打入5nm產(chǎn)線(xiàn)！這家國產(chǎn)半導體設備商科創(chuàng )板過(guò)會(huì )，擬募資30億元

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
8月30日報道，北京屹唐半導體科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“屹唐股份”）通過(guò)科創(chuàng )板上市委會(huì )議。屹唐股份的主營(yíng)業(yè)務(wù)為干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備，其產(chǎn)品可應用于邏輯芯片、閃存芯片及DRAM芯片生產(chǎn)。上會(huì )稿顯示，屹唐股份的干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備最高可應用于5nm邏輯芯片、128層3D閃存芯片及1y到2x nm系列DRAM芯片的量產(chǎn)。熱處理、刻蝕和去膠是集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的三個(gè)重要步驟。快速熱處理可以增加光刻膠和基片間的黏附能力，防止顯影時(shí)光刻膠圖形的脫落以及濕法腐蝕時(shí)產(chǎn)生側面腐蝕（sideetching）。干法刻蝕主要是指以氣體為主要媒介的刻蝕技術(shù)，可以讓晶圓在干燥的狀態(tài)下進(jìn)出系統，進(jìn)行刻蝕加工。而在刻蝕之后，晶圓已不需要光刻膠作為保護層，因此可以將光刻膠從硅片表面去除，干法去膠利用等離子體將光刻膠去除，其效果較濕法去膠工藝更好。

屹唐股份總部位于中國，研發(fā)、制造基地分布于中國、美國、德國三地。2016年屹唐股份收購美國半導體設備廠(chǎng)商Mattson Technology Inc.（MTI），并將其作為境外經(jīng)營(yíng)主要主體，MTI也是屹唐股份合并報表范圍內的主要業(yè)績(jì)貢獻主體。根據市場(chǎng)研究公司Gartner統計，2020年屹唐股份干法去膠設備、快速熱處理設備的市場(chǎng)占有率分別位居全球第一、第二。截至上會(huì )稿發(fā)布，北京屹唐盛龍半導體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙）持有屹唐股份總股本的45.05%，為屹唐股份直接控股股東。亦莊產(chǎn)投和亦莊國投則是間接控股股東，均為國資背景。屹唐股份的實(shí)際控制人則為財政審計局。

本次IPO，屹唐股份計劃發(fā)行股份不超過(guò)46941萬(wàn)股，擬募集資金30億元，將分別用于“屹唐半導體集成電路裝備研發(fā)制造服務(wù)中心”、“屹唐半導體高端集成電路裝備研發(fā)”以及“發(fā)展和科技儲備資金”3個(gè)項目。

中國境內收入比重上升至42%10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升

根據上會(huì )稿，屹唐股份2018年-2020年復合增長(cháng)率為23.41%，2020年度營(yíng)業(yè)收入較2019年同比增長(cháng)46.96%。該公司2018年、2019年、2020年營(yíng)收分別為15.18億元、15.73億元和23.13億元。凈利潤方面，屹唐股份2019年變化幅度較大，其2018年-2020年凈利潤分別為2395.83萬(wàn)元、-8813.98萬(wàn)元和2476.16萬(wàn)元。2019年屹唐股份凈利潤為負，呈虧損態(tài)勢。上會(huì )稿寫(xiě)道，該年度屹唐股份的中國區業(yè)務(wù)團隊為了滿(mǎn)足國內客戶(hù)需求而快速擴張，使其各項先行投入開(kāi)支較大，因此產(chǎn)生了虧損。

上會(huì )稿強調，在報告期內，屹唐股份來(lái)源于中國境內的收入分別為3.21億元、4.94億元和9.74億元，復合增長(cháng)率達74.27%，境內收入占總營(yíng)收比重由21.12%上升至42.12%。如果以產(chǎn)品類(lèi)型劃分，屹唐股份的營(yíng)收可分為專(zhuān)用設備銷(xiāo)售、備品備件、服務(wù)和特許權使用費4種。其中，專(zhuān)用設備銷(xiāo)售包括干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備3種設備的銷(xiāo)售收入。
2020年，屹唐股份專(zhuān)用設備銷(xiāo)售金額達16.93億元，占總營(yíng)收比例為73.23%，是其主要收入來(lái)源。從2018年到2020年，屹唐股份干法去膠設備銷(xiāo)售占比持續增長(cháng)，快速熱處理設備銷(xiāo)售占比則有所下降，干法刻蝕設備營(yíng)收占比為5%左右。

