河南發(fā)力碳化硅等相關(guān)材料領(lǐng)域
近期,河南省工業(yè)和信息化廳、河南省財政廳、河南省科學(xué)院聯(lián)合關(guān)于發(fā)布《河南省重點(diǎn)新材料首批次應用示范指導目錄(2025版)》的通告,涉及碳化硅等碳材料:
鋁基碳化硅復合材料薄板:(1)厚度0.05mm至1.0mm;(2)屈服強度≥320MPa;(3)延伸率≥3%;(4)熱導率≥120 W/(m·K)。
碳化硅單晶生長(cháng)坩堝用高純石墨:(1)密度>1.80g/cm3;(2)電阻率(uΩ·m):8-13;(3)熱脹系(室溫-1000℃℃):≤5.8;(4)灰分≤50ppm;(5)碳化硅長(cháng)晶坩堝使用壽命≥5次;(6)碳化硅長(cháng)晶厚度≥60mm。
碳化硅晶圓襯底精磨液:(1)粒度:D50=2.0um;(2)圓度:0.94-0.95;(3)電導率:40-90uS/cm;(4)粘度:210-400;(5)去除速率>19.00nm/min。
資料顯示,碳化硅(SiC)作為第三代半導體材料,在新能源汽車(chē)、光伏、5G通信等領(lǐng)域有廣泛應用。近年,全國各省市積極發(fā)力碳化硅產(chǎn)業(yè),河南也不例外。
作為全國重要的材料生產(chǎn)基地,河南依托豐富的資源與前瞻布局,在碳化硅材料領(lǐng)域實(shí)現技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)崛起。
2023年,平煤神馬集團旗下的中宜創(chuàng )芯公司在平頂山建成國內首條第三代半導體碳化硅粉體生產(chǎn)線(xiàn),填補了河南在第三代半導體材料領(lǐng)域的空白。該產(chǎn)線(xiàn)成功生長(cháng)出全省首塊8英寸碳化硅單晶晶錠,相比傳統6英寸襯底,芯片切割效率提高近90%,為下游器件制造提供高性?xún)r(jià)比原料。
區域協(xié)同方面,平頂山市則依托平煤神馬集團的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢,打造碳化硅集成電路的全產(chǎn)業(yè)鏈垂直示范園區。許昌襄城縣依托煤炭資源優(yōu)勢,建設千億級硅碳新材料產(chǎn)業(yè)園,已形成從煤炭到高純硅烷、碳化硅的完整產(chǎn)業(yè)鏈。
政策方面,《河南省加快材料產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢再造換道領(lǐng)跑行動(dòng)計劃(2022—2025年)》,明確將碳化硅作為重點(diǎn)發(fā)展的半導體材料之一,目標是到2025年基本實(shí)現材料產(chǎn)業(yè)的綠色低碳轉型,成為全國重要的材料創(chuàng )新高地。
此外,《河南省培育壯大智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈行動(dòng)方案(2023—2025年)》也提出推動(dòng)碳化硅等第三代半導體材料的發(fā)展,支持許昌等地加速半導體材料研發(fā)。
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