應用材料將真空泵和除害裝置的運行成本削減20％以上

　　美國應用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運行成本較原來(lái)削減20%以上的系統“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來(lái)還計劃應用于蝕刻裝置。

　　Applied iSYS根據制程艙內的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如，應用于CVD裝置時(shí)，在成膜時(shí)及清潔時(shí)運行真空泵和除害裝置，其他時(shí)間使其處于備用狀態(tài)。這樣，可減少用電量及煤氣用量等。應用于半導體工廠(chǎng)的全部CVD工序時(shí)，每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬(wàn)美元以上。

　　據應用材料公司介紹，大型半導體廠(chǎng)商已相繼提出能源削減目標。在半導體工廠(chǎng)的能源消耗中，制造裝置占45%，制造裝置所附帶的裝置占42%，其余13%來(lái)自照明等。