應用材料公司在線(xiàn)電子束檢視系統加速顯示產(chǎn)品開(kāi)發(fā)

作者/ 金旺 電子產(chǎn)品世界編輯

　　應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線(xiàn)電子束檢視(EBR)系統，該系統能顯著(zhù)提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)。

　　隨著(zhù)半導體制程進(jìn)入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導體工藝制程的在線(xiàn)SEM檢視率為90%。目前的顯示行業(yè)， 我們仍依賴(lài)傳統離線(xiàn)SEM，而離線(xiàn)SEM檢視技術(shù)現在仍面臨以下不足：

　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過(guò)程需損壞產(chǎn)品;3)檢視周期長(cháng);4)樣本率低;5)信息流失，客戶(hù)無(wú)法得到完整信息。

　　應用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的電子束檢視系統結合大尺寸真空技術(shù)平臺和半導體SEM技術(shù)，克服了離線(xiàn)SEM檢視技術(shù)的不足，可以低電壓、無(wú)損傷、快速地完成檢視的整個(gè)流程?！坝捎陔x線(xiàn)SEM技術(shù)需要對樣品切割、鍍膜等步驟，這不僅損壞了器件，還會(huì )大大降低工作效率，對于一個(gè)熟練的技術(shù)員，一天最多只能檢測20個(gè)樣本，而EBR不需要切割玻璃和鍍膜，一個(gè)技術(shù)員一天可以完成上千個(gè)樣本檢測，檢測到的缺陷可以繼續后續制程的處理，觀(guān)察該缺陷是否是致命缺陷。同時(shí)，EBR系統可以檢測到AOI(Automatic Optic Inspection，自動(dòng)光學(xué)檢測)設備無(wú)法檢測到的缺陷，進(jìn)行缺陷或顆粒成分分析，能夠更精準地找到缺陷根源?！?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/應用材料">應用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹稱(chēng)，“對于我們來(lái)說(shuō)，速度是最重要的，現在一個(gè)小時(shí)可以檢測一百個(gè)缺陷，未來(lái)十年內我們將不停地加快速度，對于我們的客戶(hù)來(lái)說(shuō)，EBR系統將會(huì )成為他們應對新技術(shù)挑戰，提高產(chǎn)能和產(chǎn)品良率的利器，減少解決難題所需的時(shí)間?！?/p>

　　EBR檢視技術(shù)適用于工藝和缺陷檢測、構成分析、LTPS顆粒結構檢測和CD測量等。其低電壓檢測技術(shù)不會(huì )損傷產(chǎn)品，同時(shí)，EBR檢測設備快速的檢測速度將不斷加速新型顯示器工廠(chǎng)的產(chǎn)能爬坡。(旺)

本文來(lái)源于中國科技期刊《電子產(chǎn)品世界》2016年第11期第83頁(yè)，歡迎您寫(xiě)論文時(shí)引用，并注明出處。