Gartner的數據顯示，2018年至2020年間，屹唐股份在干法去膠設備領(lǐng)域市場(chǎng)份額由12.87%提升至31.29%，市場(chǎng)份額排名由全球第三躍升至全球第一；在快速熱處理設備領(lǐng)域，屹唐股份的市場(chǎng)份額由11.18%增長(cháng)至11.50%，為全球第二。值得一提的是，上交所在問(wèn)詢(xún)中，提到了2019年、2020年屹唐股份5nm以?xún)犬a(chǎn)品收入大幅下降、10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升的情況。屹唐股份回應稱(chēng)，由于國內客戶(hù)的設備制程需求以14-28nm為主，且屹唐股份來(lái)自境內客戶(hù)的收入增加，導致其10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升。而5nm制程設備受頭部廠(chǎng)商采購計劃影響較大，隨著(zhù)半導體行業(yè)升溫，芯片制造廠(chǎng)商已加大了先進(jìn)制程資本開(kāi)支。2021年1-6月屹唐股份5nm干法去膠設備已賣(mài)出，獲得了一定收入，具體銷(xiāo)售金額則并未披露。具體到客戶(hù)上，雖然屹唐股份并未透露報告期3年中前五大客戶(hù)的名稱(chēng)，僅以客戶(hù)“A、B、C、D、E、F、G、H”代稱(chēng)，但上會(huì )稿顯示屹唐股份的代表客戶(hù)有臺積電、三星電子、中芯國際、長(cháng)江存儲、格芯、美光、SK海力士等。

報告期內，屹唐股份主要的采購項目較多，主要可分為機械類(lèi)、電氣類(lèi)、機電一體類(lèi)、氣體傳輸系統類(lèi)、真空系統類(lèi)、傳感器類(lèi)、氣動(dòng)系統類(lèi)、儀器儀表類(lèi)等。日本電機、半導體設備供應商Rorze Corporation在三年內一直是屹唐股份的最大供應商。

中國制造基地已實(shí)現設備量產(chǎn)、銷(xiāo)售MTI核心技術(shù)人員3人留任

從應用領(lǐng)域來(lái)看，屹唐股份的干法去膠設備、快速熱處理設備、干法刻蝕設備主要應用于邏輯芯片、閃存芯片、DRAM芯片生產(chǎn)。具體來(lái)說(shuō)，屹唐股份干法去膠設備、快速熱處理設備主要可用于90nm到5nm邏輯芯片1y到2x nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片量產(chǎn)產(chǎn)線(xiàn)；干法刻蝕設備主要可用于65nm到5nm邏輯芯片、1y到2x nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片量產(chǎn)產(chǎn)線(xiàn)。當前，屹唐股份在中國的制造基地主要專(zhuān)注于成熟產(chǎn)品的生產(chǎn)及新產(chǎn)品研發(fā)，具備從零部件采購到整機生產(chǎn)調試的完整生產(chǎn)能力；美國子公司負責等離子體去膠、刻蝕設備的研發(fā)和制造；德國子公司則主要進(jìn)行快速熱處理設備的研發(fā)和制造。從整個(gè)半導體設備市場(chǎng)來(lái)看，能夠提供干法去膠設備、快速熱處理設備或干法刻蝕設備的外國廠(chǎng)商主要有應用材料、東京電子、泛林半導體、斯庫林（前身為迪恩士半導體）、維易科和比思科公司；境內設備廠(chǎng)商主要有北方華創(chuàng )、中微公司、盛美股份、華海清科和芯源微等。相比境內競爭對手，屹唐股份是國內唯一一家同時(shí)具備等離子體和熱處理領(lǐng)先技術(shù)的公司，各產(chǎn)品在細分領(lǐng)域有著(zhù)較強的競爭力。

但和國際巨頭相比，屹唐股份的市場(chǎng)占有率、營(yíng)收規模均有一定差距，在原材料采購、產(chǎn)品銷(xiāo)售等方面的議價(jià)能力、抗風(fēng)險能力有著(zhù)明顯的劣勢。

雖然屹唐股份2020年快速熱處理設備市場(chǎng)占有率為11.50%，全球排名第二，但排名第一的應用材料市場(chǎng)占有率高達69.72%，差距較大。

