KLA-TENCOR推出新型 P-6 表面輪廓儀系統

　　KLA-Tencor 公司（納斯達克股票代碼：KLAC）今天發(fā)布其最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6™，該系統針對科學(xué)研究與生產(chǎn)環(huán)境（例如，光電太陽(yáng)能電池制造）提供一組獨特的先進(jìn)功能組合。P-6 系統受益于在先進(jìn)半導體輪廓儀系統上開(kāi)發(fā)的測量技術(shù)，但卻采用了較小與較經(jīng)濟的桌面型機臺設計，可接受最大至 150 毫米的樣本。

　　KLA-Tencor 的成長(cháng)與新興市場(chǎng)集團副總裁 Jeff Donnelly 表示：“我們對 P-6 探針系統的推出感到振奮，該系統將為科學(xué)與太陽(yáng)能客戶(hù)提供在應用方面的最佳功能組合。對于太陽(yáng)能市場(chǎng)，P-6 擁有在開(kāi)發(fā)階段提高太陽(yáng)能電池效率，以及監控生產(chǎn)制程質(zhì)量所需的分辨率、掃描質(zhì)量和自動(dòng)控制能力。”

　　融合 KLA-Tencor 的自動(dòng)化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術(shù)與效能的傳統：

　　•低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度
　　•小于 6 埃的步進(jìn)高度可重復性，確保了嚴苛的制程控制
　　•150 毫米 X-Y 樣本載臺可實(shí)現覆蓋整個(gè)基底的單一測量
　　•2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低并提升良率
　　•功能強大且容易使用的分析軟件，提供高階應用的靈活性

　　P-6 輪廓儀已通過(guò)主要太陽(yáng)能產(chǎn)品制造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術(shù)副總裁 Eric Daniels 表示：“我們對 KLA-Tencor 的 P-6 系統的評估證明，它對于多種表面測量應用系統的一系列制程條件具有高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導線(xiàn)觸點(diǎn)及前表面紋理結構。對于支持我們的技術(shù)開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)改善，P6 將發(fā)揮重要價(jià)值。”

　　P-6 系統將于 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會(huì )第 9252 號 KLA-Tencor 展臺上展出。