ASML：3D整合將成為2D收縮日益重要的補充技術(shù)

據媒體報道，3月5日，ASML發(fā)布2024年度報告，首席執行官克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示，如果展望ASML的未來(lái)增長(cháng)，光刻技術(shù)無(wú)疑仍然是摩爾定律的主要驅動(dòng)力之一，相信這一點(diǎn)在未來(lái)許多年里依然成立。

與此同時(shí)，二維收縮（2D shrink）正變得越來(lái)越困難。這并不完全是由于光刻技術(shù)的局限性，而是因為我們幾乎達到了邏輯和存儲器客戶(hù)所使用的晶體管的極限。為了繼續在二維收縮方面取得進(jìn)展，需要在架構和器件上進(jìn)行創(chuàng )新。這意味著(zhù)需要進(jìn)行三維前道整合（3D front-end integration），而這將帶來(lái)增長(cháng)機會(huì )——因為三維整合技術(shù)依賴(lài)于鍵合（Bonding），而這又需要一體化光刻技術(shù)（holistic lithography）?？死锼雇懈ァじP強調：“我認為，三維整合將成為二維收縮日益重要的補充技術(shù)或技術(shù)組合?！?/p>