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應用材料公司在線(xiàn)電子束檢視系統加速顯示產(chǎn)品開(kāi)發(fā)
- 作者/ 金旺 電子產(chǎn)品世界編輯 應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線(xiàn)電子束檢視(EBR)系統，該系統能顯著(zhù)提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)?！ ‰S著(zhù)半導體制程進(jìn)入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導體工藝制程的在線(xiàn)SEM檢視率為90%。目前的顯示行業(yè)， 我們仍依賴(lài)傳統離線(xiàn)SEM，而離線(xiàn)SEM檢視技術(shù)現在仍面臨以下不足： 1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過(guò)程
- 關(guān)鍵字： 應用材料 北京2016國際顯示高峰論壇 EBR 201612
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