芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統產(chǎn)業(yè)化項目開(kāi)工

4月25日，沈陽(yáng)芯源微電子設備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導體設備光刻膠泵及高純供液系統研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目開(kāi)工儀式在廣州舉行。

據官網(wǎng)介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng )建的國家高新技術(shù)企業(yè)，專(zhuān)業(yè)從事半導體生產(chǎn)設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)，致力于提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

芯源微所開(kāi)發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶(hù)要求，廣泛應用于半導體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域?？蓾M(mǎn)足300mm前道制程及300mm先進(jìn)封裝厚膠工藝制程。

芯源微于2019年12月16日在上交所科創(chuàng )板上市。公司總部位于沈陽(yáng)市渾南區，并在上海臨港設有全資子公司，總部占地4萬(wàn)平米，擁有集成電路工藝開(kāi)發(fā)和檢測實(shí)驗室以及半導體設備生產(chǎn)組裝車(chē)間。

此前3月19日，芯源微上海臨港廠(chǎng)區正式竣工投產(chǎn)。資料顯示，上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司成立于2021年，是芯源微的全資子公司。上海芯源微主要開(kāi)展28nm及以下高端工藝技術(shù)節點(diǎn)的集成電路光刻工藝涂膠顯影設備、化學(xué)清洗設備及其核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，

2022年，上海芯源微承擔建設的“芯源微臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目主體工程在臨港新片區重裝備產(chǎn)業(yè)區全面開(kāi)工，園區占地45畝、規劃總建筑面積約5.4萬(wàn)平方米，將于2023年第四季度竣工，建成后將具備較強的國際先進(jìn)水平半導體設備研發(fā)能力。