兩岸半導體設備本地化風(fēng)潮 中微嶄露頭角

　　內地備受矚目的本土設備業(yè)者中微(AMEC)借著(zhù)年度半導體盛會(huì )SEMICON Japan發(fā)表其首款蝕刻(Etch)及高壓化學(xué)氣相沉積(HPCVD)設備，并以臺積電為目標客戶(hù)。這次內地「后進(jìn)」半導體設備業(yè)者首次公開(kāi)問(wèn)世先進(jìn)半導體工藝設備，引起業(yè)界兩極化看法，不過(guò)，無(wú)獨有偶，臺灣或內地都正如火如荼推動(dòng)半導體設備制造的「在地化」進(jìn)程。

　　中微在SEMICON Japan開(kāi)展期間對外宣布，推出適用先進(jìn)半導體工藝65~45納米設備機種，引發(fā)半導體業(yè)內震撼及廣泛討論。中微指出，這次推出的離子蝕刻機(ion etch)及高壓化學(xué)氣相沉積設備較其它市面上設備生產(chǎn)力提升約35%，換句話(huà)說(shuō)，理論上成本也可降低35%，目前2套設備皆已正式出貨，主要以亞太區晶圓廠(chǎng)客戶(hù)為主。

　　由于中微在發(fā)表之際也引用其目標客戶(hù)臺積電資深副總左大川的話(huà)指出，未來(lái)臺積電將與工藝設備業(yè)者維持近緊密的合作關(guān)系，并持續降低制造成本、擴大經(jīng)濟規模效應，也讓外界聯(lián)想，中微與臺積電之間的合作關(guān)系。事實(shí)上，據傳中微也打入中芯國際供貨商之一，而中芯也不諱言分別在北京、天津廠(chǎng)區已采用包括中科信、北方微電子等內地本土設備商所自制的半導體設備方案。

　　中微表示，這2套設備是經(jīng)過(guò)位于內地、日本、韓國、新加坡及臺灣團隊耗費2年半時(shí)間共同研發(fā)完成，由于是內地設備業(yè)者首次對外正式發(fā)表，先進(jìn)工藝65~45納米工藝技術(shù)設備，亦引發(fā)外界對這家「后進(jìn)者」是否有足夠相關(guān)IP保障的疑慮。由于中微董事長(cháng)兼執行長(cháng)尹志堯出身美商應用材料(Applied Materials)，近2年更積極延攬各大設備商人才加入，因此中微還被外界視為未來(lái)極具發(fā)展潛力的「本土應材」。

　　中微執行長(cháng)尹志堯表示，半導體市場(chǎng)未來(lái)持續朝消費電子轉向，讓芯片價(jià)格更為敏感，對許多芯片制造業(yè)者來(lái)說(shuō)采用高效能、具成本競爭力的生產(chǎn)設備則更為關(guān)鍵。中微目前投資者包括紅點(diǎn)(RedPoint)、華登等知名創(chuàng )投業(yè)者等及美商投資銀行高盛(Goldman Sachs)、芯片業(yè)者高通(Qualcomm)及三星電子(Samsung Electronics)等重量級半導體業(yè)者。

　　不過(guò)，對于內地半導體設備業(yè)者崛起，外界看法頗為兩極，業(yè)者認為，半導體設備市場(chǎng)已趨成熟，后進(jìn)者未來(lái)發(fā)展將會(huì )受限，但綜觀(guān)近年來(lái)臺灣、內地設備業(yè)者不乏本土業(yè)者興起，以臺灣來(lái)說(shuō)，臺積電便積極推動(dòng)設備及零組件在地化生產(chǎn)，目標2009年設備在地化生產(chǎn)比重拉升至50%;而內地在十一五計劃推動(dòng)下，推動(dòng)半導體工藝設備本土化自制也是其產(chǎn)業(yè)策略一環(huán)。