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MEMS/NEMS表面3-D輪廓測量中基于模板的相位解包裹算法
- 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時(shí)的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
法在復雜輪廓或包含非理想數據區的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開(kāi)方法.通過(guò)模板
的使用,先將非相容區域標記出來(lái),在相位解包裹的過(guò)程中繞過(guò)這些區域,即可得到準確可靠的相位展開(kāi)結果.通過(guò)具體的應
用實(shí)例可以證明,使用不同模板可以根據不同應用的需要靈活而準確地實(shí)現微納結構表面3-D輪廓測量中的相位展開(kāi).
關(guān)鍵詞:MEMS/NEMS;表面 - 關(guān)鍵字： 模板 相位 包裹 算法 基于 測量 表面 3-D 輪廓 MEMS/NEMS
算法介紹
算法（Algorithm）是一系列解決問(wèn)題的清晰指令，也就是說(shuō)，能夠對一定規范的輸入，在有限時(shí)間內獲得所要求的輸出。如果一個(gè)算法有缺陷，或不適合于某個(gè)問(wèn)題，執行這個(gè)算法將不會(huì )解決這個(gè)問(wèn)題。不同的算法可能用不同的時(shí)間、空間或效率來(lái)完成同樣的任務(wù)。一個(gè)算法的優(yōu)劣可以用空間復雜度與時(shí)間復雜度來(lái)衡量。
算法可以理解為有基本運算及規定的運算順序所構成的完整的解題步驟?；蛘呖闯砂凑找笤O計好的有限的確切 [ 查看詳細 ]
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