萬(wàn)業(yè)企業(yè)：旗下集成電路離子注入機進(jìn)入晶圓驗證階段

近日有消息顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)（600641.SH）全資子公司凱世通的低能大束流集成電路離子注入機已搬進(jìn)杭州灣潔凈室，目前正在根據集成電路芯片客戶(hù)工藝要求，進(jìn)行離子注入晶圓驗證。

圖1：萬(wàn)業(yè)企業(yè)子公司凱世通杭州灣潔凈室

業(yè)內人士指出，這標志著(zhù)公司已具備先進(jìn)制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力，未來(lái)有望為全球先進(jìn)制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導體等不同應用領(lǐng)域芯片客戶(hù)提供離子注入工藝驗證服務(wù)，提升客戶(hù)晶圓制造能力與芯片性能。

瞄準離子注入機 夯實(shí)半導體產(chǎn)業(yè)鏈基礎

萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下凱世通聚力發(fā)展的集成電路離子注入機是半導體制造環(huán)節中工藝極為復雜且昂貴設備之一。離子注入是芯片制造前道工藝中一項必不可少的工藝，每個(gè)芯片的制造都需要進(jìn)行20至25次的離子注入，因而離子注入機的研制是整個(gè)半導體產(chǎn)業(yè)的基礎。由于離子注入機的至關(guān)重要，其與光刻機、刻蝕設備和薄膜沉積設備被并稱(chēng)為集成電路制造的“四大金剛”。

為快速突破集成電路國產(chǎn)化瓶頸，離子注入機作為芯片制造必不可少的關(guān)鍵設備之一，近年也受到國家政策的重點(diǎn)支持。2014年《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中明確指出離子注入機是發(fā)展我國集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設備；2017年發(fā)改委頒布《戰略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)指導目錄》中列示集成電路離子注入機；2018年工信部發(fā)布《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應用指導目錄》，將中束流、大束流以及高能離子注入機列入名單；近期，五部委聯(lián)合發(fā)布《關(guān)于調整重大技術(shù)裝備進(jìn)口稅收政策有關(guān)目錄的通知》，離子注入機被納入享受相關(guān)稅收優(yōu)惠的范圍。從綱要到各類(lèi)目錄，可見(jiàn)萬(wàn)業(yè)企業(yè)專(zhuān)注研發(fā)的離子注入機等制造裝備已成為半導體產(chǎn)業(yè)鏈整體騰升過(guò)程中必需啃下的硬骨頭。

挑戰尖端工藝 低能大束流離子注入機成主流

隨著(zhù)集成電路工藝技術(shù)的持續提升，晶體管不斷縮小，集成電路制程進(jìn)一步向尖端工藝發(fā)展，這對相關(guān)生產(chǎn)制造設備也提出了更高的要求。在此背景下，萬(wàn)業(yè)企業(yè)聚焦的技術(shù)含量最高的低能大束流離子注入機日漸成為主流。根據浦東投資的統計，目前低能大束流已占有離子注入機市場(chǎng)份額的55%。

結合國內外集成電路制程技術(shù)路線(xiàn)現狀，凱世通采取“領(lǐng)先一步”的策略、采用有國際競爭力設計理念，著(zhù)力研制16納米及以下制程的 FinFET 集成電路離子注入機，并針對研制低能大束流離子注入機所需要解決的關(guān)鍵技術(shù)和技術(shù)難點(diǎn)，建立起相應的研發(fā)平臺、相關(guān)核心關(guān)鍵技術(shù)及工藝的研究參數數據庫和性能檢測規范標準。

此次凱世通低能大束流離子注入機的遷機成功，進(jìn)入離子注入晶圓驗證階段。其產(chǎn)品在低能和大束流等核心指標，特別是束流強度指標上，已達到或超過(guò)國外同類(lèi)產(chǎn)品，因此可更好的降低單位成本消耗，滿(mǎn)足國內集成電路行業(yè)實(shí)際應用。

圖2：萬(wàn)業(yè)企業(yè)子公司凱世通集成電路離子注入機設備

咽喉之地，萬(wàn)業(yè)企業(yè)轉型1 1＞2

根據SEMI的統計，2018年全球晶圓加工設備市場(chǎng)規模達到502億美元，同比增52%。根據中商產(chǎn)業(yè)研究院的統計，離子注入機占晶圓加工設備的比重大約為5%，因此2018年用于晶圓制造的離子注入機全球市場(chǎng)規模達到了25億美元。同時(shí)，在5G、AI、汽車(chē)電子等新興領(lǐng)域的驅動(dòng)下，隨著(zhù)集成電路制造產(chǎn)線(xiàn)的資本支出與產(chǎn)能增加，離子注入機作為最重要的設備之一，市場(chǎng)規模也有望進(jìn)一步提升。

面對集成電路需求持續擴大，設備市場(chǎng)快速上升，合則兩利，共則雙贏(yíng)。2018年萬(wàn)業(yè)企業(yè)成功收購凱世通，通過(guò)資本注入，加快研發(fā)、加速迭代，一方面幫助凱世通實(shí)現新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)能擴充，進(jìn)一步提升其離子注入機行業(yè)的競爭優(yōu)勢，另一方面萬(wàn)業(yè)企業(yè)以稀缺國產(chǎn)標的離子注入機為起點(diǎn),逐步布局半導體設備，上市公司整體價(jià)值得以提升，產(chǎn)業(yè)與資本的協(xié)同共贏(yíng)，形成1 1＞2的疊加效果。

萬(wàn)業(yè)企業(yè)表示，將繼續背靠上市公司平臺、國家大基金產(chǎn)業(yè)資源、大股東浦科投資的管理與布局能力，大力發(fā)展以離子注入機為代表的集成電路核心裝備，切實(shí)加強上市公司的集成電路裝備全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。依托國內國外兩個(gè)市場(chǎng)，利用境內境外兩種資源，以“外延并購 產(chǎn)業(yè)整合”雙輪驅動(dòng)，“集成裝備 產(chǎn)業(yè)投資 產(chǎn)業(yè)園”三駕馬車(chē)并駕齊驅?zhuān)孓D型集成電路高端裝備材料龍頭，助力國產(chǎn)集成電路的整體發(fā)展。