MEMS市場(chǎng)、技術(shù)與產(chǎn)品的動(dòng)向

　　飛思卡爾亞太區消費及工業(yè)用壓力傳感器產(chǎn)品應用經(jīng)理郭培棟提到，當前MEMS產(chǎn)品發(fā)展的瓶頸在于封裝技術(shù)，封裝成本成為最大的挑戰，而如何進(jìn)一步縮小封裝尺寸，如何將多傳感器融入單一封裝之中是面臨的重要課題。只有創(chuàng )新才能突破，例如飛思卡爾的2款新產(chǎn)品——FXO8700CQ的多傳感器融合技術(shù)和MMA865xFC的微型封裝技術(shù)，都是建立在低成本的基礎上，而這也正是將來(lái)MEMS產(chǎn)品發(fā)展的必然趨勢。

　　據ST(意法半導體)大中華暨南亞區微電機系統&傳感器高級市場(chǎng)部經(jīng)理吳衛東介紹，高性能、低功耗、高集成度是ST在MEMS產(chǎn)品發(fā)展的總體方向。

　　部分公司的新產(chǎn)品

　　飛思卡爾
　　飛思卡爾的Xtrinsic系列產(chǎn)品是針對消費類(lèi)應用的平臺，包括高精度高度計MPL3115A2、封裝尺寸僅為2mm x 2mm的加速度計MMA865xFC、高性能的磁力計MAG3110以及融合了磁力計及加速度計的FXO8700CQ等。

　　其中六軸傳感器FXO8700CQ包含了一個(gè)14位加速計和一個(gè)16位磁力計以及高性能ASIC，封裝尺寸僅為3mm x 3mm x 1.2mm?；?.1度的方向分辨率，可提供誤差低于5度的航向精確度，為高性能eCompass提供了解決方案。MMA865xFC是一款智能型、低功耗的三軸加速度計，2mm x 2mm的封裝尺寸與前一代產(chǎn)品相比體積縮小了將近56%，分辨率則高達1mg/LSB。尤其值得一提的是MMA865xFC豐富的嵌入式功能，可優(yōu)化總體系統功耗。MA865xFC可應用于手機、數碼相機、平板電腦、筆記本電腦、電子閱讀器、遙控器、電子羅盤(pán)和醫療設備中?！　?/p>

       

　　ADI
　　ADIS16480是 ADI推出的10自由度高精度MEMS IMU，其中采用一種嵌入式傳感器融合算法，可以為平臺穩定、導航和儀器儀表應用提供高度精確的方向檢測能力。它是ADI iSensor MEMS IMU產(chǎn)品組合中的最新成員，在軍事和商業(yè)飛機導航、無(wú)人車(chē)輛、移動(dòng)式平臺定位和工業(yè)機器人等要求實(shí)時(shí)定位但卻存在持續運動(dòng)并且具有復雜、動(dòng)態(tài)特點(diǎn)的系統中，這非常有用。

　　ADXL362是低功耗MEMS加速度計，是3軸數字MEMS加速度計，在運動(dòng)檢測喚醒模式下功耗僅為300 nA。極低的功耗使ADXL362適合從醫療保健到基礎設施監控的各種極度注重電池壽命的應用?！　?/p>

　　ADXL377是首款商用高量程三軸加速度計。ADXL377可測量±200 g滿(mǎn)量程范圍內且無(wú)信號飽和情況下由沖擊和振動(dòng)引起的高沖擊事件的加速度。帶寬為1600 Hz，也非常適合用于密切監控沖擊水平的工業(yè)設備。

　　ST
　　在高性能方面，剛推出的L3GD20H陀螺儀擁有更佳的分辨率、更高的準確度、穩定性以及更快的反應速度，其輸出噪聲降低60%;開(kāi)機速度則提升80%，可在智能消費電子產(chǎn)品內實(shí)現更小的檢測機制。

　　低功耗：ST推出的LIS3DH在工作狀態(tài)下的最低能耗只有2微安電流。這一特性可以讓電池供電的手持類(lèi)產(chǎn)品有更持久的工作時(shí)間。

　　高集成度：LSM330模塊整合一個(gè)3軸數字陀螺儀、一個(gè)3軸數字加速度計和兩個(gè)嵌入式有限狀態(tài)機，這兩個(gè)可編程電路可在模塊內部實(shí)現自定義運動(dòng)識別功能。

　　參考文獻：
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