IBM宣布旗下芯片廠(chǎng)將停用PFOS/PFOA兩種有毒化合物

　　IBM公司近日宣布其名下的芯片制造廠(chǎng)中將停止使用全氟辛烷磺?；衔?PFOS)和全氟辛酸(PFOA)兩種有毒有害化合物。多年前，在歐盟以及其它 一些國家的環(huán)保部門(mén)出臺限制使用這兩種化合物的法規之后，美國環(huán)保署也出臺了限制在消費級產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中使用這兩種化合物的法規，這兩種化合物一般用于 防污和防潮處理。

　　不過(guò)在半導體制造產(chǎn)業(yè)中，仍允許使用這兩種化合物，半導體制造的光刻和蝕刻工步需要少量使用這兩種化合物。經(jīng)過(guò)10多年的努力，IBM終于找到了這兩種有毒化合物的替代用品。

　　IBM公司主管微電子事物的總經(jīng)理Michael Cadigan稱(chēng)：“開(kāi)發(fā)這類(lèi)化合物替代品的工作是一項相當艱難的任務(wù)。我們需要驗證采用新配方后的每一個(gè)制造環(huán)節都不會(huì )出問(wèn)題，而且還不能影響到我們產(chǎn)品的質(zhì)量和供貨能力。”他還介紹說(shuō)：“由于IBM與多家廠(chǎng)商結成了開(kāi)發(fā)聯(lián)盟，因此至少還有五個(gè)國家里的多家半導體廠(chǎng)商都可以使用我們這次開(kāi)發(fā)出來(lái)的無(wú)毒化合物進(jìn)行生產(chǎn)。”