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MEMS劃片技術(shù)的現狀與技術(shù)革新

  •   0 引言   MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分,是在融合多種微細加工技術(shù),并應用現代信息技術(shù)的最新成果的基礎上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場(chǎng)混合作用的研發(fā)領(lǐng)域,相對于傳統的機械,它們的尺寸往往在微米和亞微米量級。制造上主要采用以Si為主的材料、集成電路(IC)的加工技術(shù),可以在Si片指定位置上進(jìn)行蝕刻或生長(cháng)附加材料層,從而形成一個(gè)特殊的功能結構。MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁,這些微機械結構容易因機械接觸而損
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嵌入式微型投影顯示技術(shù)前景廣闊

  •      嵌入式微型投影顯示以實(shí)際手機產(chǎn)品模型的形式,在2008年美國拉斯維加斯國際消費電子大展(2008CES)上正式亮相,它很快就引起了移動(dòng)通信與便攜多媒體以及數字顯示等相關(guān)技術(shù)行業(yè)的強烈反響,業(yè)界很快認同迷你投影這一新型的嵌入式模組技術(shù),為各類(lèi)數字移動(dòng)多媒體和通信系統技術(shù)和產(chǎn)品提供了全新的便攜顯示平臺。   移動(dòng)電子終端最佳輔助功能      2008CES展后,包括諾基亞、三星和摩托羅拉在內的全球主要手機制造廠(chǎng)商相繼宣稱(chēng),計劃2008
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遙控車(chē)門(mén)開(kāi)關(guān)的安全系統設計

  •   RKE系統對于提高汽車(chē)的防盜性、控制性有重要意義。大多數RKE系統具有汽車(chē)防盜、報警功能以及用于汽車(chē)、行李箱的門(mén)禁控制,其中一些系統還包括遙控啟動(dòng)汽車(chē)和汽車(chē)尋找的功能。新一代RKE有望采用雙向通信,安裝在汽車(chē)內遙控車(chē)門(mén)開(kāi)關(guān)PKE(Remote Keyless Entry)方案對于汽車(chē)的配置來(lái)說(shuō),已經(jīng)作為一種標準配置,成為汽車(chē)不可或缺的部分。RKE系統對于提高汽車(chē)的防盜性、控制性有重要意義。大多數RKE系統具有汽車(chē)防盜、報警功能以及用于汽車(chē)、行李箱的門(mén)禁控制,其中一些系統還包括遙控啟動(dòng)汽車(chē)和汽車(chē)尋找的功
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ADI公司推出最新基于MEMS的振動(dòng)傳感器

  •   Analog Devices, Inc.(紐約證券交易所代碼: ADI),全球領(lǐng)先的高性能信號處理解決方案供應商,最新推出一款寬帶寬的MEMS振動(dòng)傳感器ADXL001,可以更好的監控工廠(chǎng)設備性能,縮短因不可預測的系統故障造成的高成本宕機時(shí)間。ADXL001工業(yè)振動(dòng)與沖擊傳感器基于A(yíng)DI公司的iMEMS Motion Signal Processing™(運動(dòng)信號處理)技術(shù),使工業(yè)過(guò)程控制儀器設計人員采用簡(jiǎn)單的傳感器解決方案就可實(shí)現高性?xún)r(jià)比、高性能且可靠的寬帶振動(dòng)監控。   在當今工廠(chǎng)環(huán)境
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高集成度促傳感器市場(chǎng)日益數字化

  •   模擬還是數字?在工業(yè)化測量和控制領(lǐng)域,這還存在爭執。盡管問(wèn)題很簡(jiǎn)單,并且有越來(lái)越多的數字化產(chǎn)品,但仍然很難下結論。   傳感器設備集成了越來(lái)越多的數字化電路和接口。一些控制領(lǐng)域的應用,要求很多不同的輸入以及多變量的處理。這些復雜的要求只有數字電路應付得過(guò)來(lái)。然而,在另一些應用中,模擬依舊占主導地位。   傳感器提供了數字輸出信號,這需要內部具備集成的電路,如ADC以及串行器。因為制造方式相同,所需材料相同,基于MEMS的傳感器非常適合數字化。   歐洲Measurement Specialtie
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消費應用將成為MEMS首要市場(chǎng) 封裝技術(shù)亟須完善

