TFT高性能光刻膠國產(chǎn)化勢在必行

　　TFT-LCD產(chǎn)業(yè)是當今產(chǎn)業(yè)界幾個(gè)高成長(cháng)產(chǎn)業(yè)之一。近10年來(lái)，日本、韓國及我國臺灣等國家和地區，已經(jīng)為它投資了上千億美元，形成地域相當集中、規模相當巨大的產(chǎn)業(yè)集群。

　　我國光刻膠用量逐年增加

　　中國液晶產(chǎn)業(yè)始于1980年，起步并不晚。但是我們長(cháng)期限于TN、STN-LCD。在2003年后才真正開(kāi)始大規模建設TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)，目前已經(jīng)量產(chǎn)的廠(chǎng)家主要是京東方、上廣電、龍騰和深超光電4家，產(chǎn)能約占全球總產(chǎn)能的4%。

　　目前我國在建和待建的大尺寸TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)共有8條，其中，京東方除了規劃在北京建設8代面板生產(chǎn)線(xiàn)外，在位于安徽合肥的6代線(xiàn)已于今年4月動(dòng)工，位于四川成都的4.5代線(xiàn)則于去年動(dòng)工。彩虹集團在江蘇省張家港的6代線(xiàn)也已動(dòng)工。深圳天馬去年下半年在武漢、成都分別投資2條4.5代線(xiàn)，其中武漢4.5代線(xiàn)已投產(chǎn)。深圳萊寶有1條2.5代線(xiàn)正在興建中。昆山龍騰光電也正籌建1條7.5代線(xiàn)。

　　隨著(zhù)我國TFT-LCD行業(yè)的迅速發(fā)展，專(zhuān)用高檔光刻膠市場(chǎng)廣闊，我國已經(jīng)建成投產(chǎn)的5代TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)共需大約550噸～600噸/年的紫外正性光刻膠與之配套，在建及籌建的6代生產(chǎn)線(xiàn)約需500噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，籌建中的7.5代生產(chǎn)線(xiàn)約需600噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，而京東方籌建中的8代生產(chǎn)線(xiàn)預計年產(chǎn)能可達600萬(wàn)片左右，僅此生產(chǎn)線(xiàn)所需配套的正膠就將超過(guò)1000噸/年的規模。到“十二五”期間，我國高端TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)配套所需的高檔光刻膠將超過(guò)3000噸/年的規模。

　　目前為T(mén)FT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)提供光刻膠產(chǎn)品的主要有日本的東京應化(TOK)、美國的羅門(mén)哈斯(Rohm&Haas)、韓國的Dongjinsemichem和我國臺灣的永光化學(xué)。中國大陸尚無(wú)TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)配套用的光刻膠的生產(chǎn)能力，全部依賴(lài)進(jìn)口。

　　TFT光刻膠國產(chǎn)化迫在眉睫

　　光刻膠作為T(mén)FT-LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵性基礎材料之一，是微電子化學(xué)品中技術(shù)含量最高的產(chǎn)品，其質(zhì)量的優(yōu)劣及制備技術(shù)的高低已成為制約我國高端TFT-LCD加工技術(shù)發(fā)展的瓶頸，其重要地位日益凸顯，因此專(zhuān)用TFT-LCD光刻膠的研發(fā)與國產(chǎn)化生產(chǎn)已經(jīng)迫在眉睫。

　　在TFT-LCD光刻膠國產(chǎn)化進(jìn)程中，有若干關(guān)鍵問(wèn)題需要解決。首先，從光刻膠本身的技術(shù)研究來(lái)看，在TFT-LCD制造過(guò)程中，與IC制作的硅晶圓相比，所使用的玻璃基板面積更大，要求配套使用的光刻膠能夠在寬闊的襯底表面形成形狀和尺寸等性能良好的抗蝕圖形，因此TFT-LCD對光刻膠的要求與IC制作過(guò)程中所使用的光刻膠有所不同，TFT-LCD用光刻膠必須具有良好的涂布均勻性，其感光速度快、曝光寬容度大，具有良好的線(xiàn)性、高對比度和高分辨率，與玻璃基板具有良好的粘附性和高抗蝕性。其中涂布均勻性和高感度尤為重要。

　　其次，在TFT-LCD光刻膠的上游原材料中，樹(shù)脂、感光劑、高純溶劑等是其中的主要原材料。當前國內材料存在質(zhì)量穩定性的問(wèn)題，光刻膠制造所需的大部分原料短期內尚難實(shí)現國產(chǎn)化。隨著(zhù)競爭的加劇，基礎原料的國產(chǎn)化有效降低產(chǎn)品成本將成為必然趨勢。在當前形勢下，國內光刻膠公司可采取兩步走的方案解決原料國產(chǎn)化的問(wèn)題：第一步，采用以自主知識產(chǎn)權的技術(shù)，委托國外的光刻膠原料公司為其生產(chǎn)原料的方式來(lái)解決目前的供貨。第二步，隨著(zhù)光刻膠原料市場(chǎng)的逐漸成熟，生產(chǎn)產(chǎn)酸劑、樹(shù)脂及其他助劑的國內生產(chǎn)企業(yè)一定會(huì )應運而生的。到時(shí)候國內的光刻膠公司必將會(huì )盡企業(yè)之所能與適時(shí)出現的原料生產(chǎn)廠(chǎng)商合作，這不僅能帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)實(shí)現光刻膠原料的國產(chǎn)化，也能降低企業(yè)的成本。這是水到渠成的事，于國、于民、于企業(yè)都有好處。

　　北京科華微電子材料有限公司在北京的天竺出口加工區完成了百?lài)嵓壍母邫ng線(xiàn)和i線(xiàn)正膠的建設，大大推進(jìn)了國內集成電路和液晶顯示業(yè)所需的高檔光刻膠本土化的實(shí)現進(jìn)程。

　　科華微電子目前致力于TFT-LCD配套專(zhuān)用紫外正性光刻膠的生產(chǎn)及市場(chǎng)推廣，主要是在努力占領(lǐng)國內已投產(chǎn)的5代生產(chǎn)線(xiàn)和在建及籌建中的6代及以上TFT-LCD制作方面的市場(chǎng)。這不僅將促進(jìn)我國液晶顯示器件制作技術(shù)的發(fā)展，也將提高我國微電子材料方面的研制與生產(chǎn)技術(shù)水平，同時(shí)可以帶動(dòng)我國精細化工材料、高純試劑的研發(fā)與生產(chǎn)技術(shù)水平的提高。