CSTIC 2016：半導體是推動(dòng)技術(shù)革新的核心基礎產(chǎn)業(yè)

　　技術(shù)的革新進(jìn)步改變著(zhù)當今世界日常生活的方方面面。3月13日-14日，2016年中國國際半導體技術(shù)大會(huì )(CSTIC 2016)在上海國際會(huì )議中心隆重舉行。與SEMICON China 2016同期舉辦CSTIC 2016是中國最大的半導體技術(shù)大會(huì )，成為國內探討先進(jìn)半導體技術(shù)的年度盛會(huì )。CSTIC由SEMI和IEEE-EDS主辦，ICMTIA協(xié)辦，由長(cháng)電科技、中芯國際、愛(ài)德萬(wàn)測試等企業(yè)聯(lián)合贊助。

　　大會(huì )特別邀請STM副總裁、MEMS傳感器事業(yè)部總經(jīng)理Andrea Onetti、英特爾高級研究員Dr. Chia-Hong Jan和華為公司副總裁楚慶作為主題演講嘉賓。

　　本屆技術(shù)大會(huì )收到400多篇優(yōu)秀論文，并吸引了800多位專(zhuān)業(yè)聽(tīng)眾前來(lái)參會(huì )。會(huì )議內容涵蓋半導體技術(shù)和制造，包括設備、設計、平板印刷、材料、工藝等各方面，以及新興的半導體技術(shù)和硅材料應用等。3D打印、LEDs、MEMS、碳納米電子等都是會(huì )議的熱門(mén)關(guān)注領(lǐng)域。半導體技術(shù)的發(fā)展是支持國家經(jīng)濟，提升產(chǎn)業(yè)競爭力的核心產(chǎn)業(yè)之一，也是推動(dòng)技術(shù)革新的基礎產(chǎn)業(yè)。

　　會(huì )議現場(chǎng)還頒布了由大會(huì )主辦方SEMI與ECS共同設立的優(yōu)秀學(xué)生與優(yōu)秀年輕工程師獎。獲得ECS優(yōu)秀學(xué)生獎的有來(lái)自巴西圣保羅大學(xué)/比利時(shí)魯汶微電子研究所的Alberto V. de Oliveira (一等獎)和來(lái)自清華大學(xué)的Jie Cheng(二等獎);獲得SEMI優(yōu)秀年輕工程師獎的是來(lái)自XFAB Sarawak 的Wang Dulin。

　　除了主題演講外，本屆技術(shù)大會(huì )還設有12個(gè)專(zhuān)題研討會(huì )，在3月13-14日同時(shí)舉行。

　　主題演講引爆全場(chǎng)

　　隨著(zhù)智能終端、MEMS、物聯(lián)網(wǎng)等新應用市場(chǎng)的發(fā)展，也給集成電路產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的產(chǎn)業(yè)動(dòng)力。中國正成為集成電路產(chǎn)業(yè)的熱點(diǎn)區域。MEMS傳感器將怎樣影響物聯(lián)網(wǎng)?摩爾定律是否仍將繼續?以及對新技術(shù)的發(fā)展趨勢的探討，成為今年CSTIC主題演講的熱點(diǎn)話(huà)題。

　　STM副總裁，MEMS傳感器事業(yè)部總經(jīng)理Andrea Onetti

　　STM副總裁、MEMS傳感器事業(yè)部總經(jīng)理 Andrea Onetti在他的主題演講中圍繞MEMS和傳感器以及它們對物聯(lián)網(wǎng)的影響，進(jìn)行了深入淺出地闡述。他指出，要實(shí)現設備間的互聯(lián)互通，傳感器是核心，它是讓一切事物變得智能的關(guān)鍵。他列舉了一系列應用實(shí)例，如智能路燈、智能垃圾收集系統、智能停車(chē)等，展示如何通過(guò)傳感技術(shù)的應用，實(shí)現節能的同時(shí)收集數據，實(shí)現真正的萬(wàn)物互聯(lián)。不同的智能應用帶來(lái)不同的體驗，而其背后都離不開(kāi)傳感技術(shù)，所以傳感技術(shù)的應用將有無(wú)限可能。ST針對未來(lái)的物聯(lián)網(wǎng)開(kāi)發(fā)者的需求，著(zhù)力在軟硬件構建模塊及開(kāi)發(fā)和原型工具上提供一系列解決方案，為開(kāi)發(fā)者提供便利。

　　英特爾高級研究員Dr. Chia-Hong Jan

　　英特爾高級研究員Dr. Chia-Hong Jan一上來(lái)就拋出三個(gè)問(wèn)題——為什么是摩爾定律?摩爾定律何時(shí)終結?是什么在支持摩爾定律?隨后，他給出的結論是，在某種意義上，摩爾定律不會(huì )終結，因為遵循或者超越摩爾定律的創(chuàng )新性產(chǎn)品將獲得市場(chǎng)并且顛覆其他產(chǎn)品。Dr. Chia-Hong Jan進(jìn)而指出，事實(shí)上，摩爾定律體現在各個(gè)領(lǐng)域，包括CPU、DRAM、Flash、HDD、CIS等的發(fā)展歷程中，都可以看到摩爾定律的特性。此外，Dr. Chia-Hong Jan還從摩爾定律與顛覆式創(chuàng )新、能源效率等角度，結合產(chǎn)業(yè)實(shí)例作了一系列分析闡述。

