備客戶(hù)還是愿意使用經(jīng)過(guò)證實(shí)運行是穩定及可靠的軟件, 但版本不一定是最新的。

　　SEMI作為全球貿易工業(yè)協(xié)會(huì )關(guān)于設備方面軟件的應用十分有興趣, 在2008年時(shí)它購買(mǎi)了SEC/N, 一家剩余的設備聯(lián)盟網(wǎng)站, 能為二手設備市場(chǎng)的軟件, 稱(chēng)之為SESTG(Secordary Equipment,Srvice and Technology Group)提供邦助。

　　無(wú)論對于半導體設備的質(zhì)量與壽命及日益增強的需求，在業(yè)界中二手設備作為一種渠道已經(jīng)得到市場(chǎng)的肯定。

　　一個(gè)實(shí)例

　　近期有一臺翻新設備提供給客戶(hù)是Karl Suss公司的MA150cc光刻機,, 根據配置不同, 它的原始出廠(chǎng)價(jià)在50-70萬(wàn)美元范圍。有一年保證期包括安裝與培訓。供貨周期為4-6個(gè)月。

　　ClassOne公司提供的翻新設備價(jià)格在22,5-27,5萬(wàn)美元(取決于不同配置), 保證期為6個(gè)月, 同樣包括安裝與培訓。供貨期為2個(gè)月。

　　翻新工藝

　　所有主要部件經(jīng)過(guò)分解, 包括基臺,TSA顯微鏡操縱器,BSA顯微鏡操縱器, 硅片傳送機構, 片盒升降體, 快門(mén)組件, 燈源部分,WEC頭及Z軸。所有驅動(dòng)皮帶, 開(kāi)關(guān)及彎管(移動(dòng)的管) 都更換新的。所有光源快門(mén)及透鏡園柱體更換。預對準部分整體清潔及添加潤滑油脂。所有操作器進(jìn)行校正及顯微鏡進(jìn)行重新測試與組裝。公司為最終客戶(hù)進(jìn)行硅片測試, 包括光源校正, 并保證達到設備的原始出廠(chǎng)指標。

　　結論

　　最終用戶(hù)收到一臺幾乎全新的光刻機, 經(jīng)過(guò)完全的翻新, 僅用新設備一半的價(jià)格, 而且供貨期縮短一半。它達到原始出廠(chǎng)指標, 可供量產(chǎn)使用若干年。