注冊資金1.8億元，這4家國產(chǎn)半導體設備商攜手成立合資公司！

2024年1月2日消息，據企查查資料顯示，由拓荊科技、中科飛測、盛美上海、微導納米這4家國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商聯(lián)合成立的合資公司——廣州中科共芯半導體技術(shù)合伙企業(yè)（有限合伙）（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科共芯”）已于2023年12月12日注冊成立。

根據公司資料顯示，中科共芯注冊資金18010萬(wàn)元人民幣，經(jīng)營(yíng)范圍包括：半導體分立器件制造和銷(xiāo)售；集成電路芯片設計及服務(wù)、產(chǎn)品制造和銷(xiāo)售；集成電路設計、制造和銷(xiāo)售；電子元器件制造、批發(fā)、零售；電力電子元器件制造、銷(xiāo)售；電子專(zhuān)用設備銷(xiāo)售；軟件開(kāi)發(fā)和銷(xiāo)售；信息技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)、以自有資金從事投資活動(dòng)……等。

從股權結構來(lái)看，中科共芯的執行事務(wù)合伙人為廣州中科齊芯半導體科技有限責任公司，持股0.0555%；拓荊科技、中科飛測全資子公司珠海中科飛測科技有限公司、微導納米均持股27.7624%，盛美上海則持股16.6574%。

資料顯示，拓荊科技目前擁有PECVD、SACVD、ALD、HDPCVD、鍵合設備等較為豐富的產(chǎn)品系列，部分產(chǎn)品已適配國內28/14nm邏輯芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128層3DNANDFLASH晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)，并成功實(shí)現產(chǎn)業(yè)化應用或驗證。

中科飛測則是國內高端半導體檢測和量測設備大廠(chǎng)，自2014年成立以來(lái)一直專(zhuān)注于半導體檢測和量測設備領(lǐng)域，目前已成功推出了無(wú)圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備、三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備等產(chǎn)品，可被廣泛應用于28nm及以上制程集成電路制造和先進(jìn)封裝環(huán)節。

盛美上海產(chǎn)品主要包括清洗設備（包括單片、槽式、單片槽式組合、CO2超臨界清洗、邊緣和背面刷洗）、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備（包括氧化、擴散、真空回火、LPCVD、ALD）、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學(xué)氣相沉積PECVD設備、無(wú)應力拋光設備；后道先進(jìn)封裝工藝設備以及硅材料襯底制造工藝設備等。目前盛美上海研發(fā)的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術(shù)和Tahoe單片槽式組合清洗技術(shù)，可應用于45nm及以下技術(shù)節點(diǎn)的晶圓清洗領(lǐng)城。公司PECVD設備研發(fā)進(jìn)展順利。

微導納米是國內首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積（ALD）設備應用于28nm節點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線(xiàn)的國產(chǎn)設備廠(chǎng)商，已與國內多家廠(chǎng)商建立了深度合作關(guān)系，相關(guān)產(chǎn)品涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體、新型顯示等諸多細分應用領(lǐng)域，多項設備關(guān)鍵指標達到國際先進(jìn)水平。2023年上半年，公司藉由原有的薄膜沉積類(lèi)產(chǎn)品研發(fā)、推廣和產(chǎn)業(yè)化的經(jīng)驗，成功推出了半導體集成電路薄膜沉積CVD產(chǎn)品，已在客戶(hù)端驗證。

可以看到，上述四家企業(yè)均為知名的國產(chǎn)半導體設備上市公司，那么這四家企業(yè)成立合資公司是要做什么呢？目前相關(guān)企業(yè)并未公告成立合資公司的目的。

不過(guò)，鑒于目前全球半導體設備市場(chǎng)主要被美日荷廠(chǎng)商所占據，同時(shí)美日荷三國也在聯(lián)合限制先進(jìn)半導體設備的對華出口，國產(chǎn)半導體設備產(chǎn)業(yè)正面臨高端設備國產(chǎn)化突破的難題的大背景之下，上述四家國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商成立合資公司或將是為了共同研發(fā)，以集中力量加速突破相關(guān)卡脖子設備的國產(chǎn)化難題。

編輯：芯智訊-浪客劍