▲2020年全球快速熱處理設備市場(chǎng)競爭格局（來(lái)源：屹唐股份招股書(shū)上會(huì )稿）

2020年，屹唐股份在干法刻蝕領(lǐng)域市場(chǎng)份額0.1%，為全球第十；泛林半導體、東京電子、應用材料三大廠(chǎng)商合計市場(chǎng)份額為90.24%，占據了絕對優(yōu)勢。

此外，相比應用材料、東京電子、泛林半導體等，屹唐股份還在產(chǎn)品線(xiàn)覆蓋廣度上有著(zhù)較大差距。在收購MTI后，屹唐股份與MTI實(shí)施知識產(chǎn)權共享，促進(jìn)了母、子公司知識產(chǎn)權與核心技術(shù)的內部整合。截至2021年5月31日，屹唐股份與MTI共同擁有27項境內已授權發(fā)明專(zhuān)利和275項境外已授權發(fā)明專(zhuān)利，合計擁有309項已授權專(zhuān)利。目前，屹唐股份在干法去膠、快速熱處理及干法刻蝕3類(lèi)專(zhuān)用設備產(chǎn)品領(lǐng)域均掌握了相關(guān)核心技術(shù)，并于2018年中國研發(fā)制造基地建成后，實(shí)現了3種設備的本地生產(chǎn)和銷(xiāo)售。報告期內，2018年-2020年屹唐股份研發(fā)投入占營(yíng)收比例分別為16.75%、17.75%和14.20%。公司研發(fā)人員共124人，占員工總數的20.46%。

在核心技術(shù)人員方面，MTI的4名核心技術(shù)人員留任3人，其余1人因個(gè)人原因離職。收購完成后，屹唐股份又聘請了Hao Allen Lu（陸郝安）、Schubert S. Chu、Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）、龍茂林、Hua Chung（仲華）等5人在MTI和屹唐股份同時(shí)擔任核心技術(shù)人員，形成了以上述5人為核心的技術(shù)研發(fā)團隊。上述5人都曾在應用材料任職，其中Hao Allen Lu還曾任英特爾技術(shù)制造部資深主任工程師、掩膜刻蝕部門(mén)負責人、中國區公共事務(wù)部總監、技術(shù)制造工程部中國芯片廠(chǎng)項目主管等職務(wù)；2016年5月，他還擔任了SEMI全球副總裁和中國區總裁。

財政審計局為實(shí)際控制人

屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙），持有45.05%的公司股份。最近一年，江蘇招銀、南京招銀、環(huán)旭創(chuàng )芯、吉慧投資等23家機構通過(guò)增資或受讓股權的方式成為發(fā)行人新增股東。屹唐盛龍的執行事務(wù)合伙人為亦莊產(chǎn)投，根據其《合伙協(xié)議》，亦莊產(chǎn)投對外代表企業(yè)，間接控制屹唐股份45.05%的表決權。亦莊國投則持有亦莊產(chǎn)投100%的股權。需要指出的是，亦莊產(chǎn)投和亦莊國投的法定代表人均為楊永政，其也是屹唐股份董事長(cháng)。財政審計局則持有亦莊國投100%的股權，為屹唐股份實(shí)際控制人。除了屹唐盛龍，BH1、BH2和寧波義方為發(fā)行人員工持股平臺，合計持有屹唐股份13.52%的股份。海松非凡對屹唐股份的持股比例為7.21%，是第三大股東。環(huán)旭創(chuàng )芯則為華瑞世紀的全資子公司，兩家合計持有5.26%的股份。

結語(yǔ)：屹唐股份三大設備自主可控干法刻蝕設備市場(chǎng)份額較低

在收購MTI后，屹唐股份對雙方技術(shù)情況進(jìn)行了整合，共享技術(shù)和資源，實(shí)現了干法去膠、快速熱處理及干法刻蝕三類(lèi)專(zhuān)用設備的本土生產(chǎn)能力，促進(jìn)了國產(chǎn)芯片的自主可控。但同時(shí)，根據Gartner的數據，2020年全球干法刻蝕設備市場(chǎng)規模為136.89億美元，是屹唐股份的三大產(chǎn)品中規模最大的市場(chǎng)。而這一領(lǐng)域也是屹唐股份市場(chǎng)份額最低、收入占比最低的產(chǎn)品。屹唐股份如果遲遲無(wú)法在這一領(lǐng)域打開(kāi)局面，有可能會(huì )在與國際巨頭和國內廠(chǎng)商的競爭中處于下風(fēng)。