又一家國產(chǎn)KrF光刻膠通過(guò)半導體工藝量產(chǎn)驗證

10月15日，“中國光谷”通過(guò)微信公眾號發(fā)布消息稱(chēng)，武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“太紫微公司”）推出的T150 A光刻膠產(chǎn)品，已通過(guò)半導體工藝量產(chǎn)驗證，實(shí)現配方全自主設計，有望開(kāi)創(chuàng )國內半導體光刻制造新局面。

據介紹，太紫微公司的這款光刻膠產(chǎn)品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱(chēng)之為“妖膠”的國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現更為友好，通過(guò)驗證發(fā)現T150 A中密集圖形經(jīng)過(guò)刻蝕，下層介質(zhì)的側壁垂直度表現優(yōu)異。

眾所周知，光刻膠是半導體芯片制造過(guò)程中所必須的關(guān)鍵材料。由于目前光刻機曝光光源一共有六種，分別是紫外全譜（300～450nm）、 G 線(xiàn)（436nm）、 I 線(xiàn)（365nm）、深紫外（DUV，包括 248nm 和 193nm）和極紫外（EUV），相對應于各曝光波長(cháng)的光刻膠也應運而生，對應分別為，g 線(xiàn)光刻膠、i 線(xiàn)光刻膠、KrF光刻膠、 ArF光刻膠、EUV光刻膠。

從市場(chǎng)占有率來(lái)看，全球光刻膠市場(chǎng)主要被日本和美國廠(chǎng)商占據。根據 TOK 和 Fujifilm 2020年的數據顯示：

g/i ：東京應化占比 25.2%，陶氏杜邦占比 19.1%，住友化學(xué)占比 15.7%；

KrF：東京應化占比 31.4%，信越化學(xué)占比 21.9%，合成橡膠占比 20.9%，陶氏杜邦占比 10.9%；

ArF：合成橡膠（JSR）占比24.9%，信越化學(xué)占比 21.8%，住友化學(xué)占比 16.8%，東京應化占比15.8%；

EUV：東京應化占比51.8%，另外合成橡膠（JSR）也有不小的份額。

雖然近年來(lái)，隨著(zhù)國產(chǎn)半導體制造業(yè)務(wù)發(fā)展，國產(chǎn)光刻膠廠(chǎng)商也取得了一些突破，但是在中高端光刻膠市場(chǎng)仍是相對較弱。具體來(lái)說(shuō)，低端的中g(shù)線(xiàn)/i線(xiàn)光刻膠自給率約為20%，KrF光刻膠自給率不足5%，而高端的ArF光刻膠也是近兩年才有所突破，比如彤程新材、南大光電的ArF光刻膠都已有對外供貨。至于更高端的EUV光刻膠，由于美國的阻撓，國內目前無(wú)法進(jìn)口EUV光刻機，因此國產(chǎn)EUV光刻膠的開(kāi)發(fā)自然也無(wú)從談起。

資料顯示，太紫微公司成立于2024年5月，由華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團隊創(chuàng )立。團隊立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā)，在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕二十余載。

企業(yè)負責人、英國皇家化學(xué)會(huì )會(huì )員、華中科技大學(xué)教授朱明強表示：“以原材料的開(kāi)發(fā)為起點(diǎn)，最終獲得具有自主知識產(chǎn)權的配方技術(shù)，這只是個(gè)開(kāi)始，我們團隊還會(huì )發(fā)展一系列應用于不同場(chǎng)景下的KrF與ArF光刻膠，為國內相關(guān)產(chǎn)業(yè)帶來(lái)更多驚喜?！?/p>

△太紫微核心研發(fā)團隊成員（前排左一為朱明強教授）

太紫微公司致力于半導體專(zhuān)用高端電子化學(xué)品材料的開(kāi)發(fā)，并以新技術(shù)路線(xiàn)為半導體制造開(kāi)辟新型先進(jìn)光刻制造技術(shù)，同時(shí)為材料的分析與驗證提供最全面的手段。

“無(wú)論是從國內半導體產(chǎn)業(yè)崛起的背景來(lái)看，還是從摩爾定律演變的規律展望未來(lái)，‘百家爭鳴’的局面已形成，光刻領(lǐng)域還會(huì )有很多新技術(shù)、新企業(yè)破繭成蝶，但擁有科技創(chuàng )新的力量是存活下去的必要前提?！碧衔⑼馄笇?zhuān)家顧問(wèn)表示。

編輯：芯智訊-浪客劍