  •   從2007年到2012年,MEMS市場(chǎng)的年復合增長(cháng)率將達到14%。為了滿(mǎn)足市場(chǎng)需求,MEMS企業(yè)和Foundry(晶圓代工廠(chǎng))都在提高生產(chǎn)制造水平,擴大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現在的5英寸和6英寸線(xiàn)向8英寸線(xiàn)轉移。意法半導體開(kāi)始應用其8英寸制造設施,歐姆龍、飛思卡爾等企業(yè)開(kāi)始購買(mǎi)或建立8英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)。   MEMS(微機電系統)產(chǎn)品以前多被應用到國防工業(yè)和汽車(chē)上,但在去年它被成功應用到游戲機Wii上,而引起市場(chǎng)的廣泛關(guān)注。市場(chǎng)調研公司Yole預測,2008年,MEMS全球市場(chǎng)將達到7
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QMEMS為晶體元器件性能提升提供保障

  • 移動(dòng)通信、數字消費、網(wǎng)絡(luò )技術(shù)、汽車(chē)電子、機器人以及電子標簽等等,這些托起半導體一個(gè)又一個(gè)發(fā)展波峰的應用同樣成就了一個(gè)龐大的晶體元件市場(chǎng)。在日本,人們把半導體(IC)稱(chēng)作“產(chǎn)業(yè)之米”,晶體元件則被當作“產(chǎn)業(yè)之鹽”。鹽不但是調味品,也是人體必需的的物質(zhì),晶體元件在電子器件中同樣不可缺。 晶體元件用途廣泛 根據Epson Toyocom公司的調查,2007年“產(chǎn)業(yè)之鹽”已經(jīng)形成了一個(gè)4510億日元(1美元兌換106日元)的巨大市
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Maxim推出用于DAB數字廣播和T-DMB移動(dòng)TV的RF調諧器

  •   Maxim推出三頻段、雙模式移動(dòng)TV和數字廣播RF調諧器MAX2170E/W,提供經(jīng)過(guò)完備的RF測試的裸片。在TQFN封裝的MAX2170ETL成功應用的基礎上,MAX2170E/W能夠支持地面數字多媒體廣播(T-DMB)和超小型數字音頻廣播(DAB)模塊的系統級封裝(SIP)方案。   除了某些應用所需的晶體和L波段濾波器之外,MAX2170E/W包含了構建低IF TV/廣播調諧器所需的所有模塊。該調諧器采用最少的外圍元件,即可接收VHF-III頻段、L波段和FM廣播。MAX2170E/W集成了低
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飛思卡爾推出全球首款50V LDMOS功率晶體管

  •   飛思卡爾半導體近日揭開(kāi)了全球首款適用于L波段雷達應用的50V LDMOS RF功率晶體管產(chǎn)品的神秘面紗。這一產(chǎn)品線(xiàn)非常適合于各種高功率RF應用,包括空中交通管理和長(cháng)射程氣象雷達。?   RF產(chǎn)品線(xiàn)包括MRF6V14300H后期器件和MRF6V10010N驅動(dòng)。當頻率在1200 - 1400 MHz之間時(shí), MRF6V14300H生成330 W的RF脈沖輸出功率;與競爭性雙極場(chǎng)效晶體管(FET)器件相比,它重新設立了該功率和頻率級的新的效率、增益和熱阻標準。?   先進(jìn)的RF功率
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ZigBee定位解決方案

  • 引言   設想一下,您沖進(jìn)購物中心,急切地想為您的另一半選購他(她)稱(chēng)心如意的生日禮物。您很自然地掏出手機或 PDA 來(lái)解決如何選購生日禮物的問(wèn)題。此時(shí),您的移動(dòng)手持終端設備將顯示出購物中心的導購圖,并在圖上標明需前往的采購區。移動(dòng)手持終端設備上還將隨時(shí)隨地顯示出您可能會(huì )感興趣的商品。   射頻 (RF) 技術(shù)有望使上述設想成為現實(shí)。有些ZigBee RF 設備中內嵌的定位引擎可以與室內 GPS 系統相媲美,其內嵌的定位引擎使用 ZigBee 網(wǎng)絡(luò )的 RF 基礎設施來(lái)計算事物或人所處的位置。與 GPS
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傳感器/ASIC集成縮小電流變送器體積

