國產(chǎn)化率僅3%？美日荷限制之下，這家韓國檢測設備商在中國賺大了

12月11日消息，自去年10月美國出臺對華半導體限制新規之后，今年日本和荷蘭也相繼跟進(jìn)限制了先進(jìn)半導體設備的對華出口。但是，這也給其他尚未出臺類(lèi)似限制政策的國家的半導體設備廠(chǎng)商帶來(lái)了新的機會(huì )，畢竟中國大陸目前仍是全球最大的半導體設備市場(chǎng)。

據DigiTimes報道，韓國光學(xué)晶圓檢測設備制造商Nextin近期已經(jīng)與一家未公開(kāi)的中國客戶(hù)簽署了一家價(jià)值為70億韓元（約合539萬(wàn)美元）的采購協(xié)議，購買(mǎi)了其一臺型號為 Aegis-3 的檢測設備。據稱(chēng)，該設備的檢測速度比上一代的 Aegis-2 快了 30%，計算性能為 1.47 TFLOPS。

Nextin代表Park Tae-hoon表示：“第三代Aegis設備將被運送到中國委托工廠(chǎng)和存儲器企業(yè)。預計部分第二代Aegis設備的訂購顧客將要求升級為第三代設備?！?/p>

上個(gè)月的信息還顯示，得益于美日荷對華半導體設備的出口限制，Nextin已經(jīng)向兩家中國大陸芯片制造商供應了數臺型號為 Aegis-2 的檢測設備，交易的總價(jià)值約為 200 億韓元。

可以說(shuō)來(lái)自中國市場(chǎng)的旺盛需求，推動(dòng)了Nextin業(yè)績(jì)的快速增長(cháng)。財報數據也顯示，Nextin今年第三季度，Nextin收入為 423 億韓元，營(yíng)業(yè)利潤為 234 億韓元，分別比上年增長(cháng) 180% 和 230%，營(yíng)業(yè)利潤率也高達 51.6%。Nextin在此前的采訪(fǎng)中也指出，預計其今年來(lái)自中國大陸的收入將比 2021 年翻一番，占公司收入的 70% 左右。并且，中國銷(xiāo)售額的增長(cháng)幫助 Nextin 目前積累了價(jià)值 1200 億韓元的訂單。

為了進(jìn)一步開(kāi)拓中國市場(chǎng)，今年8月25日，Nexting公司還與無(wú)錫高新區、無(wú)錫市產(chǎn)業(yè)集團簽約合作，宣布投資2億美元在無(wú)錫建半導體高端檢測量測裝備生產(chǎn)研發(fā)基地，將專(zhuān)注半導體晶圓和半導體硅片高端檢測、量測裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，并計劃設立技術(shù)研發(fā)中心、形成自有知識產(chǎn)權，提高產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。

資料顯示，韓國Nextin公司成立于2010年，已于2020年在韓國上市，是韓國一家集成電路和顯示面板失效檢測和量測設備的供應商，總部位于韓國京畿，也在以色列設有研發(fā)中心，行業(yè)競爭對手包括美國科磊（KLA）、日本日立等公司，應用領(lǐng)域涉及存儲芯片、邏輯芯片等，主要客戶(hù)包括三星電子、SK海力士、福建晉華、長(cháng)鑫存儲、中芯國際、長(cháng)江存儲等。

據了解，從技術(shù)路線(xiàn)原理上看，半導體檢測和量測設備主要包括光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和 X 光量測技術(shù)，其中光學(xué)檢測技術(shù)空間占比較大。根據 VLSI Research和 QY Research 的報告，2020 年全球半導體檢測和量測設備市場(chǎng)中，應用光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)及 X光量測技術(shù)的設備市場(chǎng)份額占比分別為 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光學(xué)檢測工具比電子束檢測及 X光量測設備速度更快。

半導體光學(xué)檢測設備旨在使用明場(chǎng)（通過(guò)反射光獲取圖像）和/或暗場(chǎng)（使用散射光進(jìn)行檢測）模式快速檢測晶圓上的問(wèn)題。Nextin 的 Aegis系列檢測設備基于其創(chuàng )新的2-D成像技術(shù)及及其獲得專(zhuān)利的雙鏡焦平面組裝技術(shù)，可以在明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明同步進(jìn)行高靈敏度、高速度地檢測 200 毫米或300 毫米晶圓。其中，基于明場(chǎng)法可以發(fā)現小至 15nm 的缺陷，依靠散射光的暗場(chǎng)方法可以檢測 30nm 的缺陷。Aegis系列檢測設不僅可以檢測橋接、減薄、突出和底腳等圖案缺陷，還可以檢測所有半導體制造工序中薄膜、圖案生成、平坦化、離子注入和清潔過(guò)程中的劃痕和顆粒，從而獲得卓越的晶圓質(zhì)量，為客戶(hù)帶來(lái)投資回報。

雖然Nextin 的 Aegis系列設備的分辨率可能并不那么令人印象深刻，但缺陷不必像晶體管特征尺寸那么小也會(huì )影響設備的功能。尺寸為 15nm的缺陷仍然會(huì )嚴重破壞或損害14nm或7nm制程工藝節點(diǎn)中結構的運行，因此檢測也是至關(guān)重要。

目前在半導體檢測設備是前道設備國產(chǎn)化率最低的環(huán)節之一。根據VLSI Research的數據顯示，在體檢測設備市場(chǎng)，主要被科磊（KLA）、應用材料、日立等國外廠(chǎng)商所占據，他們的市場(chǎng)份額分別為 54.8%、9.0%和 7.1%。

根據東吳證券研究所測算，國產(chǎn)半導體檢測設備廠(chǎng)商中科飛測、上海精測、上海睿勵三家企業(yè) 2022 年銷(xiāo)售收入合計約為 7.46 億元，對應中國大陸市場(chǎng)份額不足 3%。若以批量公開(kāi)招標的華虹無(wú)錫為統計樣本，據不完全統計，2022 年華虹無(wú)錫完成量/檢測設備招標 47 臺，其中國產(chǎn)設備中標 1 臺，國產(chǎn)化率僅 2%，遠低于去膠機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等環(huán)節。

不過(guò)，目前在國內自主可控的趨勢之下，本土檢測設備企業(yè)的技術(shù)也快速推進(jìn)。目前中科飛測多款產(chǎn)品已通過(guò) 28nm 產(chǎn)線(xiàn)驗收，2Xnm產(chǎn)線(xiàn)設備正在驗證，1Xnm 產(chǎn)線(xiàn)設備正在研發(fā)。此外，上海精測電子束檢測設備已經(jīng)進(jìn)入 1Xnm 驗證，上海睿勵自主研發(fā)的光學(xué)薄膜量測設備也已進(jìn)入 14nm 產(chǎn)線(xiàn)驗證。

編輯：芯智訊-浪客劍