中芯國際每年“撿”到近900萬(wàn)元

　　魔術(shù)人人會(huì )變，關(guān)鍵是看誰(shuí)更專(zhuān)業(yè)、手法更純熟。在清潔生產(chǎn)的大舞臺上，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司上演了一出非常專(zhuān)業(yè)的“魔術(shù)”，在不到三年的時(shí)間內共實(shí)施了35個(gè)清潔生產(chǎn)項目，靠清潔生產(chǎn)每年能“撿”到886.3萬(wàn)元的經(jīng)濟效益，節電195.5萬(wàn)度。

　　同時(shí)，該公司也將于年底前再次收到浦東新區環(huán)保協(xié)會(huì )給予的300萬(wàn)元基金補助，協(xié)助企業(yè)在環(huán)保方面的持續投入和不斷改進(jìn)。

　　廢氣處理效率超過(guò)96%

　　日前，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司PFCs氣體減排項目已正式完成，新裝的65臺電加熱水洗本地廢氣處理設備全部投入運行。該項目總投資2343萬(wàn)元人民幣，預計等效二氧化碳減排將達到每年4.28萬(wàn)噸。

　　集成電路制造業(yè)的一大特點(diǎn)是廢氣量大、污染種類(lèi)多。中芯國際在建廠(chǎng)初期就投入巨資用于廢氣治理設施，每年持續投入數千萬(wàn)元用于廢氣治理運營(yíng)。

　　“近兩年，中芯國際每年投入上千萬(wàn)元用于主動(dòng)減排PFCs氣體，并建立了PFCs氣體減排的專(zhuān)業(yè)團隊。”中芯國際集成電路制造(上海)有限公司企業(yè)環(huán)保安全衛生處處長(cháng)殷有雄說(shuō)。

　　據悉，PFCs是指全氟碳化物，在半導體制造領(lǐng)域，主要在薄膜工序中作為清潔氣體使用和在干法刻蝕工序中作為工藝氣體使用,使用氣體包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、SF6等。這些氣體能破壞地球的臭氧層產(chǎn)生溫室效應，減少全氟碳化物(PFCs)排放對環(huán)境產(chǎn)生的影響，已受到世界各國重視。

　　針對公司廢氣處理現狀，中芯國際專(zhuān)業(yè)團隊制定了減排計劃，并選擇了高效、合理的PFCs氣體處理設備。在設備與技術(shù)的雙重革新下，該類(lèi)設備經(jīng)傅氏轉換紅外線(xiàn)光譜分析儀(FTIR)檢測，平均處理效率超過(guò)96.5%。預計今年中芯國際單位面積PFC排放量為1.86噸CO2e/平方米， PFCs產(chǎn)生的單位面積等效二氧化碳整體削減率達到32%。

　　形成38項節能方案

　　在半導體生產(chǎn)企業(yè)中，制冷機系統大多采用敞開(kāi)式運行，產(chǎn)生了大量的余熱。而由于芯片生產(chǎn)中，又需要用到純水清洗，公司在其中花費了大量的蒸汽來(lái)加熱自來(lái)水。“公司一直致力于將這兩者有效結合，實(shí)現清潔生產(chǎn)”，殷有雄說(shuō)。

　　一塊“板”解決了這一難題，中芯國際自主研發(fā)了一套冰機熱回收系統，在冰機背后設置了一塊類(lèi)似于擋熱板的設置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來(lái)加熱自來(lái)水。

　　“這套裝置能將自來(lái)水從10℃加熱到22℃，每年可節省市政蒸汽2.32萬(wàn)噸，折合標煤1994噸。”中芯國際相關(guān)技術(shù)人員透露，該技術(shù)已經(jīng)獲得國家專(zhuān)利。

　　記者了解到，中芯國際已獲得英國標準協(xié)會(huì )ISO 14001認證(一套有關(guān)環(huán)境保護的非官方國際標準)。自2010年開(kāi)始，在水資源回收和再利用、廢氣治理、節電設計、廢棄物減量化等清潔生產(chǎn)方面，中芯國際累計投入了1833萬(wàn)元，形成了38項方案。

　　今年8月28日，中芯國際再次被列入香港恒生可持續發(fā)展企業(yè)指數，以表彰其在環(huán)境保護、社會(huì )責任和公司治理等方面的表現。9月，中芯國際集成電路制造(上海)有限公司榮獲浦東新區“環(huán)境誠信綠色等級企業(yè)”榮譽(yù)稱(chēng)號，成為浦東新區15家獲此殊榮的企業(yè)之一。