微電子50年—新中國半導體事業(yè)的坎坷路

　　回望50年

　　歲月如流，58年大學(xué)畢業(yè)至今，半個(gè)世紀已逝去，而往事卻歷歷在目，仿佛就發(fā)生在昨天，一幕又一幕……

　　走進(jìn)微電子

　　56年毛主席，周總理為了發(fā)展我國的科學(xué)事業(yè)，采取了四項緊急措施，其中之一就是加速半導體學(xué)科的發(fā)展，清華當年即創(chuàng )辦了半導體專(zhuān)業(yè)，57年李志堅教授從前蘇聯(lián)學(xué)成回國，領(lǐng)導教研室，58年前蘇聯(lián)專(zhuān)家又來(lái)清華講學(xué)，因此母校華中工學(xué)院(今華中理工大學(xué))即時(shí)派我到清華進(jìn)修，主攻半導體器件，從此與微電子學(xué)結上了終身之緣。

　　我是與清華首屆半零[1]同學(xué)一起聽(tīng)課和學(xué)習的，全部課余時(shí)間在初創(chuàng )的實(shí)驗室參加科研。我被分配到晶體管組，進(jìn)行合金P-N結的研究并自制一臺晶體管參數測試儀。這種理論與實(shí)踐高度結合的效果非常好，李教授剛講完能帶論、P-N結，我們馬上能在科研中看到它、測到它。這是一個(gè)充滿(mǎn)活力的集體，雖然學(xué)習、科研很緊張，但大家都非常愉快、融洽，它既培養了我們的刻苦鉆研精神，又培養了我們的團隊精神。

　　60年學(xué)畢返校，創(chuàng )建了半導體專(zhuān)業(yè)，講授半導體器件與材料課，同時(shí)帶領(lǐng)一批比我更年青的教工和學(xué)生，風(fēng)風(fēng)火火地創(chuàng )建了實(shí)驗室。什么都自己動(dòng)手干，并研制出了半導體二極管。當時(shí)居然得到心中敬仰的科學(xué)院院長(cháng)、著(zhù)名詩(shī)人、作家郭沫若的視察及鼓勵，大家非常興奮?？墒侨昀щy時(shí)期到了!糧食很緊張，國家制定了調整方針，學(xué)校對一批剛上馬的專(zhuān)業(yè)也調整了，半導體下馬。62年10月按應屆畢業(yè)生分配到了中科院計算所二室101組(固體電路組)工作。一進(jìn)實(shí)驗室，四壁空空，只看見(jiàn)一個(gè)年青人，身穿白大褂，蹲在一個(gè)電爐旁邊，爐上有一個(gè)玻璃燒杯，里面有幾塊指甲蓋大小的紫藍色硅片，他說(shuō)：“這是要做二極管的”。我心里暗想，似曾相識!后來(lái)才了解到，本組是由59年剛回國的青年科學(xué)家黃敞研究員領(lǐng)導，他還在北大講授半導體器件課，52年美國哈佛大學(xué)畢業(yè)后即從事晶體三極管的創(chuàng )業(yè)工作，應該屬于晶體管的創(chuàng )始人之一。58年就在美國電化學(xué)與半導體會(huì )議上發(fā)表過(guò)外延模型，并預言可以改善晶體管特性。當時(shí)組里正在研究厚膜電阻譯碼器二極管矩陣(混合集成電路)以及外延技術(shù)，這在國內是領(lǐng)先的，與世界亦是同步的。我立即被分配負責研制平面二極管，接著(zhù)研制外延小功率開(kāi)關(guān)三極管，一切都很吸引人，開(kāi)始埋頭苦干。63年9月，我們組被命名為十一室(集成電路研究室)。

　　激情燃燒的日子---參加微型計算機研制

　　65年8月，我們去參加了一個(gè)院里召開(kāi)的大會(huì )，黨委書(shū)記兼副院長(cháng)張勁夫在臺上來(lái)回走動(dòng)，激動(dòng)地揮動(dòng)雙手說(shuō)：“我提著(zhù)腦袋把任務(wù)給你們要來(lái)了，你們要好好干”!，會(huì )上宣布，成立計算所二部，亦稱(chēng)“156”，專(zhuān)門(mén)研制微型計算機。我們在臺下，亦熱血沸騰!深知自己參加的工作，是國家所急需，是時(shí)代賦予的使命，心中既高興，又緊張!隨后，很快從科大、清華調來(lái)了十來(lái)個(gè)畢業(yè)生，干部及設備也配齊了。特別是從東北光機所三天之內調來(lái)了一個(gè)室。我被任命負責研制外延中功率開(kāi)關(guān)三極管，這個(gè)任務(wù)難度很大，初期做出的P-N結總是低壓擊穿，飽和壓降也下不來(lái)，于是將全組排成三班倒。大家都是隨叫隨到，正副組長(cháng)則是12小時(shí)一輪換，常常一天干13-14個(gè)小時(shí)。黃敞先生也親自指導，教我不要局限一點(diǎn)，要全面考慮各種參數的全面配合，我們又重新設計了版圖……那時(shí)全組團結得如一個(gè)人，人人盡職盡責，指到哪，打到哪，真是激情燃燒的日子!部室領(lǐng)導也抓的非常緊?？蒲刑幪庨L(cháng)馬慶魁就常站在實(shí)驗室外面等著(zhù)芯片，副主任何紹宗晚上給我們送面條、面包……情景十分感人。主任趙松巖則遙望南樓，感慨的說(shuō)：“燈火輝煌156”。記得我們室有一個(gè)叫韓景春的同志，負責封裝，既無(wú)資料更無(wú)經(jīng)驗，只有不斷地摸索才能前進(jìn)，在他試驗用什么化學(xué)藥品時(shí)，沒(méi)有高級設備去分析，只靠舌頭去嘗，感到不對勁時(shí)，就跑到水龍頭處馬上用水沖。在這樣的條件下，他把研制出的組件硬是給封好了!76年他重病在身，已病危了，我去看他時(shí)，他已經(jīng)神志不清了，但還陸陸續續跟我說(shuō)：“毛主席還活著(zhù)，他正在深圳的上空走著(zhù)呢!”聽(tīng)著(zhù)聽(tīng)著(zhù)，我的淚水灑滿(mǎn)了面頰。當時(shí)就是這樣一群人，為了國家的需要，無(wú)私地奉獻著(zhù)自己的青春乃至生命!既無(wú)職稱(chēng)、無(wú)榮譽(yù)，更無(wú)光環(huán)、獎金，卻默默無(wú)聞地工作了一輩子，他們什么也不求，只求祖國的富強!