　　華為公司副總裁楚慶

　　然而，華為公司副總裁楚慶卻表示“摩爾定律必然終結。”他甚至直言摩爾定律是一個(gè)“錯覺(jué)”。“摩爾定律曾為行業(yè)制造了一條競爭跑道，其規則是只要‘工藝領(lǐng)先，就將獲勝’。”但楚慶指出，現在這一規律已經(jīng)開(kāi)始偏離，“摩爾定律的基石已經(jīng)在工藝到了Finfet 、SOI的分叉時(shí)產(chǎn)生了動(dòng)搖。全新的器件結構(Finfet、SOI等)的引入標志著(zhù)后摩爾定律時(shí)代來(lái)臨，摩爾定律已經(jīng)開(kāi)始偏離了原來(lái)的發(fā)展節奏。”

　　談到存儲領(lǐng)域目前所面臨的長(cháng)期僵局，楚慶則指出存儲體產(chǎn)業(yè)缺乏自我革新的力量，所有競爭圍繞價(jià)格和成本，低毛利導致研發(fā)投入嚴重不足，是時(shí)候吹響技術(shù)革命的號角，并認為新型存儲介質(zhì)將引領(lǐng)存儲領(lǐng)域的變革。此外，楚慶還提到了量子計算、人工智能等一系列新技術(shù)，并進(jìn)一步表示，未來(lái)的新技術(shù)的走向，也許沒(méi)有一條會(huì )和摩爾定律有關(guān)聯(lián)。而摩爾定律的終結在楚慶看來(lái)也并非壞事，他認為，“任何摧垮舊制度的炮彈，都是誕生新事物的開(kāi)端。相信人類(lèi)的創(chuàng )造力是無(wú)限的。”

　　11個(gè)專(zhuān)題研討會(huì )

　　專(zhuān)題研討會(huì )內容涵蓋先進(jìn)技術(shù)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、最新動(dòng)態(tài)、產(chǎn)業(yè)的未來(lái)展望等，來(lái)自產(chǎn)業(yè)前沿的專(zhuān)業(yè)演講者們，在各自領(lǐng)域分享了來(lái)自產(chǎn)業(yè)的最新技術(shù)和聲音，并深入剖析新的產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢。

　　專(zhuān)題研討會(huì )現場(chǎng)

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)一的主題為“設備工程與技術(shù)”，并分為五個(gè)討論題目，分別為存儲技術(shù)、可靠性和噪音特性、新型固態(tài)設備、先進(jìn)設備技術(shù)和先進(jìn)工藝技術(shù)。其中有曼徹斯特大學(xué)的Jianhua Joshua Yang帶來(lái)的“記憶電阻器使存儲和神經(jīng)應用成為可能”，新加坡南洋理工大學(xué)的Yu Hao的“類(lèi)人腦計算與非易失性存儲設備”等。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)二的主題為“光刻和曝光”。分別圍繞“計算性光刻技術(shù)”、“MEMS、Mask和Metrology”、“多重曝光”、“工藝和材料”等方面展開(kāi)探討。其中有Intel的Vivek Singh帶來(lái)“摩爾定律：沒(méi)有盡頭”的演講;Brewer Science的Leo Pang帶來(lái)關(guān)于“光刻技術(shù)中的化學(xué)影響的調查研究”;東京東北大學(xué)的Chiaki Kato分享了“MEMS技術(shù)發(fā)展趨勢”;來(lái)自東電電子Hidetami Yaegashi的“7納米節點(diǎn)多次曝光中的圖形擬真度控制”等。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)三的主題為“干濕蝕刻和清洗”。演講內容有Lam Research的Rich Wise帶來(lái)的“圖形技術(shù)對10納米、7納米及5納米邏輯節點(diǎn)的影響”，應用材料的Peter Loewenhardt的“原子級精密材料工程”，北方微電子的Shaohua Liu帶來(lái)的“功率半導體設備的設備解決方案”等。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)四的主題為“薄膜技術(shù)和工藝整合”，并圍繞FEOL CVD和熱敏薄膜、FEOL金屬、材料和工藝整合、BEOL薄膜、新型材料等多個(gè)話(huà)題展開(kāi)討論。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)五的主題為“CMP和CMP之后的清洗”，六個(gè)討論題目為先進(jìn)CMP應用、CMP消耗技術(shù)、先進(jìn)節點(diǎn)的CMP技術(shù)、CMP缺陷和清洗技術(shù)、BEOL CMP、新CMP的應用和技術(shù)。演講內容包括克拉克森大學(xué)的S.V. Babu博士的“緩解阻隔性薄膜在先進(jìn)節點(diǎn)的腐蝕性挑戰”，Global Foundries的JH Han博士的“化學(xué)機械拋光革新技術(shù)是10納米之下邏輯設備的關(guān)鍵技術(shù)”等。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)六的主題為“封裝和裝配”。專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)八主題為“計量、可靠性和測試“，討論題目圍繞測試、計量、硬件安全、可靠性、識別和觀(guān)察等。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)九的主題為“新興半導體技術(shù)”，討論題目分為先進(jìn)邏輯技術(shù)、新興半導體技術(shù)、新興半導體存儲技術(shù)、先進(jìn)光學(xué)半導體技術(shù)、3D和功率半導體技術(shù)以及2D半導體和量子點(diǎn)技術(shù)。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)十的主題為“MEMS和傳感器技術(shù)的進(jìn)步”，討論題目分為MEMS和傳感器系統、新穎的MEMS設備和傳感器、MEMS和傳感器的制造和測試以及MEMS和傳感器的材料和工藝。

　　專(zhuān)題研討會(huì )會(huì )場(chǎng)十一的主題為“電路設計、系統集成和應用”，討論題目涉及3D ICs/生物芯片和可穿戴設備、系統架構、低功耗電路、可靠和測試等。