  •   電力電子的發(fā)展趨勢與其他電子領(lǐng)域的發(fā)展趨勢沒(méi)有什么不同——更大規模集成加降低元件數量。但是,由于電力電子系統中存在散熱器、磁性元件與線(xiàn)圈等元件,使高水平集成更加困難。微機電系統(MEMS)已在檢測系統得到應用,并可能應用于系統的其他部分。   傳統的電流變送器不適合于家電產(chǎn)品和空調系統市場(chǎng),因為它們體積太大、價(jià)格高昂。而一種成本較低、體積較小的變送器則使得測量這些系統的電流成為可能,唯一受到的限制是漏電、間隙和絕緣等級等外界因素。   用于LEM自己的LTS電流變送器的應用
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纖巧型放大器可快速驅動(dòng)重電容性負載

一只輪胎引爆的汽車(chē)安全MEMS傳感器熱潮

  •      下一代汽車(chē)安全系統傳感器有望是一種一體化的傳感器系統,它采用公共信號來(lái)操作多個(gè)系統。   因為存在爆胎隱患,2000年8月普瑞斯通公司宣布召回650萬(wàn)條裝配于福特生產(chǎn)的SUV車(chē)上的輪胎,這一事件已經(jīng)促使美國政府立法,強制性要求自2007年9月起后出廠(chǎng)的每一臺輕型車(chē)均需安裝胎壓監測系統(TPMS)。此外,美國還宣布到2012年全部新車(chē)必須使用防側翻的“電子穩定控制技術(shù)”,以減少每年因車(chē)輛側翻造成死亡的人數。????   根據
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模擬半導體今年不會(huì )“冷” 速度更快 功耗更低

  •   最近有許多有關(guān)模擬方面的重大新聞,如美國開(kāi)始研究需要用無(wú)線(xiàn)的方式將電能傳輸到地球的空中太陽(yáng)能的開(kāi)發(fā)利用,還有MEMS振蕩器取得了突破性進(jìn)展等等,這些都激勵我關(guān)注新的一年中模擬產(chǎn)品的發(fā)展趨向。雖然從各個(gè)方面傳來(lái)的信息來(lái)看,今年的半導體市場(chǎng)不怎么樂(lè )觀(guān),但很多公司和預測機構卻調高了對模擬半導體的預期,認為今年的模擬IC將會(huì )獲得不俗的發(fā)展。這些趨勢似乎從大型IC廠(chǎng)商的行動(dòng)中也能尋得一點(diǎn)蛛絲馬跡,如,TI在前不久加大在模擬領(lǐng)域的研發(fā)投入和宣傳攻勢,ADI出售數字業(yè)務(wù),而將經(jīng)歷集中于其核心的模擬業(yè)務(wù)。   模擬
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步態(tài)加速度信號的無(wú)線(xiàn)采集系統設計

  •   步態(tài),即人走路的姿勢。作為一種生物特征,它具有不受距離影響、非侵犯性、難以偽裝、受環(huán)境影響小等獨特的優(yōu)點(diǎn),因而近年來(lái)備受關(guān)注。國內外的許多知名大學(xué)和研究機構,如美國麻省理工學(xué)院、中國科學(xué)院自動(dòng)化研究所等,都廣泛展開(kāi)了步態(tài)識別研究工作。步態(tài)的獨特性為人的身份識別和認證提供了有效線(xiàn)索,對醫療上的異步病態(tài)、偏癱等疾病的預防、診斷和康復也可以起到很顯著(zhù)的輔助作用。而且,在現代化的體育訓練中,也可以通過(guò)步態(tài)特征來(lái)監測運動(dòng)員的體能消耗情況、動(dòng)作準確程度等,制定科學(xué)的訓練方案。此外,步態(tài)在機器人的行走、人的行為理解
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