吉時(shí)利授權FormFactor公司為探針卡供應商
美國吉時(shí)利(Keithley)儀器公司,日前宣布授權位于加利福尼亞利弗莫爾的FormFactor公司為吉時(shí)利半導體參數測試儀制造高性能參數測試探針卡。FormFactor公司所提供的探針卡將應用于吉時(shí)利S600系列參數測試儀,進(jìn)行測量超低直流電流,以及對接觸半導體晶圓的PIN腳進(jìn)行標準直流參數測試。晶圓制造商和代工廠(chǎng)可以采用S600系列測試儀對用于組裝和封裝的晶圓進(jìn)行合格性檢測或工藝監測。
FormFactor公司Takumi探針卡非常適合于吉時(shí)利最先進(jìn)的參數測試儀——S680型直流/射頻參數測試系統的相關(guān)應用。S680是專(zhuān)門(mén)針對高級邏輯、存儲器、模擬IC電路的晶圓級參數測試而設計,它在一套測試系統內實(shí)現并行測試功能、高靈敏度直流測量、飛安級分辨率測量和高達40GHz的射頻s參數測量。該系統為65nm以上工藝節點(diǎn)的參數測量提供當前業(yè)界最高的測試產(chǎn)能和最低成本。
S680是高靈敏度、高速信號測試的理想選擇。其設置信號前置放大器在測試頭上,能放大僅幾厘米長(cháng)的探針內低電平信號,將放大后信號通過(guò)電纜傳輸到系統機柜內的測試儀中進(jìn)行分析。本方法消除了一般情況下電纜和開(kāi)關(guān)矩陣導致的速度與靈敏度損耗。利用8個(gè)通用通道將外部?jì)x器直接與探針連接在一起。
吉時(shí)利認為FormFactor公司在苛刻工藝、微小尺寸PAD和微細間距應用方面具備世界頂尖設計水平,在測試結構和劃片線(xiàn)的特征尺寸日益縮小的情況下,以上應用必須支持高性能的測量需求。
吉時(shí)利副總裁、商務(wù)經(jīng)理Mark Hoersten表示,“對FormFactor公司的授權表明吉時(shí)利決心繼續提供最新的探針卡與參數測試測量技術(shù),并為客戶(hù)擴大探針卡的可選數量。 FormFactor的探針卡體現了極高性能工藝,充分滿(mǎn)足當前電子設備采用尺寸日益縮小的元件所帶來(lái)的精密測量挑戰?!?/P>
FormFactor高級副總裁、研發(fā)與首席技術(shù)官Benjamin N. Eldridge表示,“將我們的Takumi參數測試平臺擴展至吉時(shí)利的測試儀上,對于我們雙方客戶(hù)皆極具戰略意義,半導體廠(chǎng)商在將工藝移植到65nm以下節點(diǎn)的過(guò)程中,必須依靠測試公司提供最新測量技術(shù)。吉時(shí)利長(cháng)期以來(lái)在低電平直流半導體測試領(lǐng)域一直居創(chuàng )新技術(shù)領(lǐng)導者地位,與吉時(shí)利的緊密合作將推動(dòng)我們共同提高技術(shù)融合水平?!?/P>
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