KLA-TENCOR發(fā)布基于全光譜超寬帶檢測平臺的明場(chǎng)檢測系統

最新的 2800 系列提供了無(wú)可超越的檢測能力，使芯片生產(chǎn)商
能對亞 65 納米工藝實(shí)現精確控制

為幫助客戶(hù)應對亞 65 納米及 45 納米技術(shù)節點(diǎn)上新產(chǎn)生的缺陷和成品率挑戰，KLA-Tencor (NASDAQ：KLAC) 近日發(fā)布了最新的突破性明場(chǎng)晶片檢測平臺 2800 系列，它能有效地檢測出所有工藝層上的最廣泛的關(guān)鍵性缺陷。2800 系列提供了業(yè)界唯一的超寬帶（深紫外、紫外和可見(jiàn)光）波長(cháng)檢查功能，其生產(chǎn)能力可達上一代深紫外明場(chǎng)成像工具的兩倍，并有望確立明場(chǎng)晶片檢測領(lǐng)域的新標準，使芯片生產(chǎn)商能全面滿(mǎn)足快速開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)新一代 IC 器件的檢測要求。  
 
為了滿(mǎn)足新一代 IC 器件的高性能和低功耗要求，生產(chǎn)商們不斷應用先進(jìn)的革新技術(shù)，與此同時(shí)也涌現出新的工藝產(chǎn)品缺陷。新的器件結構和材料催生出多種缺陷類(lèi)型和噪聲源，同時(shí)新型光刻技術(shù)和增強型掩膜版的復雜性，也導致系統性缺陷的顯著(zhù)上升。這些嚴峻的缺陷挑戰迫切要求檢測解決方案具有超高的靈敏度和靈活性，并能檢測多種節點(diǎn)的所有工藝層次上最廣泛的缺陷類(lèi)型。由于不同的缺陷類(lèi)型、材料和器件層需要不同的檢測波長(cháng)才能獲得最優(yōu)的缺陷檢測效果，因此要求采用跨越可見(jiàn)光、紫外和深紫外線(xiàn)波長(cháng)范圍的全光譜超寬帶檢測。  

KLA-Tencor 的新型 2800 系列正是順應這種要求而開(kāi)發(fā)，它也是目前能提供靈活的超寬帶波長(cháng)范圍并可捕獲所有生產(chǎn)率相關(guān)缺陷的唯一檢測平臺。與此相反，窄帶或單波長(cháng)檢測技術(shù)卻只能捕獲多器件層中有限范圍的缺陷類(lèi)型，因此在多器件層間出現嚴重的缺陷溝壑。  

“對于芯片生產(chǎn)商在亞65 納米節點(diǎn)上可能面對的所有材料和工藝層組合，波長(cháng)可調的明場(chǎng)檢測將在檢測廣泛的影響成品率的缺陷中扮演重要的角色，”著(zhù)名的市場(chǎng)研究和咨詢(xún)企業(yè)，VLSI Research Inc. 的總裁Risto Puhakka 表示，“KLA-Tencor 早在 10 年前就以其寬帶照射方法在自動(dòng)化明場(chǎng)檢測市場(chǎng)上處于領(lǐng)先地位，經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)革新，已經(jīng)積累了豐富專(zhuān)業(yè)應用技術(shù)經(jīng)驗，并幫助領(lǐng)先的芯片生產(chǎn)商不斷加快成品率改進(jìn)和提高基線(xiàn)成品率。其新一代的超寬帶明場(chǎng)檢測平臺 2800 系列，將成為芯片檢測領(lǐng)域的下一項重要產(chǎn)品，并將幫助芯片生產(chǎn)商確保在 65 納米以下獲得最優(yōu)的成品率。

采用超寬帶檢測技術(shù)，突破缺陷壁壘
2800 系列在靈活的單平臺上采用第三代可見(jiàn)光、紫外光和深紫外光源，能提供可變的檢測波長(cháng)（260 - 450 納米）以覆蓋最大的工藝層范圍。2800 還率先采用在軍事衛星系統中使用的傳感器技術(shù)來(lái)增強其成像能力。KLA-Tencor 在晶片檢測中采用這一技術(shù)，通過(guò)專(zhuān)有的寬帶固態(tài)時(shí)間延時(shí)積分 (TDI)傳感器，使 2800 系列可提供最優(yōu)的材料對比度和噪聲抑制能力。除了允許芯片生產(chǎn)商放大圖像以捕獲更多感興趣的缺陷之外，TDI傳感器和超寬帶照射的組合還能顯著(zhù)降低激光明場(chǎng)系統的損壞風(fēng)險并可獲得極高的靈敏度。
 
因此，2800 系列特別適合檢測最可能出現圖形缺陷的關(guān)鍵的光刻和蝕刻層。該平臺還采用自定義的大圖形場(chǎng)反射和折射光學(xué)技術(shù)，可在所有照射模式和靈敏度設置上獲得高數值孔徑 (NA) 。2800 系列還具有高重復性（>90% 匹配率）檢測、實(shí)時(shí)缺陷分類(lèi)和取樣特性能力，為芯片生產(chǎn)商高效地加快成品率改進(jìn)和代工廠(chǎng)投資回報提供了所需的高靈敏度和生產(chǎn)性能。   

滿(mǎn)足所有要求的最佳組合檢測
2800 系列是 KLA-Tencor 繼上月推出 Puma 9000 之后發(fā)布的新一代缺陷管理系統套件中的第二個(gè)主要檢測平臺。2800 系列和 Puma 9000 平臺將一起為芯片生產(chǎn)商提供最優(yōu)的帶圖形晶片檢測功能，共同滿(mǎn)足 65 納米及以下節點(diǎn)的生產(chǎn)性要求。它們是當今芯片生產(chǎn)商的理想選擇，使生產(chǎn)商們能夠適應消費者時(shí)代要求，以最快的速度和最優(yōu)的價(jià)格提供高性能、低功耗的芯片。   

“如同 Puma 9000 平臺在暗場(chǎng)檢測領(lǐng)域所起的作用那樣，我們的 2800 系列正在確立明場(chǎng)檢測領(lǐng)域的新標準。通過(guò)這一新型可配置的擴展性平臺，客戶(hù)可獲得覆蓋最廣泛的關(guān)鍵性缺陷類(lèi)型的全光譜檢測功能，并完全適應多代器件的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)應用要求?！?
KLA-Tencor 晶片檢測部副總裁  Lance Glasser 表示。  

目前 2800 平臺已在多個(gè)客戶(hù)場(chǎng)所進(jìn)行安裝，并將在下半年實(shí)現批量生產(chǎn)和交付。